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公开(公告)号：CN103424860B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201310183408.2
申请日：2013-05-17
Applicant: 莱卡微系统CMS有限责任公司
Inventor： 索尔斯腾·科斯特
IPC: G02B21/32 , G05B19/042
CPC classification number: G02B21/365 , G02B21/008 , H01J37/224 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供用于控制显微镜的电路和方法。该电路具有用于存储控制信息的低速存储器(1)，控制器(7)配置用于基于控制信息控制显微镜参数，该电路具有数据载入器(3)和至少两个高速存储器(4.1，4.2)，数据载入器(3)配置为使得将控制信息从低速存储器(1)交替地写入至少两个高速存储器(4.1，4.2)中的一个；电路具有多路复用器(5)，多路复用器(5)允许控制器(7)以交替的方式访问至少两个高速存储器(4.1，4.2)中的一个以读取控制信息；以及数据载入器(3)配置用于控制多路复用器(5)使得数据载入器(3)的写操作和控制器(7)的读操作不在同一个高速存储器(4.1，4.2)中同时发生。
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公开(公告)号：CN1287587C
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN02809989.3
申请日：2002-05-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H04N3/15 , H01J37/26 , G01N21/956 , H01R13/00
CPC classification number: H01J37/222 , G01N21/956 , H01J37/224 , H01J37/244 , H01J2237/2445 , H01J2237/2447 , H01R13/2421 , H04N5/2253 , Y10S439/935
Abstract: 包括TDI传感器(64)与馈通装置(50)的电子束设备。馈通装置有插座接触件(54)，将连接到分出不同环境的凸缘(51)上的插针(52)和与之组成对的另一插针(53)互连，此插针(52)、另一插针(53)与插座接触件(54)共组成连接单元且此接触件(54)有弹性件(61)。因而即会设置多个连接单元，也能将连接力保持到可防止传感器破损的水平。插针(53)与其中象素阵列已根据图象投影光学系统的光学特性取自适应组合的TDI传感器(64)连接。此传感器有多个积分级，能将图象投影光学系统视场减至尽可能地小，以可于此视场中将最大可接收畸变设定得较大。此外可将积分级个数确定成使TDI传感器的数据传输率可不减少但不会尽可能地增多插针数。最好可使行的计数数大致等于积分级个数。
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公开(公告)号：CN1692498A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200380100654.1
申请日：2003-10-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J37/224 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01L27/14618 , H01L27/14806 , H01L31/0203 , H01L2924/15153 , H01L2924/15165 , H01L2924/15312 , H01L2924/15787 , H01L2924/19107 , H04N5/2253 , H04N5/2254
Abstract: 该发明涉及具有在FOP与CCD读取部接合时难以静电破坏的构造的摄像装置等，该摄像装置具有：在与作为光入射面的背面相对的前面上设置有CCD读取部的半导体基板；具有固定半导体基板的空腔的封装；覆盖空腔的上部开口的盖子；与半导体基板接合的FOP；和电气布线。盖子具有用于将FOP插入空腔内的引导口，半导体基板中与设置有CCD读取部的区域相对应的部分进行薄型化。另外，半导体基板固定在该底面上，使得CCD读取部和空腔底面相对，另一方面，FOP的射出端面在从引导口插入空腔内的状态，与半导体基板的薄型化部分光学结合。
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公开(公告)号：CN107408484A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201580077898.5
申请日：2015-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/224 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/295
Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。
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公开(公告)号：CN102637571B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201210032344.1
申请日：2012-02-14
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , G01N21/6447 , G01N2201/08 , H01J37/224 , H01J37/226 , H01J37/28 , H01J2237/2441 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/26 , H01J2237/2605 , H01J2237/2802 , H01J2237/31749
Abstract: 一种利用带电粒子显微镜研究样本的方法，包括步骤：-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱；-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，该方法包括以下附加步骤：-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器；-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；-匹配所述增益值与所述通量的大小以便使得固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。固态光电倍增器有时也指的是硅光电倍增器（SiPM）、芯片内像素化的雪崩光电二极管阵列（具有共享/公共检测电路）、MPPC？等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104798173A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060092.6
申请日：2013-11-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/224 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2004 , H01J2237/2608 , H01J2237/28
Abstract: 带电粒子线装置具备产生一次带电粒子线的带电粒子光学镜筒(2)、内部通过真空泵(4)真空排气的机箱(7)、构成机箱(7)的一部分并能够维持其内部空间的气密状态的第一隔膜(10)、配置于第一隔膜(10)与试样(6)之间的第二隔膜(50)，使在带电粒子光学镜筒(2)中产生的一次带电粒子线透过或通过第一隔膜(10)以及第二隔膜(50)，并照射到与第二隔膜(50)接触的状态的试样(6)上。
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公开(公告)号：CN103424860A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310183408.2
申请日：2013-05-17
Applicant: 莱卡微系统CMS有限责任公司
Inventor： 索尔斯腾·科斯特
IPC: G02B21/32 , G05B19/042
CPC classification number: G02B21/365 , G02B21/008 , H01J37/224 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供用于控制显微镜的电路和方法。该电路具有用于存储控制信息的低速存储器(1)，控制器(7)配置用于基于控制信息控制显微镜参数，该电路具有数据载入器(3)和至少两个高速存储器(4.1，4.2)，数据载入器(3)配置为使得将控制信息从低速存储器(1)交替地写入至少两个高速存储器(4.1，4.2)中的一个；电路具有多路复用器(5)，多路复用器(5)允许控制器(7)以交替的方式访问至少两个高速存储器(4.1，4.2)中的一个以读取控制信息；以及数据载入器(3)配置用于控制多路复用器(5)使得数据载入器(3)的写操作和控制器(7)的读操作不在同一个高速存储器(4.1，4.2)中同时发生。
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公开(公告)号：CN102637571A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210032344.1
申请日：2012-02-14
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , G01N21/6447 , G01N2201/08 , H01J37/224 , H01J37/226 , H01J37/28 , H01J2237/2441 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/26 , H01J2237/2605 , H01J2237/2802 , H01J2237/31749
Abstract: 一种利用带电粒子显微镜研究样本的方法，包括步骤：-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱；-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，该方法包括以下附加步骤：-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器；-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；-匹配所述增益值与所述通量的大小以便使得固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。固态光电倍增器有时也指的是硅光电倍增器（SiPM）、芯片内像素化的雪崩光电二极管阵列（具有共享/公共检测电路）、MPPC®等。
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公开(公告)号：CN100409446C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200380100654.1
申请日：2003-10-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J37/224 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01L27/14618 , H01L27/14806 , H01L31/0203 , H01L2924/15153 , H01L2924/15165 , H01L2924/15312 , H01L2924/15787 , H01L2924/19107 , H04N5/2253 , H04N5/2254
Abstract: 该发明涉及具有在FOP与CCD读取部接合时难以静电破坏的构造的摄像装置等，该摄像装置具有：在与作为光入射面的背面相对的前面上设置有CCD读取部的半导体基板；具有固定半导体基板的空腔的封装；覆盖空腔的上部开口的盖子；与半导体基板接合的FOP；和电气布线。盖子具有用于将FOP插入空腔内的引导口，半导体基板中与设置有CCD读取部的区域相对应的部分进行薄型化。另外，半导体基板固定在该底面上，使得CCD读取部和空腔底面相对，另一方面，FOP的射出端面在从引导口插入空腔内的状态，与半导体基板的薄型化部分光学结合。
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公开(公告)号：CN1520680A
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：CN02809989.3
申请日：2002-05-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H04N3/15 , H01J37/26 , G01N21/956 , H01R13/00
CPC classification number: H01J37/222 , G01N21/956 , H01J37/224 , H01J37/244 , H01J2237/2445 , H01J2237/2447 , H01R13/2421 , H04N5/2253 , Y10S439/935
Abstract: 包括TDI传感器(64)与馈通装置(50)的电子束设备。馈通装置有插座接触件(54)，将连接到分出不同环境的凸缘(51)上的插针(52)和与之组成对的另一插针(53)互连，此插针(52)、另一插针(53)与插座接触件(54)共组成连接单元且此接触件(54)有弹性件(61)。因而即会设置多个连接单元，也能将连接力保持到可防止传感器破损的水平。插针(53)与其中象素阵列已根据图象投影光学系统的光学特性取自适应组合的TDI传感器(64)连接。此传感器有多个积分级，能将图象投影光学系统视场减至尽可能地小，以可于此视场中将最大可接收畸变设定得较大。此外可将积分级个数确定成使TDI传感器的数据传输率可不减少但不会尽可能地增多插针数。最好可使行的计数数大致等于积分级个数。
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