自动光学测量方法
    101.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1444727A

    公开(公告)日:2003-09-24

    申请号:CN01813501.3

    申请日:2001-07-26

    Abstract: 按照本发明的自动光学测量方法,利用把可动的反射板6移至光轴位置,光投射部分3a经过可动反射板6、不动反射板11、和可动反射板6投射的光,被光接收部分3b接收,另一方面,利用把可动反射板6移离光轴和把参照物8放在样品台10上,光投射部分3a经过参照物8投射的光,被光接收部分3b接收,据此确定两次接收的光强的比值。在样品测量时,则把可动反射板6移至光轴位置,光投射部分3a投射的光,经过可动反射板6、不动反射板11、和可动反射板6投射的光,被光接收部分3b接收,于是,用由此接收的光强和上述比值,估算用参照物测量的光强,用该估算的光强来校正经过样品接收的光强。

    光谱检测设备
    102.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1444722A

    公开(公告)日:2003-09-24

    申请号:CN01813502.1

    申请日:2001-07-05

    Inventor: 稻本直树

    CPC classification number: G01J3/02 G01J3/0262 G01J3/2803

    Abstract: 按照本发明的光谱检测设备,包括光电检测器(13)和覆盖该光电检测器(13)光接收表面(13a)的透光板(13b),又在该设备中,透光板13b的前表面S是倾斜的,且在入射光中,一旦被透光板(13b)后表面T反射的任何光,此后的传播都被透光板(13b)的前表面S和后表面T全反射,射向透光板(13b)的侧表面13d。任何杂散光都能够被阻止进入光电检测器(13)。

    光学测定装置的线性校正方法、光学测定方法以及光学测定装置

    公开(公告)号:CN112798105B

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202011271709.7

    申请日:2020-11-13

    Abstract: 本发明提供光学测定装置的线性校正方法、光学测定方法以及光学测定装置,高精度地进行使用了CMOS线性图像传感器的光学测定装置的线性校正。具备CMOS线性图像传感器的光学测定装置的线性校正方法包括:曝光步骤,使曝光时间变化而使强度恒定的基准光依次入射CMOS线性图像传感器的注目受光元件;测定值获取步骤,依次获取所述注目受光元件的测定值;实际线性误差计算步骤,依次计算表示基于与所述测定值对应的所述曝光时间得到的线性值与该测定值之差的实际线性误差;以及拟合步骤,对所述各实际线性误差执行表示第一线性误差的第一函数的拟合。

    光学测定系统和光学测定方法
    104.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117940761A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202180102439.3

    申请日:2021-09-16

    Abstract: 光学测定系统包括:第一光源,其产生近红外线;硅基的图像传感器;以及光学系统,其包括将来自第一光源的光分支为第一光和第二光的分束器。光学系统构成为利用图像传感器记录第一全息图,该第一全息图是利用作为发散光的第二光将利用第一光对试样进行照明所得到的光进行调制而得到的全息图。

    Zeta电位测定用夹具组
    105.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116908272A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310352731.1

    申请日:2023-04-04

    Abstract: 本公开提供一种能以简便的作业实施试样的更换或镀敷处理的Zeta电位测定用夹具组。本公开为具有框体和固定于框体的测定用夹具的Zeta电位测定用夹具组。框体具有:第一和第二保持壁,对置配置;底壁,连结第一和第二保持壁的下端,具有阳极板和阴极板;以及臂状的第一锁定部。测定用夹具具有:下段块,在底部具有阳极板和阴极板所在的阳极孔部和阴极孔部,配置于底壁上;盒,具有供试样配置的凹部和盒连通孔,配置于下段块上;中段块,在俯视时具有包围凹部的框状的形状,配置于盒上;上部构件,配置于中段块上,并且封闭凹部的上表面;以及第二锁定部,将上部构件向底壁侧按压。第一锁定部将中段块向底壁侧按压,使框体、下段块、盒、中段块一体化。

    光学特性测定方法以及光学特性测定系统

    公开(公告)号:CN109752091B

    公开(公告)日:2023-01-10

    申请号:CN201811312188.8

    申请日:2018-11-06

    Abstract: 本发明提供一种在使用对象物的拍摄图像来测定该对象物的光学特性的构成中,能得到更良好的测定结果的光学特性测定方法以及光学特性测定系统。光学特性测定方法是测定对象物的光学特性的光学特性测定方法,包括:使用与所述对象物离开规定距离地进行配置、能维持所述规定距离的同时使相对于所述对象物的位置变化的摄像装置,来获取作为包括所述对象物的图像的一个或者多个拍摄图像的步骤;以及基于所获取的所述拍摄图像,生成来源于位于下述位置的一个或者多个解析点的包括所述对象物的虚拟图像的步骤,其中该位置是包括所述摄像装置的移动轨迹的面以外的位置。

    光学测定系统、光学测定方法以及记录介质

    公开(公告)号:CN115112026A

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202210288673.6

    申请日:2022-03-22

    Abstract: 本发明提供一种光学测定系统、光学测定方法以及记录介质。光学测定系统包括:光源;分光检测器;基准试样,其构成为相对于温度变化维持特性;切换机构,其将光学路径在第一光学路径与第二光学路径之间进行切换,所述第一光学路径用于向试样照射光并将在试样产生的光引导至分光检测器,所述第二光学路径用于向基准试样照射光并将在基准试样产生的光引导至分光检测器;以及计算部,其基于在第一时刻通过向基准试样照射光而输出的第一检测结果与在第二时刻通过向基准试样照射光而输出的第二检测结果的变化来执行校正处理,由此根据在与第二时刻在时间上接近的第三时刻通过向试样照射光而输出的第三检测结果来计算试样的测定值。

    光学特性测定装置以及光学特性测定方法

    公开(公告)号:CN108204788B

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN201711363844.2

    申请日:2017-12-18

    Abstract: 本发明使基于来自样本的光的样本的光学特性的测定容易进行。光学特性测定装置(1、1A)具备光学系统(12)、检测部(13)以及解析部(14)。光学系统对从样本(2)射入的检测光进行聚光。检测部对在样本与光学系统之间的光学距离相互不同的状态下经由光学系统射入的样本的检测光进行多次分光,生成表示各检测光的光谱的多个检测数据(D1)。解析部解析检测数据所示的光谱,测定样本的规定的光学特性。解析部基于多个检测数据中的检测光的大小,确定用于光学特性的测定的检测数据,基于所确定的检测数据,测定光学特性(S6、S6A)。

    光学测定系统和光学测定方法
    110.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113494889A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202110378953.1

    申请日:2021-04-08

    Abstract: 一种光学测定系统和光学测定方法。光学测定系统包括:光源,其用于产生测定光;受光部,其接收对试样照射测定光而产生的反射光或透射光来作为观测光;获取单元,其获取观测光中包含的波长范围内的、被设定为两端的相位相同的波长区间的观测光光谱;初始值决定单元,其基于在对观测光光谱进行傅立叶变换而得到的功率谱中出现的峰的位置,来决定试样的膜厚的初始值;拟合单元,其以使根据包含膜厚作为参数的试样的模型计算出的干涉光谱与观测光光谱一致的方式对模型的参数进行更新,来决定试样的膜厚;以及判断单元,其判断所决定的该膜厚是否满足基于先前获取到的膜厚的条件。

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