公开(公告)号：JP5316479B2

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：JP2010121888

申请日：2010-05-27

Applicant: 株式会社デンソー

Inventor： 哲夫 藤井 ,  久則 与倉 ,  祐史 樋口

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P15/08 ,  H01L29/84

CPC classification number: H01L27/1203 ,  B81B2201/025 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0285 ,  B81B2201/047 ,  B81C1/00182 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  H01L21/84

Abstract: A semiconductor dynamic quantity sensor has a substrate including a semiconductor substrate, an insulation layer on a main surface of the semiconductor substrate, and a semiconductor layer on the insulation layer. The main surface has a projection that is trapezoidal or triangular in cross section. The semiconductor layer is divided by a through hole into a movable portion. A tip of the projection is located directly below the movable portion and spaced from the movable portion by a predetermined distance in a thickness direction of the substrate. A width of the tip of the projection is less than a width of the movable portion in a planar direction of the substrate. The distance between the tip of the projection and the movable portion is equal to a thickness of the insulation layer.

公开(公告)号：JP5135683B2

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：JP2005374324

申请日：2005-12-27

Applicant: ソニー株式会社

Inventor： 輝往 稲熊 ,  浩二 鈴木 ,  和夫 高橋 ,  順一 本多 ,  栄治 中塩

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5663 ,  G01C19/5783 ,  H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/23 ,  H01L41/332 ,  H01L41/335 ,  H01L41/338

CPC classification number: B81B3/0067 ,  B81B2201/0285 ,  B81B2203/0118 ,  G01C19/5663 ,  G01P15/0802

Abstract: A vibrating gyrosensor includes a support substrate on which a wiring pattern having a plurality of lands is formed, and a vibrating element mounted on a surface of the support substrate. The vibrating element includes a base part having a mounting surface on which a plurality of terminals, and a vibrator part integrally projected in a cantilever manner from one of the sides of the base part and having a substrate-facing surface coplanar with the mounting surface of the base part. The vibrator part has a first electrode layer, a piezoelectric layer, and a second electrode layer, which are formed on the substrate-facing surface in that order. Furthermore, a reinforcing part is formed at the base end of the vibrator part so that the sectional area of the vibrator part gradually increases toward the base part.

公开(公告)号：JP4474624B2

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：JP2006504018

申请日：2004-04-22

Applicant: クアンタム プレシジョン インスツルメント アジア ピーティイー エルティディ

Inventor： ミッチェルウィクツ，マレク，タデウスツ ,  ディーアール ハブ．インズ． リムザ，ジグムント，プロフ

IPC: G01H11/06 ,  B81B3/00 ,  G01C19/00 ,  G01C19/56 ,  G01D21/00 ,  G01F1/28 ,  G01P9/04 ,  G01P15/08 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0285 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  G01C19/00 ,  G01D21/00 ,  G01P15/0894 ,  Y10S977/724 ,  Y10S977/725 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/733

公开(公告)号：JP4144640B2

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：JP2006280648

申请日：2006-10-13

Applicant: オムロン株式会社

Inventor： 史仁 加藤 ,  恭弘 堀本 ,  正紀 宗近 ,  正幸 犬賀 ,  隆 笠井 ,  秀一 若林 ,  敏幸 高橋

IPC: H01L29/84 ,  H01L21/306 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00

CPC classification number: B81C1/00182 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0285 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0353 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04

公开(公告)号：KR1020150026805A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：KR1020140097114

申请日：2014-07-30

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 백인복 ,  유한영 ,  김약연 ,  김용준 ,  안창근 ,  윤용선 ,  이봉국 ,  임지은 ,  장원익

IPC: H03H9/24 ,  B81B3/00

CPC classification number: H03H9/24 ,  B81B3/0035 ,  B81B2201/0285 ,  B81C1/00349 ,  B81C1/00436

Abstract: 진동 영역의 양 끝을 감싸는 형상으로 형성된 지지부를 포함하는 진동 소자 및 그 제조 방법이 개시된다.
진동 소자는 상부에 절연층이 형성된 하부 기판; 상기 절연층의 위에 결합되며, 하부 기판과 일정 거리 이상 이격되어 진동하는 진동 영역을 포함하는 상부 기판; 및 상기 진동 영역의 양끝을 감싸는 형태로 형성되어 상기 진동 영역을 지지하는 지지부를 포함할 수 있다.

Abstract translation: 公开了一种振动装置及其制造方法，该振动装置包括围绕振动区域的两端的支撑部。 振动装置可以包括其上形成有绝缘层的下基板; 与绝缘层组合的上基板，包括与下基板隔开一定距离振动的振动区域; 以及支撑部，其围绕振动区域的两端并且支撑振动区域。

公开(公告)号：KR101325485B1

公开(公告)日：2013-11-07

申请号：KR1020130050890

申请日：2013-05-06

Applicant: 주식회사 썬더테크놀로지 ,  김한승

Inventor： 김한승 ,  김관웅

IPC: H04R1/00 ,  G08B17/00

CPC classification number: H04R1/00 ,  B01J2219/00981 ,  B81B2201/0285 ,  G08B17/00

Abstract: The present invention relates to an integrated type disaster sensing speaker comprising: a housing (10); a control unit (30); an amplifying unit (40); and an output unit (50). The integrated type disaster sensing speaker is capable of sensing a disaster situation occurring where the integrated type disaster sensing speaker is installed, informing a center control unit of the disaster situation, delivering the disaster situation to a different speaker through a network, and making the different speaker output an emergency broadcast, even when the central control unit has a problem in the event of an emergency. [Reference numerals] (22) Fire detecting sensor;(24) Gas detecting sensor;(26) Vibration detecting sensor;(30) Control unit;(32) Sub battery;(40) Amplifying unit;(AA) Central command unit

Abstract translation: 本发明涉及一种集成式的灾难性感应扬声器，包括：壳体（10）; 控制单元（30）; 放大单元（40）; 和输出单元（50）。 集成型灾难传感扬声器能够感测安装有集成型灾害传感扬声器的灾害情况，向中心控制单元通报灾情情况，通过网络将灾难情况传递给不同的扬声器，并使不同的 扬声器输出紧急广播，即使中央控制单元在发生紧急情况时也有问题。 （22）火灾探测传感器;（24）气体检测传感器;（26）振动检测传感器;（30）控制单元;（32）子电池;（40）放大单元;（AA）中央指令单元

公开(公告)号：KR101030633B1

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：KR1020097002569

申请日：2007-07-20

Applicant: 오므론 가부시키가이샤

Inventor： 카사이타카시 ,  호리모토야스히로 ,  카토후미히토 ,  무네치카마사키 ,  와카바야시슈이치 ,  타카하시토시유키 ,  이누가마사유키

IPC: H01L29/84 ,  H01L21/306 ,  H04R19/04

CPC classification number: B81C1/00182 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0285 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0353 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04

Abstract: Si기판(12)의 표면에 SiO
2 박막으로 이루어지는 보호막(20)을 형성하고, 그 일부를 제거하여 개구한 에칭창(22)에 다결정 Si로 이루어지는 희생층(23)을 성막한다. 희생층(23)의 위로부터 Si기판(12) 표면에 SiO
2 로 이루어지는 보호막(24)을 성막하고, 그 위로부터 다결정 Si로 이루어지는 소자박막(13)을 성막한다. 이면의 보호막(21)에 이면 에칭창(26)을 개구한다. TMAH에 Si기판(12)을 침지하여 이면 에칭창(26)으로부터 Si기판(12)을 결정이방성 에칭하여, Si기판(12)에 관통구멍(14)을 마련한다. 희생층(23)이 관통구멍(14) 내에 노출하면, 희생층(23)을 에칭 제거하고, 보호막(24)과 Si기판(12) 사이에 간극(19)을 생성하고, Si기판(12)을 표면측과 이면측으로부터 결정이방성 에칭한다.

公开(公告)号：JPWO2014203896A1

公开(公告)日：2017-02-23

申请号：JP2015522934

申请日：2014-06-17

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 威 岡見 ,  信昭 ▲辻▼ ,  秀和 小野

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5712 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/0285 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/019 ,  G01C19/5747 ,  H02N1/008

Abstract: 本発明のMEMSセンサ用モジュール、殊に振動駆動モジュールは、振動可能に支持され、振動方向に延在する可動電極と、この可動電極と略平行に配設され、前記振動方向に延在する固定電極と、前記可動電極の前記固定電極に対向する対向壁面上に前記振動方向に並設される複数の凸部と、前記固定電極の前記可動電極に対向する対向壁面上に前記可動電極の凸部と対向する複数の凸部とを有する。

Abstract translation: 本发明中，特定的振动驱动器模块的模块MEMS传感器，可摆动支撑，并且可动电极在振动方向上延伸的，基本上可动电极设置成平行于并在固定的振动方向延伸的 和所述电极，所述多个突起其特征在于，布置在面对所述固定电极相对墙壁上的振动方向的凸，可动电极相对面向的壁与可动电极的与固定电极的可动电极 和多个凸部的面对部分。

公开(公告)号：JP5835285B2

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：JP2013153874

申请日：2013-07-24

Applicant: 横河電機株式会社

Inventor： 吉田 隆司 ,  奥田 修史 ,  岩井 滋人

IPC: H01L29/84 ,  G01L1/10

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B3/0002 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00198 ,  B81C1/00293 ,  G01L1/14 ,  G01N29/12 ,  H01L41/094 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/2463 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2201/0285 ,  B81C2203/0145 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/02827

公开(公告)号：JP2015025684A

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：JP2013153874

申请日：2013-07-24

Applicant: 横河電機株式会社 ,  Yokogawa Electric Corp

Inventor： YOSHIDA TAKASHI ,  OKUDA SHUJI ,  IWAI SHIGETO

IPC: G01L1/10 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B3/0002 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2201/0285 ,  B81C1/00198 ,  B81C1/00293 ,  B81C2203/0145 ,  G01L1/14 ,  G01N29/12 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/02827 ,  H01L41/094 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/2463

Abstract: 【課題】振動子を第一層へ吸着させることなく形成して、高精度な応力の検出を可能にし、特性の揃った振動式トランスデューサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】シェル14には、第一ポリシリコン層26と第二ポリシリコン層27との対向領域において、第二ポリシリコン層27が振動子12に対向する部位E1と、第二ポリシリコン層27が第三ポリシリコン層28に接する部位E2とを連通させる空隙部31が形成されている。真空室21を形成した廃液を外部に排出する際に、少量の廃液が振動子12と第二ポリシリコン層27の突出部29の頂面29aとの間にあっても、空隙部31で生じる毛細管現象によって速やかにこの廃液が吸い上げられる。よって、廃液のメニスカス力によって振動子12が第一ポリシリコン層26に吸着されてしまうことを確実に防止することができる。真空室12の内部に堆積するポリシリコン層による特性のばらつきを防ぐ。【選択図】図3

Abstract translation: 要解决的问题：为了提供一种在不将振动器粘附到第一层上的情况下形成的振动型换能器，可以高精度地检测应力，并且具有平衡的良好特性，以及制造振动型换能器的方法。 在外壳14中形成有间隙部分31，在第一多晶硅层26和第二多晶硅层27彼此面对的区域中，第二多晶硅层27面向振动器12的部分E1和部分E2， 第二多晶硅层27与第三多晶硅层28相接触。 即使当已经形成真空室21的废液被排放到外部时，在振动器12和第二多晶硅层27的保护部分29的顶面29a之间存在痕迹的废液，该废溶液 通过在间隙部31中产生的毛细管作用而迅速吸收。因此，可以可靠地防止振动器12被废溶液的弯月面力吸附到第一多晶硅层26。 防止了由于积聚在真空室21内的多晶硅层引起的特性变化。