Abstract:
표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법은, (a) 기판 위에 금속막을 형성하는 단계와, (b) 금속막 위에 감광층을 형성하는 단계와, (c) 감광층에 레이저 간섭무늬를 조사하여 감광층에 주기성을 가지는 나노 홀 어레이(nano hole array)를 형성하는 단계와, (d) 감광층의 나노 홀 어레이를 이용하여 금속막을 식각(etching)하여 금속막에 나노 홀 어레이를 형성하는 단계와, (e) 나노 홀 어레이를 가지는 감광층을 나노 홀 어레이가 형성된 금속막으로부터 제거하고 나노 홀 어레이가 형성된 금속막 위에 유전체층을 형성하는 단계를 포함한다.
Abstract:
A method of manufacturing a surface plasmonic color filter using laser interference lithography comprises the steps of: (a) forming a metal film on a substrate; (b) forming a photosensitive layer on the metal film; (c) forming a nanohole array having periodicity on the photosensitive layer by irradiating the photosensitive layer with a laser interference patterns; (d) forming the nanohole array on the metal film by etching the metal film using the nanohole array of the photosensitive layer; and (e) removing the photosensitive layer having the nanohole array from the metal film having the nanohole array, and forming a dielectric layer on the metal film having the nanohole array.
Abstract:
본 발명은 '유전체 위의 전기습윤' 현상을 응용, 대상 유체에 직접적인 운동량을 부과하는 동적펌프(dynamic pump) 방식의 디지털 마이크로펌프로서, 이송대상 유체의 이동통로인 메인채널의 단면적과, 상기 메인채널 내부로 개재된 방울의 이동횟수와, 상기 방울의 실질적 이동거리에 해당되는 제 1 전극 간 거리에 비례해서 상기 이송대상 유체의 부피를 정밀 제어하는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로펌프에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명은 이송대상의 제 1 유체가 유입되는 인렛 홀과 상기 제 1 유체가 유출되는 아웃렛 홀을 연결하는 메인채널; 상기 인렛 홀과 상기 아웃렛 홀 사이에서 상기 메인채널에 각각 연결된 서브 인렛 홀과 상기 서브 아웃렛 홀을 연결하고, 상기 제 1 유체와 섞이지 않는 제 2 유체가 충진된 서브채널; 상기 서브 인렛 홀과 상기 서브 아웃렛 홀 사이의 상기 메인채널에 삽입된 상기 제 2 유체의 방울; 및 상기 메인채널 일측을 따라 배치되어 구동전압이 인가되는 제 1 전극을 포함하는 유전체 위의 전기습윤 현상을 이용한 디지털 마이크로펌프를 제공한다.
Abstract:
PURPOSE: A method for self-arranging of solder balls for packaging and soldering using the same are provided to mount a solder ball without using an apparatus for absorbing the solder ball by arranging the solder ball through self-alignment using droplet attached on the substrate surface. CONSTITUTION: A substrate surface is selectively processed to be hydrophilic(S1). A liquid droplet is formed on the substrate surface(S2). The solder ball is self-aligned in the liquid droplet(S3). The solder ball is reflowed and is attached on the substrate(S4). A top chip and the substrate is contacted with each other through the solder ball(S5). The solder ball is reflowed final and the substrate and the top chip are bonded with each other(S6).
Abstract:
A micro actuator having a finger with asymmetrical protrusions and an asymmetrical protrusion manufacturing method are provided to increase driving force of the micro actuator by forming the asymmetrical protrusions on both sides of a stator finger or a mover finger, and to enlarge movement displacement by increasing a driving range. A micro actuator having a finger with asymmetrical protrusions(32) is composed of a plate(1) with predetermined flatness; a stator(30) provided with plural fingers(31) aligned in a line in the shape of comb teeth and formed with the asymmetrical protrusions on both sides, and fixed on the upside of the plate; a mover(33) provided with plural fingers(34) aligned in a line in the shape of comb teeth, and disposed on the upside of the plate oppositely to the stator so that the fingers of the mover are engaged or separated while vertically reciprocating between the stator fingers; an elastic member(35) horizontally extended from one side of the mover to supply return power when the mover reciprocates; a support member(36) connected with both ends of the elastic member to support the elastic member; and a power source applying voltage to the stator and the mover.
Abstract:
다양한 반도체 결정재료를 간편하게 단일층 또는 100 nm 이하 두께의 다층 반도체 나노층으로 대량 생산하는 방법을 제공한다. 양전극에 연결되고 층상 구조를 가지는 반도체 결정재료와 음전극을 비금속성 음이온을 가지는 전해질 용액에 담근 다음, 상기 양전극에 양의 전압을 인가하고 상기 음전극에 음의 전압을 인가한다. 상기 음이온을 상기 반도체 결정재료의 층 사이에 삽입하여 층을 박리시킨다.
Abstract:
표면 플라즈모닉 컬러 필터의 제조 방법은, (a) 기판 위에 광결정 구조를 형성하는 단계와, (b) 광결정 구조 위에 제1 유전체층을 형성하는 단계; (c) 제1 유전체층 위에 금속막을 형성하는 단계와, (d) 금속막 위에 감광층을 형성하는 단계와, (e) 감광층에 레이저 간섭무늬를 조사하여 감광층에 주기성을 가지는 나노 홀 어레이(nano hole array)를 형성하는 단계와, (f) 감광층의 나노 홀 어레이를 이용하여 금속막을 식각(etching)하여 금속막에 나노 홀 어레이를 형성하는 단계와, (g) 나노 홀 어레이를 가지는 감광층을 나노 홀 어레이가 형성된 금속막으로부터 제거하고 나노 홀 어레이가 형성된 금속막 위에 제1 유전체층에 포함된 유전물질과 동일한 유전물질을 포함하는 제2 유전체층을 형성하는 단계를 포함한다. 광결정 구조의 차단 파장 대역과 나노 홀 어레이의 투과 파장 대역은 서로 다르다.