公开(公告)号：KR1020080083360A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：KR1020087019880

申请日：2007-02-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠

Inventor： 모야마가즈키 ,  야기야스시 ,  와타나베신고 ,  가와무라주이치 ,  요시노기미히코 ,  오미다다히로

IPC: H05B33/26 ,  C23C14/06 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H05B33/26 ,  H01L51/5221 ,  H05B33/22 ,  H01L51/0008 ,  H01L2924/01047

Abstract: Disclosed is a light-emitting device (100) comprising a first electrode (102), a second electrode (104) arranged opposite to the first electrode (102), and an organic layer (103) arranged between the first electrode (102) and the second electrode (104) and containing a light-emitting layer (103A). This light-emitting device is characterized in that the second electrode (104) contains a conductive protection layer (104A) formed on the organic layer (103) for protecting the organic layer (103), and a conductive main electrode layer (104B) formed on the protection layer (104A).

Abstract translation: 公开了一种发光器件（100），包括第一电极（102），与第一电极（102）相对布置的第二电极（104）和布置在第一电极（102）和 第二电极（104）并且包含发光层（103A）。 该发光装置的特征在于，第二电极（104）包含在有机层（103）上形成的用于保护有机层（103）的导电保护层（104A），形成有导电主电极层（104B） 在保护层（104A）上。

公开(公告)号：KR101910678B1

公开(公告)日：2018-10-22

申请号：KR1020137012435

申请日：2011-11-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 노자와도시히사 ,  티안차이종 ,  사사키마사루 ,  미하라나오키 ,  마츠모토나오키 ,  모야마가즈키 ,  요시카와준

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32211 ,  H01J37/3244

Abstract: 본발명의플라즈마처리장치는, 기판을탑재하기위한탑재대가마련되는처리용기, 상기처리용기내로제1 가스를공급하도록구성되는제1 가스공급유닛, 상기제1 가스의적어도일부를제1 플라즈마로변환하도록구성되는제1 플라즈마생성유닛, 상기처리용기내로제2 가스를공급하도록구성되는제2 가스공급유닛, 및상기제2 가스의적어도일부를제2 플라즈마로변환하도록구성되는제2 플라즈마생성유닛을포함한다. 탑재대로부터제2 가스의유입구의높이는, 탑재대로부터제1 가스의유입구의높이보다낮다.

公开(公告)号：KR1020140061558A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：KR1020147012364

申请日：2012-11-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 티안카이종 ,  마츠모토나오키 ,  고야마고지 ,  미하라나오키 ,  다카하시가즈키 ,  요시카와준 ,  모야마가즈키 ,  다니카와다케히로

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/511 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32238

Abstract: 플라즈마 처리 장치용 이 유전체창은, 마이크로파를 플라즈마원으로 하는 플라즈마 처리 장치에 제공되고, 유전체창은 원판형이며, 마이크로파의 전파를 허용한다. 플라즈마 처리 장치용 유전체창은, 유전체창이 플라즈마 처리 장치에 제공될 때에 플라즈마가 생성되는 하면에 제공되며, 하면측에 개구를 갖고, 플라즈마 처리 장치용 유전체창의 판두께 방향으로 패인 오목부를 갖는다. 오목부는, 판두께 방향에 수직인 방향으로 연장되는 저면; 저면의 둘레 가장자리로부터 오목부의 개구측을 향하여 판두께 방향으로 연장되는 측면; 및 측면의 개구측의 둘레 가장자리로부터 오목부의 개구측을 향하여 판두께 방향에 대하여 경사져 연장되는 경사면을 갖는다.