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公开(公告)号：KR1020060055540A
公开(公告)日：2006-05-23
申请号：KR1020067002917
申请日：2005-02-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/78 , H01L21/301 , H01L21/82
CPC classification number: B81C1/00896 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: A semiconductor device, wherein a substrate (51) is formed in a rectangular shape with four sides along dicing lines, and a jetty part (56) is formed to surround all the peripheries of an actuator element (50) and electrode pads (54) and (55) for input/output. The jetty part (56) is formed in a rectangular shape with four sides, and each side thereof is continuously extended parallel with each side of the substrate (51). Since the adhesion of a protective tape (9) can be increased by the jetty part (56), foreign matters (104) produced in dicing can be prevented from adhering to the actuator element (50) and the electrode pads (54) and (55).
Abstract translation: 一种半导体器件，其中基片（51）沿着切割线形成为具有四条边的矩形形状，并且形成围绕致动器元件（50）和电极焊盘（54）的所有周边的突出部分（56） 和（55）用于输入/输出。 码头部分（56）形成为具有四边的矩形形状，并且每个侧面与基板（51）的每一侧平行延伸。 由于可以通过码头部分（56）增加保护带（9）的附着力，可以防止在切割中产生的异物（104）粘附到致动器元件（50）和电极焊盘（54）和（ 55）。
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公开(公告)号：KR101019080B1
公开(公告)日：2011-03-07
申请号：KR1020087020119
申请日：2007-04-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01P21/00 , B81C99/005 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842 , G01R31/2829
Abstract: 다방향의 자유도를 갖는 미소 구조체에 대하여, 가동부에 직접 접촉하지 않고 각 자유도 방향의 특성의 동적 시험을 실시할 수 있는 검사 장치를 제공한다. 기판(8) 상에 형성된 가동부(16a)를 갖는 적어도 1 개의 미소 구조체(16)의 특성을 평가하는 미소 구조체의 검사 장치로서, 상기 미소 구조체(16)의 전기 신호를 취출하기 위하여, 미소 구조체(16)에 형성된 패드(8a)에 전기적으로 접속하는 프로브(4a)와, 미소 구조체(16)의 가동부(16a)의 근방에 배치되어, 기체를 분출 또는 흡입하는 복수의 노즐(10)과, 상기 복수의 노즐(10)로부터 분출 또는 흡입되는 기체의 유량을 제어하는 노즐 유량 제어부(3)와, 노즐(10)로부터 분출 또는 흡입되는 기체에 의해 인가된 가동부(16a)의 변위를, 프로브(4a)를 거쳐 얻어지는 전기 신호에 의해 검출하고, 검출 결과에 기초하여 미소 구조체(16)의 특성을 평가하는 평가 수단을 구비한다.
검사장치, 프로브, 노즐-
公开(公告)号：KR100858075B1
公开(公告)日：2008-09-11
申请号：KR1020087003018
申请日：2005-07-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L23/12
CPC classification number: H01L21/486 , H01L21/76898 , H01L23/147 , H01L23/481 , H01L23/49827 , H01L23/552 , H01L2223/6622 , H01L2924/0002 , H05K1/0222 , H05K1/0306 , H05K3/423 , H05K2201/09809 , H05K2203/0733 , Y10T29/49165 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 관통 기판은 표면(11)과 이면(12)을 관통하는 관통 구멍(19)을 갖는 실리콘 기판(10)과, 관통 구멍(19)의 내벽면을 따라 설치된 실리콘 산화막(13)과, 실리콘 산화막(13)의 내벽면에 형성된 Zn 및 Cu의 층(14, 15)과, Zn 및 Cu의 층(14, 15)의 내벽면을 따라, 사이에 절연층(16)을 통해, Cu의 시드 층(17)으로부터 성장된 Cu의 도금층(18)을 갖는 것을 목적으로 한다. 그 결과 크로스토크에 의해 노이즈를 배제할 수 있는 관통 전극을 제공할 수 있다.
관통 기판, 인터포저, 절연층, 도금층, 노이즈-
公开(公告)号：KR100845485B1
公开(公告)日：2008-07-10
申请号：KR1020060029929
申请日：2006-03-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: B81C99/005
Abstract: 본 발명은 간편한 방식으로 미소한 가동부를 갖는 미소 구조체를 고정밀도로 검사하는 프로브 카드 및 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
프로브 카드(6)는 스피커(2)와, 프로브 침(4)을 고정하는 회로 기판(100)을 포함하고, 회로 기판(100)에 스피커(2)가 적재된다. 그리고, 회로 기판(100)에는 개구 영역이 설치되고, 그 위에 스피커(2)를 적재함으로써 테스트 음파가 미소 구조체의 가동부에 대하여 출력된다. 그리고, 이 테스트 음파에 따라 가동부가 움직임으로써 변화하는 전기적 특성 변화를 프로브 침(4)에 의해 검출하여 미소 구조체의 특성을 검사한다.-
公开(公告)号：KR100786166B1
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：KR1020077014093
申请日：2005-07-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L23/32
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L21/486 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 인터포저의 제조 방법에 있어서는, 기판(10)의 이면(12)측의 관통 구멍(13)의 개구부에 시드층(14)을 형성하고, 그 시드층(14)을 기초로 도금용 전극층(15)을 형성하며, 그곳으로부터 기판(10)의 표면(11)측으로 도금층(16)을 형성하여 관통 구멍(13)을 매립한다. 그 결과, 제조 공정이 간단하고, 또한 관통 구멍의 내부에 블로우홀이 생기지 않는 인터포저의 제조 방법을 제공할 수 있다.
인터포저, 시드층, 도금층, 블로우홀-
Patent Agency Ranking16.发明公开
公开(公告)号：KR1020070108246A
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：KR1020077021033
申请日：2006-03-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01P15/18 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01C19/56 , G01C25/005 , G01N29/043 , G01N2291/02881 , G01N2291/0421 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2698 , G01P15/123 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
Abstract: A speaker unit (2) has a plurality of sound sources so that a sound wave is outputted from each of the sound sources. The arrival of the sound wave as a compressional wave outputted from the speaker unit (2), i.e., an air vibration moves a movable portion of a 3-axis acceleration sensor which is a minute structure of a detection chip TP. A change of the resistance value changing according to this motion is measured according to the output voltage given via a probe (4). A control unit (20) judges the characteristic of the 3-axis acceleration sensor according to the measured characteristic value, i.e., the measurement data. Moreover, an interval between a plurality of sound sources is set to a predetermined value according to a distance difference to the 3-axis acceleration sensor and a wavelength of the test sound wave, so that a test sound wave as a synthesized wave is applied to the movable portion so as to maximize a synthesized sound field of the synthesized sound wave.
Abstract translation: 扬声器单元（2）具有多个声源，从而从每个声源输出声波。 作为从扬声器单元（2）输出的压缩波的声波的到来，即空气振动使作为检测芯片TP的微小结构的3轴加速度传感器的可动部移动。 根据该运动而改变的电阻值的变化根据通过探针（4）给出的输出电压来测量。 控制单元（20）根据所测量的特性值即测量数据判断3轴加速度传感器的特性。 此外，根据与3轴加速度传感器的距离差和测试声波的波长，将多个声源之间的间隔设定为预定值，从而将作为合成波的测试声波应用于 可动部，使合成声波的合成声场最大化。
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公开(公告)号：KR1020070086502A
公开(公告)日：2007-08-27
申请号：KR1020077014093
申请日：2005-07-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L23/32
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L21/486 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: An interposer producing method comprises the steps of forming a seed layer (14) in the opening in a through-hole (13) on the back (12) side of a base plate (10), forming a plating electrode layer (15) on the basis of the seed layer (14), and forming a plated layer (16) on the face (11) side of the base plate (10) to fill the through-hole (13). As a result, it is possible to provide an interposer producing method in which the production process is easy and no blowhole is produced in the through-hole.
Abstract translation: 一种中介层的制造方法，其特征在于，在基板（10）的背面（12）侧的贯通孔（13）的开口部形成种子层（14），形成电镀电极层（15） 种子层（14）的基础，在基板（10）的面（11）侧形成镀层（16）以填充通孔（13）。 结果，可以提供一种中间体制造方法，其中生产过程容易，并且在通孔中不产生气孔。
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公开(公告)号：KR1020040053121A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：KR1020047003333
申请日：2002-09-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 야카베마사미
IPC: G01R27/26
CPC classification number: G01R27/2605 , G01D5/24 , G01N27/228 , H04R3/007
Abstract: 제 1 연산 증폭기 OP
1 의 귀환 회로에 콘덴서 C 및 임피던스 변환기 H
iz 가 직렬로 삽입되고, 해당 콘덴서와 변환기의 접속점에 신호선 L을 거쳐서 용량 센서의 전극 P
1 이 접속된다. 신호선 L은, 저항값이 높은 저항 R
3 을 거쳐서 소정의 기준 전위에 접속되어 있다. 귀환 회로에 콘덴서가 삽입된 경우, 신호선이 플로팅 상태로 되어 회로 동작이 불안정해지지만, 신호선 L이 고저항 R
3 을 거쳐서 소정의 전위에 고정되기 때문에, 동작이 안정화한다. 임피던스 변환기를 볼티지폴로워로 구성하고, 그 출력에 저항 R
3 을 접속해도 좋다.Abstract translation: 电容C和阻抗变换器Hiz串联在第一运算放大器OP1的反馈电路中， 电容传感器的电极P1经由信号线L连接到所述电容器和转换器的连接点。信号线L通过电阻值高的电阻R3连接到预定的标准电位。 当反馈电路中包括电容器时，信号线变为悬浮状态，并且电路操作变得不稳定，然而，信号线L被固定在预定电位，因此操作变得稳定。 用电压跟随器配置阻抗转换器并将电阻R3连接到输出端是可以接受的。 ＆lt;图像＆GT;
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公开(公告)号：KR1020040040456A
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：KR1020047003332
申请日：2002-09-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 호쿠토 덴시 고교 가부시키가이샤
IPC: G01R27/26
CPC classification number: G01D5/24 , G01N27/22 , G01R27/2605
Abstract: 교류 전압 발생기(11)와, 비반전 입력 단자가 소정의 전위(본 예에서는, 접지)에 접속된 연산 증폭기(14)와, 임피던스 변환기(16)와, 교류 전압 발생기(11)와 연산 증폭기(14)의 반전 입력 단자 사이에 접속되는 저항(R1)(12)과, 연산 증폭기(14)의 반전 입력 단자와 임피던스 변환기(16)의 출력 단자 사이에 접속되는 저항(R2)(13)과, 연산 증폭기(14)의 출력 단자와 임피던스 변환기(16)의 입력 단자 사이에 접속되는 임피던스 소자(콘덴서)(15)를 구비하는 정전 용량 검출 회로(10)로서, 피검출 콘덴서(17)는 임피던스 변환기(16)의 입력 단자와 소정의 전위 사이에 접속되어 있다.
Abstract translation: 静电电容检测电路10包括交流电压发生器11，其非反相输入端子连接到特定电位（在该示例中为地）的运算放大器14，阻抗转换器16，连接在其间的电阻（R1）12 交流电压发生器11和运算放大器14的反相输入端，连接在运算放大器14的反相输入端和阻抗变换器16的输出端之间的电阻（R2）13，以及阻抗元件（电容器 ）15连接在运算放大器14的输出端和阻抗变换器16的输入端之间。待检测电容器17连接在阻抗变换器16的输入端和特定电位之间。 ＆lt;图像＆GT;
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20.发明公开대수형 아날로그/디지털 변환기, 대수형 아날로그/디지털변환 방법, 대수형 디지털/아날로그 변환기, 대수형디지털/아날로그 변환 방법 및 물리량 측정 시스템 失效代数模/数转换器，代数模/数转换法，代数数/模转换器，代数数/模转换法和物理量测量系统
公开(公告)号：KR1020010113798A
公开(公告)日：2001-12-28
申请号：KR1020017013045
申请日：2001-02-13
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 야카베마사미
IPC: H03M1/12
Abstract: 기준 참조 전압(Vref0)을 아날로그 승산기(11)에서 n승하여, 참조전압(Vref1)을 얻는다. Vref1을 아날로그 승산기(12), (13)에서 순차적으로 n승하여 Vref2, Vref3을 얻는다. Vref0∼Vref3을 스위치군(38)∼(41)에서 제어하여, 센서 회로(2)의 입력 전압(Vin)과 함께 아날로그 승산기(14)에 입력한다. 아날로그 승산기(14)의 곱셈 결과(Vx)와 센서 회로(2)의 출력 전압(Vout)을 비교기(15)에서 순차 비교하여 디지털 출력값(Dout)을 얻는다. 아날로그 승산기(14)는 적당히 설정한다.
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