公开(公告)号：KR101062668B1

公开(公告)日：2011-09-06

申请号：KR1020090017162

申请日：2009-02-27

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  김성철 ,  이영석 ,  김영국 ,  윤기찬

IPC: H01L21/268

Abstract: 본 발명은 실리콘에 도펀트를 도핑하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 의한 레이저와 흡수층을 이용한 도핑 방법은, 결정질 실리콘 기판에 비정질 실리콘-도펀트층을 증착하는 제1단계; 상기 비정질 실리콘-도펀트 막 위에 흡수층을 형성하는 제2단계; 및 상기 흡수층 위에서 레이저를 조사하는 제3단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 흡수층을 증착한 뒤에 레이저 가공을 함으로써, 유지비가 낮고 효율이 뛰어난 광섬유레이저를 사용할 수 있고, 흡수층의 온도 상승으로 인해 에너지 효율이 높아 레이저의 출력 조절이 용이하며, 도핑을 위한 공정이 간단해지는 효과가 있다.
도핑, 태양전지, 후면 통합형 태양전지, 레이저, 광섬유레이저

公开(公告)号：KR1020100027896A

公开(公告)日：2010-03-11

申请号：KR1020080086990

申请日：2008-09-03

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  한규민 ,  이영석 ,  김영국 ,  허종규 ,  유진수

IPC: H01L31/0445 ,  H01L31/18 ,  H01L31/075

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/075 ,  H01L31/18

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a thin film solar cell and a method for crystallizing amorphous silicon for the same are provided to uniformly crystallize an amorphous silicon layer by scanning a laser beam on a seed layer. CONSTITUTION: A transparent electrode layer is formed on a glass substrate. A p-type amorphous silicon layer is formed on the transparent electrode layer. An i-type amorphous silicon layer is formed on the p-type layer. A seed layer is formed on the i-type layer. A laser beam is scanned on the seed layer to crystallize the i-type layer. An n-type amorphous silicon layer is formed on the crystallized i-type layer. An electrode layer is formed on the n-type layer.

Abstract translation: 目的：提供一种制造薄膜太阳能电池的方法和用于使非晶硅结晶的方法，用于通过在种子层上扫描激光来均匀地结晶非晶硅层。 构成：在玻璃基板上形成透明电极层。 在透明电极层上形成p型非晶硅层。 在p型层上形成i型非晶硅层。 种子层形成在i型层上。 在种子层上扫描激光束以使i型层结晶。 在结晶的i型层上形成n型非晶硅层。 在n型层上形成电极层。

公开(公告)号：KR101083402B1

公开(公告)日：2011-11-14

申请号：KR1020100038143

申请日：2010-04-23

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  김영국 ,  박진주 ,  이영석 ,  윤기찬 ,  이선화

IPC: H01L31/075 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본발명은박막형태양전지와그 제조방법에관한것으로, 더욱자세하게는 p형반도체층에밴드갭이큰 물질을사용하여태양전지의효율을향상시킨박막형태양전지에관한것이다. 본발명에의한박막형태양전지는, i형반도체층; 상기 i형반도체층의일면에접하는 n형반도체층; 및상기 i형반도체층의타면에접하는 p형의비정질 SiO박막으로이루어진 p형반도체층을포함하는것을특징으로한다. 본발명에따르면, 밴드갭이큰 물질을태양광이입사하는 p형반도체층에적용함으로써박막형태양전지의효율이크게향상되는효과가있다.

公开(公告)号：KR101013432B1

公开(公告)日：2011-02-14

申请号：KR1020080086990

申请日：2008-09-03

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  한규민 ,  이영석 ,  김영국 ,  허종규 ,  유진수

IPC: H01L31/0445 ,  H01L31/18 ,  H01L31/075

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 박막 태양전지 제조방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 비정질 실리콘 박막 태양전지 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 박막 태양전지 제조방법은, 유리기판을 준비하는 단계; 상기 기판 위에 투명전극층을 형성하는 단계; 상기 투명전극층 위에 p형의 비정질 실리콘층을 형성하는 단계; 상기 p형의 비정질 실리콘층 위에 i형의 비정질 실리콘층을 형성하는 단계; 상기 i형의 비정질 실리콘층 위에 씨드층을 형성하는 단계; 상기 씨드층 위로 레이저광선을 주사하여 상기 i형의 비정질 실리콘층을 결정화하는 단계; 결정화된 i형의 실리콘층 위에 n형의 비정질 실리콘층을 형성하는 단계; 및 상기 n형의 비정질 실리콘층 위에 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 레이저광선을 주사하는 면에 씨드층을 형성함으로써 적은 데미지로 비정질 실리콘층을 균일하게 결정화하여 간단한 공정으로 효율이 향상된 박막 태양전지를 제조할 수 있다.
태양전지, 박막 태양전지, 비정질 실리콘 박막 태양전지, 결정화

公开(公告)号：KR1020100098140A

公开(公告)日：2010-09-06

申请号：KR1020090017162

申请日：2009-02-27

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  김성철 ,  이영석 ,  김영국 ,  윤기찬

IPC: H01L21/268

CPC classification number: H01L21/32155 ,  H01L21/268 ,  H01L21/324 ,  H01L31/18

Abstract: PURPOSE: A method for doping using a laser and an absorption layer is provided to dope a dopant by using a method of controlling the energy output of an optic fiber laser through an absorption layer. CONSTITUTION: An amorphous silicon-dopant layer(200) is evaporated on a crystalline silicon substrate(100). An absorber(300) is formed on the amorphous silicon-dopant film. A laser(400) is projected on the absorber. The absorber is one of a micro crystalline poly-silicon and a polycrystalline silicon layer. The dopant of the amorphous - dopant film is one of a p-dopant including the boron or an n type dopant including the phosphorus.

Abstract translation: 目的：提供使用激光和吸收层进行掺杂的方法，以通过使用通过吸收层控制光纤激光器的能量输出的方法来掺杂掺杂剂。 构成：在晶体硅衬底（100）上蒸发非晶硅 - 掺杂剂层（200）。 在非晶硅 - 掺杂剂膜上形成吸收体（300）。 激光器（400）投射在吸收器上。 吸收体是微结晶多晶硅和多晶硅层之一。 非晶掺杂剂膜的掺杂剂是包括硼或包含磷的n型掺杂剂的p掺杂剂之一。

公开(公告)号：KR1020120059371A

公开(公告)日：2012-06-08

申请号：KR1020110121890

申请日：2011-11-21

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  장주연 ,  신종훈 ,  안시현 ,  박형식 ,  박진주 ,  조재현 ,  김영국 ,  장경수

IPC: H01L31/0445 ,  H01L31/075 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/075 ,  H01L31/18

Abstract: PURPOSE: A thin film type solar battery and a manufacturing method thereof are provided to improve short-circuit current density by including a rear side transparent conductivity oxide layer and a rear side electrode having different reflective index. CONSTITUTION: Texture is formed on the surface of a glass substrate. A front side transparent conductivity oxide layer(110) is formed at the upper side of the glass substrate. A thin film laminated body of a p-i-n structure is formed at one side of the front side transparent conductivity oxide layer. A rear side transparent conductivity oxide layer(160) is formed at the upper side of the thin film laminated body of the p-i-n structure. A rear side electrode layer(170) is formed at the upper side of the rear side transparent conductivity oxide layer and the upper side of the front side transparent conductivity oxide layer.

Abstract translation: 目的：提供一种薄膜型太阳能电池及其制造方法，其通过包括背面透明导电氧化物层和具有不同反射率的后侧电极来提高短路电流密度。 构成：在玻璃基板的表面上形成纹理。 在玻璃基板的上侧形成有正面透明导电性氧化物层（110）。 在正面透明导电氧化物层的一侧形成p-i-n结构的薄膜层叠体。 在p-i-n结构的薄膜层叠体的上侧形成有背面透明导电氧化物层（160）。 在后侧透明导电氧化物层的上侧和前侧透明导电氧化物层的上侧形成有背面电极层（170）。

公开(公告)号：KR101030447B1

公开(公告)日：2011-04-25

申请号：KR1020090017159

申请日：2009-02-27

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  김영국 ,  허종규 ,  최형욱 ,  장경수

IPC: H01L31/072 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본 발명은 비정질/결정질 실리콘 이종접합 태양전지와 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 이종접합 태양전지는, 결정질 실리콘 웨이퍼의 전면에 비정질 실리콘을 형성하는 이종접합 실리콘 태양전지에 있어서, 상기 결정질 실리콘 웨이퍼의 전, 후면에 증착된 SiO
x 막; 및 전면에 증착된 SiO
x 막 위에 증착된 비정질 실리콘층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, SiO
x 막 또는 SiO
x N
y 막을 패시베이션막으로 사용함으로써, 이종접합태양전지의 효율을 크게 향상시키는 효과가 있다. 또한, 패시베이션막을 열처리 또는 화학적 기상 증착법을 이용한 간단한 증착방법을 이용함으로써, 대량 생산에 적합한 제조방법을 제공하는 효과가 있다.
이종접합 태양전지, 비정질/결정질 이종접합 태양전지, 패시베이션층, 비정질/결정질 태양전지

公开(公告)号：KR101018319B1

公开(公告)日：2011-03-04

申请号：KR1020090078324

申请日：2009-08-24

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  김영국 ,  박진주 ,  윤기찬 ,  박승만

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/075

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an organic-inorganic hybrid laminated solar cell is provided to locate a silicon solar cell with a deposited amorphous SiOx film using an N2O gas in front of an organic solar cell, thereby increasing conversion efficiency of the solar cell by adding an inorganic solar cell layer using light of a short wavelength range. CONSTITUTION: An upper transparent electrode layer(210) is formed on a transparent glass substrate(100). A p-type semiconductor layer(220) is formed on the upper transparent electrode layer. An i type semiconductor layer(230) is formed on the p-type semiconductor layer. An n-type semiconductor layer(240) is formed on the i type semiconductor layer. A middle electrode layer(250) is formed on the n-type semiconductor layer. A silicon solar cell layer(200) is formed on the middle electrode layer.

Abstract translation: 目的：提供一种制造有机 - 无机混合层压太阳能电池的方法，以在有机太阳能电池前面使用N2O气体来定位具有沉积的非晶SiO x膜的硅太阳能电池，从而通过加入太阳能电池的转换效率来提高太阳能电池的转换效率 使用短波长范围的光的无机太阳能电池层。 构成：在透明玻璃基板（100）上形成上部透明电极层（210）。 在上部透明电极层上形成p型半导体层（220）。 在p型半导体层上形成i型半导体层（230）。 在i型半导体层上形成n型半导体层（240）。 中间电极层（250）形成在n型半导体层上。 在中间电极层上形成硅太阳能电池层（200）。

公开(公告)号：KR1020100128557A

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：KR1020090047021

申请日：2009-05-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 정덕영 ,  이준신 ,  남혜진 ,  정순철 ,  장주연 ,  김영국 ,  한규민

IPC: H01L31/054

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/054

Abstract: PURPOSE: A surface processing method and a solar cell thereof are provided to improve the efficiency of a solar cell by improving the absorption rate of light by reducing a reflection rate. CONSTITUTION: A template(100) for molding a micro lens layer is manufactured. A polymer resin is spread in the template. The template where a polymer resin is spread, is placed on the surface layer(300) of a solar cell. A micro lens layer(200) is formed by hardening and adhering the polymer resin. The template is separated from the micro lens layer.

Abstract translation: 目的：提供一种表面处理方法及其太阳能电池，以通过降低反射率来提高光的吸收率来提高太阳能电池的效率。 构成：制造用于模制微透镜层的模板（100）。 聚合物树脂扩散在模板中。 将聚合物树脂扩散的模板放置在太阳能电池的表面层（300）上。 通过硬化和粘合聚合物树脂来形成微透镜层（200）。 模板与微透镜层分离。

公开(公告)号：KR1020100098138A

公开(公告)日：2010-09-06

申请号：KR1020090017159

申请日：2009-02-27

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  김영국 ,  허종규 ,  최형욱 ,  장경수

IPC: H01L31/072 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/072 ,  H01L31/04

Abstract: PURPOSE: A hetero-junction silicon solar cell and a method for fabricating the same are provided to improve minority carrier lifetime by using a SiOx film and a SiOxNy film as a passivation film. CONSTITUTION: A crystalline silicon wafer(100) is selected between an n-type or a p-type crystalline silicon. A passivation film(101) is evaporated on both sides of the silicon wafer. A back side field layer(102) generates back surface field. An amorphous silicon layer(103) is formed at front side of the crystalline silicon wafer while having the passivation film between them. A back side reflective electrode film(104) reflects incident light to increase the photonic efficiency.

Abstract translation: 目的：提供异质结硅太阳能电池及其制造方法，以通过使用SiO x膜和SiO x N y膜作为钝化膜来改善少数载流子寿命。 构成：在n型或p型晶体硅之间选择晶体硅晶片（100）。 在硅晶片的两侧蒸发钝化膜（101）。 背面场层（102）产生背面场。 在晶体硅晶片的前侧形成非晶硅层（103），同时在它们之间具有钝化膜。 背面反射电极膜（104）反射入射光以提高光子效率。