公开(公告)号：KR1019990080940A

公开(公告)日：1999-11-15

申请号：KR1019980014545

申请日：1998-04-23

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 곽윤근 ,  김수현 ,  정재원

IPC: G01B21/00

Abstract: 본 발명은 피측정물과 동시에 움직이는 "T"자 형상의 측정부에 병렬로 결합된 6개의 와이어의 길이변화를 측정하므로써, 공간상의 피측정물의 위치와 방위를 동시에 측정하는 공간 6자유도 정밀측정용 와이어 병렬센서장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 공간좌표계에서 6자유도로 움직이는 물체의 위치(position)와 방위(orientation)를 측정하는 공간 6자유도 정밀측정용 와이어 병렬센서장치에 있어서, 상기 공간좌표계의 기준면이 되는 베이스판(20)과, 상기 베이스판(20)에서 XY축 방향으로 소정간격을 유지하는 6개의 지점에 배치된 와이어풀리부(51)와 엔코더부(52) 및 구면베어링을 구비한 와이어뭉치(50)와, 상기 와이어뭉치(50)의 와이어풀리부(51)에 감겨져서 길이방향으로 신장하는 다수의 와이어(31,32,33,34,35,36)들과, 상기 다수의 와이어(31,32,33,34,35,36)들이 2개씩 한쌍을 이루는 병렬구조로 브래킷(42,43,44)에서 서로 꼬이지 않게 베어링(45,46,47)이 결합된 측정부(40) 및, 전산부를 포함하며, 상기 측정부(40)는 상기 물체에 고정되며, 상기 물체의 이동시에 상기 엔코더부(52)는 상기 측정부(40)와 � �기 와이어뭉치(50)를 연결하는 상기 다수의 와이어(31,32,33, 34,35,36)들의 길이를 측정하므로써, 상기 물체의 위치와 방위를 동시에 측정하는 것을 특징으로 하는 공간 6자유도 정밀측정용 와이어 병렬센서장치가 제공된다.

公开(公告)号：KR101761010B1

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：KR1020150129896

申请日：2015-09-14

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정연식 ,  정재원 ,  백광민 ,  김종민 ,  남태원

IPC: H01L21/02 ,  H01L29/06 ,  H01L21/027 ,  H01L21/70

Abstract: 일실시예에따른나노전사프린팅방법은표면패턴이형성된템플릿기판상에고분자박막을코팅하는단계; 상기고분자박막및 접착필름을이용하여상기고분자박막을복제박막몰드로제작하는단계; 상기복제박막몰드상에나노구조체를형성하는단계; 상기접착필름과상기복제박막몰드간접착력을선택적으로약화시키는단계; 및상기나노구조체를대상물체에전사하는단계를포함한다.

Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，提供了一种纳米转印印刷方法，包括：在其上形成有表面图案的模板基板上涂覆聚合物薄膜; 使用聚合物薄膜和粘合膜制造聚合物薄膜作为复制薄膜模具; 在复制薄膜模具上形成纳米结构; 选择性地弱化粘合剂膜和复制薄膜模具之间的粘合力; 并将纳米结构转移到目标物体上。

公开(公告)号：KR101449850B1

公开(公告)日：2014-10-13

申请号：KR1020130056998

申请日：2013-05-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정연식 ,  허윤형 ,  정재원 ,  김종민

IPC: H01L21/20 ,  B29C59/00 ,  H01L21/22

Abstract: In a method for forming block copolymer pattern, provided is a method for forming block copolymer pattern, comprising: a step for contacting an annealing pad where an organic solvent is absorbed in a block copolymer applied to a substrate; and a step for which the block copolymer is self-assembled by the organic solvent discharged from the annealing pad.

Abstract translation: 在形成嵌段共聚物图案的方法中，提供了一种形成嵌段共聚物图案的方法，包括：使有机溶剂吸收在施加到基材上的嵌段共聚物中的退火焊盘的接触步骤; 和通过从退火焊盘排出的有机溶剂自组装嵌段共聚物的步骤。

公开(公告)号：KR1020130143417A

公开(公告)日：2013-12-31

申请号：KR1020120066966

申请日：2012-06-21

Applicant: 엘지디스플레이 주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 박종현 ,  김태헌 ,  봉성율 ,  정연식 ,  정재원 ,  김경호 ,  박운익

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0273 ,  B82B1/001 ,  B82B3/0014 ,  B82B3/0019

Abstract: A nano transfer printing method according to an embodiment of the present invention includes the steps of: coating an elastic mold including a surface pattern with a block copolymer; forming a polymer thin film with a self-assembly pattern by annealing the block copolymer to induce self-assembly; printing the polymer thin film with the self-assembly pattern on the substrate; and removing the polymer thin film except the self-assembly pattern and forming an oxidation pattern by oxidizing the self-assembly pattern.

Abstract translation: 根据本发明实施例的纳米转印印刷方法包括以下步骤：用嵌段共聚物涂布包括表面图案的弹性模具; 通过退火嵌段共聚物以自组装形成具有自组装图案的聚合物薄膜; 在衬底上印刷具有自组装图案的聚合物薄膜; 除去自组装图案以外的聚合物薄膜，通过氧化自组装图案形成氧化图案。

公开(公告)号：KR1019990086362A

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：KR1019980019307

申请日：1998-05-27

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 곽윤근 ,  김수현 ,  정재원

IPC: G01B21/00

Abstract: 본 발명은 엔코더부의 내부에서 와이어와 접촉하는 홈이 원주면에 형성된 측정축과, 이런 측정축의 홈에 접촉하는 와이어의 반대편 원주면에 접촉하여 회전하는 베어링을 지지하는 보조축으로 와이어의 미끌림을 방지할 수 있는 와이어 위치 센서에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 공간좌표계에서 6자유도로 움직이는 물체의 위치(position)와 방위(orientation)를 측정하기 위한 와이어 위치 센서에 있어서, 상기 와이어뭉치(10)의 엔코더부(30)는 원주면의 중앙에 원둘레 방향으로 홈(36)이 형성된 측정축(31)과, 상기 측정축(31)의 끝단부에 결합되어 회전각을 측정하는 엔코더(38)와, 상기 측정축(31)의 홈(36)에 접촉하는 상기 와이어(20)의 반대쪽 표면에 접촉된 회전베어링(35)을 지지하는 보조축(32)을 포함하며; 상기 측정축(31)은 회전이 가능하고 축방향으로의 움직임을 제한하게 고정베어링(37)과 스넵링(33)으로 상기 브래킷(50)에 결합되어 있으며; 상기 보조축(32)은 상기 브래킷(50)의 외부에서 스넵링(34)으로 고정되어서 상기 측정축(31)의 홈(36)에서 상기 와이어(20)가 길이방향으로 움직일 경우에 회전하는 상기 회전베어링(35)을 지지함으로써, 상기 측정축(31)의 홈(36)과 상기 와이어(20)의 미끌림을 방지하는 것을 특징으로 하는 와이어 위치 센서가 제공된다.

公开(公告)号：KR1020170032093A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：KR1020150129896

申请日：2015-09-14

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정연식 ,  정재원 ,  백광민 ,  김종민 ,  남태원

IPC: H01L21/02 ,  H01L29/06 ,  H01L21/027 ,  H01L21/70

Abstract: 일실시예에따른나노전사프린팅방법은표면패턴이형성된템플릿기판상에고분자박막을코팅하는단계; 상기고분자박막및 접착필름을이용하여상기고분자박막을복제박막몰드로제작하는단계; 상기복제박막몰드상에나노구조체를형성하는단계; 상기접착필름과상기복제박막몰드간접착력을선택적으로약화시키는단계; 및상기나노구조체를대상물체에전사하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR1020130050874A

公开(公告)日：2013-05-16

申请号：KR1020120108745

申请日：2012-09-28

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 김미정 ,  정연식 ,  정재원 ,  박운익

IPC: B82B1/00 ,  B82B3/00

CPC classification number: C09D5/00 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y40/00 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0337 ,  Y10T428/24612

Abstract: PURPOSE: A nanostructure of a block copolymer is provided to reduce a pattern resolution to about 10nm or less and to improve line edge roughness of a pattern by controlling a difference between at least two solybility parameters(δ) of block structure units in a predetermined range. CONSTITUTION: A block copolymer nanostructure(20) comprises a self-assembled block copolymer on a substrate(10), and the block copolymer comprises multiple block structure units. A difference of solybility parameters(δ) of at least two of the block structure units is equal to or greater than 5 MPa1/2. The block copolymer has a Flory-Huggins interaction parameter(χ) that is equal to or greater than 0.7. A manufacturing method of the block copolymer nanostructure comprises the following steps: (a) forming a block copolymer thin film on a substrate; (b) performing a solvent annealing process to form a pattern on the thin film; and (c) performing a plasma treatment on the pattern to remove other block structure units than the block structure units that form the pattern, thereby manufacturing a nanostructure.

Abstract translation: 目的：提供嵌段共聚物的纳米结构以将图案分辨率降低到约10nm或更小，并且通过控制在预定范围内的块结构单元的至少两个均匀性参数（δ）之间的差异来改善图案的线边缘粗糙度 。 构成：嵌段共聚物纳米结构（20）在基材（10）上包含自组装嵌段共聚物，嵌段共聚物包含多个嵌段结构单元。 至少两个块结构单元的均匀性参数（δ）的差异等于或大于5MPa1 / 2。 嵌段共聚物具有等于或大于0.7的Flory-Huggins相互作用参数（χ）。 嵌段共聚物纳米结构的制造方法包括以下步骤：（a）在基材上形成嵌段共聚物薄膜; （b）进行溶剂退火处理以在薄膜上形成图案; 和（c）对图案进行等离子体处理以去除除了形成图案的块结构单元之外的其它块结构单元，从而制造纳米结构。

公开(公告)号：KR101233432B1

公开(公告)日：2013-02-14

申请号：KR1020100098700

申请日：2010-10-11

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 장평훈 ,  정재원

IPC: B25J9/16 ,  G05B19/00

Abstract: 본 발명은 시간지연추정을 이용하여 로봇에 작용하는 외력을 추정하는 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 시간지연추정을 이용하여 로봇에 작용하는 외력을 추정하는 방법으로서, 로봇이 자유 공간(free surface) 상에서 구속동작(constrained motion)을 모방하도록 선행 실험을 하여 제1 시간지연추정치 를 메모리에 저장하는 제1 단계와, 로봇이 구속 공간(constrained space) 상에서 구속 환경(constrained environment)에 접촉하는 접촉 상황하에서 제2 시간지연추정치 를 계산하는 제2 단계와, 계산된 제2 시간지연추정치 와 메모리에 저장된 제1 시간지연추정치 의 차이를 통해 실시간으로 외력을 계산하는 제3 단계를 포함하는, 시간지연추정을 이용하여 로봇에 작용하는 외력을 추정하는 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR101684765B1

公开(公告)日：2016-12-08

申请号：KR1020150018185

申请日：2015-02-05

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정연식 ,  박운익 ,  김종민 ,  정재원 ,  유정근

IPC: G03F7/00 ,  C08J3/00

Abstract: 제 1 이종(di) 블록공중합체와제 2 이종(di) 블록공중합체를혼합하여기판에도포하는단계; 및상기혼합된제 1 이종(di) 블록공중합체와제 2 이종(di) 블록공중합체에제 1 용매및 제 2 용매가혼합된혼합용매로용매어닐링하는단계;를포함하며, 상기제 1 용매에의하여상기제 1 이종(di) 블록공중합체의구성중합체블록이팽창하며, 이로써구성중합체블록에의하여정의되는육각판상구조가형성되는것을특징으로하는, 블록공중합체패터닝방법이제공된다.

Abstract translation: 提供嵌段共聚物图案化方法，其包括以下步骤：混合第一二嵌段共聚物和第二二嵌段共聚物，然后将该混合物铺展在基材上; 并用与第一溶剂和第二溶剂混合的混合溶剂对第一和第二二嵌段共聚物的混合物进行溶剂退火。 第一二嵌段共聚物的构成聚合物嵌段由第一溶剂膨胀，形成由构成聚合物嵌段描述的六角形板状结构。

公开(公告)号：KR1020160031386A

公开(公告)日：2016-03-22

申请号：KR1020150018185

申请日：2015-02-05

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정연식 ,  박운익 ,  김종민 ,  정재원 ,  유정근

IPC: G03F7/00 ,  C08J3/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  C08J3/00

Abstract: 제 1 이종(di) 블록공중합체와제 2 이종(di) 블록공중합체를혼합하여기판에도포하는단계; 및상기혼합된제 1 이종(di) 블록공중합체와제 2 이종(di) 블록공중합체에제 1 용매및 제 2 용매가혼합된혼합용매로용매어닐링하는단계;를포함하며, 상기제 1 용매에의하여상기제 1 이종(di) 블록공중합체의구성중합체블록이팽창하며, 이로써구성중합체블록에의하여정의되는육각판상구조가형성되는것을특징으로하는, 블록공중합체패터닝방법이제공된다.

Abstract translation: 提供嵌段共聚物图案化方法，其包括以下步骤：将第一二嵌段共聚物和第二二嵌段共聚物混合，然后将混合物铺展在基材上; 并用与第一溶剂和第二溶剂混合的混合溶剂对第一和第二二嵌段共聚物的混合物进行溶剂退火。 第一二嵌段共聚物的构成聚合物嵌段由第一溶剂膨胀，形成由构成聚合物嵌段描述的六角形板状结构。