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公开(公告)号：KR101826662B1
公开(公告)日：2018-03-22
申请号：KR1020160060050
申请日：2016-05-17
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00
Abstract: 본발명은멤스디바이스제조방법및 이에의해제조되는멤스디바이스에관한것으로, 보다상세하게는구조물절연막을이용한보이드패턴의형성후, 희생층을증착함으로써, CMOS 호환성있는공정에의해종래와같은하부전극의박리현상이전혀발생되지않으며, 스핀온 절연막(SOD) 또는스핀온 글래스(SOG)를통한스핀증착에따라하부패턴에영향을받지않으면서평탄화가가능하며, 비아홀의형성시, 클리닝(cleaning) 공정을더 수행하여후속증착공정에서의오염을원천적으로방지할수 있는멤스디바이스제조방법및 이에의해제조되는멤스디바이스에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101804564B1
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：KR1020150169042
申请日：2015-11-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81B7/02 , G01J5/20 , B81C1/00 , H01L27/04 , H01L21/768
Abstract: 비정질탄소막을희생층으로이용한멤스디바이스및 그제조방법이제공된다. 본발명의일 실시예에따르면, 하부구조체; 상기하부구조체의상부로이격되어배치된멤스구조체; 상기하부구조체와상기멤스구조체를전기적으로연결하는전기적연결구조체; 및상기멤스구조체의상부로이격되어배치되는플레이트부와상기플레이트부로부터상기멤스구조체로연장되는비어연결부를구비하는광흡수구조체;를포함하는, 멤스디바이스를제공한다.
Abstract translation: 提供了一种使用非晶碳膜作为牺牲层的MEMS器件及其制造方法。 根据本发明的一个实施例， MEMS结构，设置在下部结构的上部; 一种用于电连接下部结构和MEMS结构的电连接结构; 并且光吸收结构具有设置成与MEMS结构的上部分隔开的板部分和从板部分延伸到MEMS结构的通孔连接部分。
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公开(公告)号：KR1020170063079A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：KR1020150169042
申请日：2015-11-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81B7/02 , G01J5/20 , B81C1/00 , H01L27/04 , H01L21/768
Abstract: 비정질탄소막을희생층으로이용한멤스디바이스및 그제조방법이제공된다. 본발명의일 실시예에따르면, 하부구조체; 상기하부구조체의상부로이격되어배치된멤스구조체; 상기하부구조체와상기멤스구조체를전기적으로연결하는전기적연결구조체; 및상기멤스구조체의상부로이격되어배치되는플레이트부와상기플레이트부로부터상기멤스구조체로연장되는비어연결부를구비하는광흡수구조체;를포함하는, 멤스디바이스를제공한다.
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公开(公告)号：KR101279217B1
公开(公告)日：2013-07-30
申请号：KR1020110011173
申请日：2011-02-08
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 유-무선 네트워크 통합 방법, 시스템 및 이를 위한 기록 매체를 공개한다. 유-무선 네트워크 통합 방법, 시스템 및 이를 위한 기록 매체는 유선 네트워크인 EPON과 무선 네트워크인 WiMAX를 조인트 컨트롤러를 이용하여 연결한다. 그리고 중앙 집중 스케줄링 기법을 이용하여 이전 승인된 데이터를 EPON의 OLT로 전송할 때, 이후 데이터를 위해 WiMAX에서 수집된 대역폭 요청을 함께 전송하여 대역폭 요청 및 데이터 요청 시간을 줄일 수 있다. 또한 조인트 컨트롤러의 QoS 매퍼가 EPON의 QoS 등급과 WiMAX 서비스 등급의 불일치를 조절하여 유-무선 네트워크 통합 시스템의 QoS를 보장할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101131414B1
公开(公告)日：2012-04-03
申请号：KR1020100088688
申请日：2010-09-10
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A radio frequency device and a method of fabricating the same are provided to reduce the contact resistance of a guard ring contact plug by forming an impurity doping region in the surface of the guard ring. CONSTITUTION: A substrate(102) comprises a first area(102a) and a second part(102b). A semiconductor layer(106) is formed on the first area of the substrate. A buried insulating layer(104) is formed between the substrate and the semiconductor layer. A plurality of inversion blocking layers(120a) is formed on the second region of the substrate. A field insulating layer(125) covers the side of the semiconductor layer and the top side of the inversion blocking layer.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100925196B1
公开(公告)日：2009-11-06
申请号：KR1020070039330
申请日：2007-04-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H04B7/26
Abstract: 본 발명은 잔여 에너지량을 고려하는 효율적인 전력 관리 방법에 관한 것으로, 이동 가입자 단말기가 충분한 에너지를 가지고 있는 경우에는 최소 슬립 윈도우의 크기를 줄여서 에너지 소비가 어느 정도 증가하더라도 응답 지연 시간을 줄이며, 잔여 에너지량이 적은 경우에는 최소 슬립 윈도우의 크기를 증가시켜 응답 지연 시간이 늘어나더라도 에너지 소비를 감소시켜서 잔여 에너지의 상황에 맞게 효율적으로 전력을 관리할 수 있는 이점이 있다.
IEEE 802.16e, 전력 관리, 에너지, 슬립 모드, 프레임 응답 지연-
公开(公告)号：KR1020120026670A
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：KR1020100088688
申请日：2010-09-10
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A radio frequency device and a method of fabricating the same are provided to reduce the contact resistance of a guard ring contact plug by forming an impurity doping region in the surface of the guard ring. CONSTITUTION: A substrate(102) comprises a first area(102a) and a second part(102b). A semiconductor layer(106) is formed on the first area of the substrate. A buried insulating layer(104) is formed between the substrate and the semiconductor layer. A plurality of inversion blocking layers(120a) is formed on the second region of the substrate. A field insulating layer(125) covers the side of the semiconductor layer and the top side of the inversion blocking layer.
Abstract translation: 目的：提供一种射频装置及其制造方法，以通过在保护环表面形成杂质掺杂区来减小保护环接触插塞的接触电阻。 构成：衬底（102）包括第一区域（102a）和第二部分（102b）。 半导体层（106）形成在基板的第一区域上。 在衬底和半导体层之间形成掩埋绝缘层（104）。 在基板的第二区域上形成多个反转阻挡层（120a）。 场绝缘层（125）覆盖半导体层的侧面和反转阻挡层的顶侧。
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公开(公告)号：KR1020100093260A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：KR1020090012370
申请日：2009-02-16
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G06F1/3203 , G06F1/329 , Y02D10/24 , H04L12/43 , H04W52/02
Abstract: PURPOSE: A scheduled power-saving method in an IEEE 802.16e system is provided to improve the power saving performance through the relative increase of a non-activation state of a mobile terminal by performing a sleep mode sync operation for service connection. CONSTITUTION: If there is a sleep mode conversion request for service connection, it is checked whether or not the connection type of the service connection is a low QoS(Quality of Service)(S1,S2). A sleep request message including a minimum sleep interval and a maximum sleep interval is transmitted to a base station(S3). If a sleep response message is received from the base station, the service connection is switched into a sleep mode(S4,S5).
Abstract translation: 目的：提供IEEE 802.16e系统中的调度节能方法，通过执行用于业务连接的休眠模式同步操作，通过移动终端的非激活状态的相对增加来提高功率节省性能。 构成：如果存在服务连接的睡眠模式转换请求，则检查服务连接的连接类型是否是低QoS（服务质量）（S1，S2）。 将包括最小睡眠间隔和最大睡眠间隔的睡眠请求消息发送到基站（S3）。 如果从基站接收到睡眠响应消息，则服务连接被切换到休眠模式（S4，S5）。
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公开(公告)号：KR1020100065022A
公开(公告)日：2010-06-15
申请号：KR1020090025337
申请日：2009-03-25
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H04B10/2581 , H04B10/27
CPC classification number: H04Q11/0067 , H04J14/02 , H04Q2011/0064
Abstract: PURPOSE: A passive optical subscriber network system for inter-local subscriber communication and a communication method thereof are provided to independently processing local data to optical transmission line terminating device by a local transmission server for communication between optical communication network units at passive optical subscriber PON structure, thereby improving transmission efficiency of the local data. CONSTITUTION: An optical transmission line terminating device(210) filters two wavelengths of the PON(Passive Optical Network) UL/DL data by the first CWDM(Coarse Wavelength Division Multiplexer). A remote node(220) transmits the wave length after the bond of the wavelength of the broadband UL data to an optical transmission line terminating device. The remote node broadcasts the wave length after the bond of the wavelength of local data to other optical network units. When the wavelength of the local data of random optical communication network unit is transmitted to other optical communication network unit, a LTCS(Local Transmission Control Server)(240) controls independent transmission form broadband data.
Abstract translation: 目的：提供一种用于本地用户通信的无源光用户网络系统及其通信方法，用于通过本地传输服务器将本地数据独立地处理到光传输线路终端设备，以在无源光用户PON结构之间的通信网络单元 从而提高本地数据的传输效率。 构成：光传输线路终端装置（210）通过第一CWDM（粗波分复用器）对PON（被动光网络）UL / DL数据的两个波长进行滤波。 远程节点（220）将宽带UL数据的波长的绑定之后的波长发送到光传输线路终端设备。 远程节点在本地数据波长与其他光网络单元绑定后广播波长。 当随机光通信网络单元的本地数据的波长被发送到其他光通信网络单元时，LTCS（本地传输控制服务器）（240）控制宽带数据的独立传输。
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公开(公告)号：KR1020170096438A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017812
申请日：2016-02-16
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L29/423 , H01L29/06 , H01L29/78 , H01L29/40 , H01L21/3065 , H01L21/02 , H01L21/265 , H01L21/324 , G03F7/20 , H01L29/772
CPC classification number: H01L29/0673 , H01L21/0274 , H01L21/26513 , H01L21/3065 , H01L21/31055 , H01L21/31111 , H01L21/31116 , H01L21/324 , H01L29/42392 , H01L29/66439 , H01L29/66742 , H01L29/66795 , H01L29/785 , H01L29/786
Abstract: 수직집적전면-게이트다층나노선(vertically integrated gate-all-around multiple nanowire) 채널기반의무접합트랜지스터제작방법은복수의나노선들이수직으로집적된수직집적다층나노선채널을형성하는단계; 상기수직집적다층나노선채널에층간절연막(interlayer dielectric; ILD)을형성하는단계; 상기수직집적다층나노선채널중 적어도일부가노출되도록상기층간절연막에홀을생성하는단계; 및상기홀이채워지도록상기층간절연막상에게이트유전막을형성하는단계를포함하고, 상기홀이채워지도록상기층간절연막상에게이트유전막을형성하는단계는상기홀을통하여노출된상기수직집적다층나노선채널중 적어도일부를감싸도록상기층간절연막상에게이트유전막을증착하는단계를포함한다.
Abstract translation: 垂直集成前栅极或多层线（垂直集成栅全能多个纳米线）信道基于占空比结型晶体管的制造方法，包括以下步骤：形成一个垂直整合的多层纳米线沟道多个纳米线的垂直集成; 在垂直集成的多层纳米线沟道上形成层间电介质（ILD）; 在层间电介质中形成孔以暴露垂直集成多层纳米线沟道的至少一部分; 和步骤包括形成空穴到层间绝缘层和栅极电介质膜的工序中填充到形成在层间绝缘膜以填充膜的栅极电介质的孔具有所述垂直集合多层纳米线通过该孔暴露 并且在层间电介质上沉积栅极电介质膜以围绕沟道的至少一部分。
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