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公开(公告)号：KR1020100072999A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020080131573
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01P1/023 , B81B2201/0235 , G01P5/12 , G01P15/18 , H01L21/20
Abstract: PURPOSE: A thermal convection type micro-acceleration measuring apparatus and a method for fabricating the same are provided to accurately measure the direction and the size of acceleration by including two pairs of temperature sensors. CONSTITUTION: An elastic thin film is formed on the upper side of a substrate(100). A heating unit(120) is formed on the upper side of the elastic thin film and is heated by an applied current. Two pairs of temperature sensors(130) are symmetrically arranged on the upper side of the elastic thin film based on the heating unit. A calculating circuit measures acceleration using the sensed temperature.
Abstract translation: 目的：提供热对流型微加速度测量装置及其制造方法，通过包括两对温度传感器来精确地测量加速度的方向和尺寸。 构成：在基板（100）的上侧形成弹性薄膜。 在弹性薄膜的上侧形成加热单元（120），并通过外加电流进行加热。 基于加热单元，两对温度传感器（130）对称地布置在弹性薄膜的上侧。 计算电路使用感测到的温度来测量加速度。
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公开(公告)号：KR1020100065529A
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：KR1020080123898
申请日：2008-12-08
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H02N11/002 , Y02E60/521
Abstract: PURPOSE: A polymer actuator comprising a copper electrode and a method for preparing the same are provided to enhance the durability of the polymer driver by preventing the melting or the oxidation of the copper electrode. CONSTITUTION: An ion conductive polymer layer is prepared(S11). A metal particle layer is adhered to both surfaces of the ion conductive polymer layer(S12). A copper electrode is formed on a metal particle layer(S13). A polymer group is obtained. Water is removed by drying the polymer group(S14). The polymer group is dipped in an ionic liquid. The polymer group is substituted by ionic liquid instead of the water(S15).
Abstract translation: 目的：提供一种包含铜电极的聚合物致动器及其制备方法，以通过防止铜电极的熔化或氧化来提高聚合物驱动器的耐久性。 构成：制备离子导电聚合物层（S11）。 在离子导电性高分子层的两面附着金属粒子层（S12）。 在金属粒子层上形成铜电极（S13）。 得到聚合物基团。 通过干燥聚合物组除去水（S14）。 将聚合物基团浸入离子液体中。 聚合物基团被离子液体代替水代替（S15）。
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公开(公告)号：KR1020100064854A
公开(公告)日：2010-06-15
申请号：KR1020080123488
申请日：2008-12-05
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04W84/18
Abstract: PURPOSE: A sensor node with self-charging function and a method for operating the same are provided to install power generation unit and power storage unit to the sensor node for monitoring physical change amount of neighboring environment at a real time, thereby providing power stably and continuously. CONSTITUTION: A sensor unit(210) monitors an event according to external environment. A control unit(240) determines critical situation through comparison between a sensing signal and preset critical value corresponding to the event. A power control unit(220) supplies driving power to the sensor unit and the control unit. The power control unit determines power value available for output. If the power value available for output is smaller than minimum drive power value, the power control unit performs generation and storage of electricity.
Abstract translation: 目的：提供一种具有自充电功能的传感器节点及其操作方法，将发电单元和蓄电单元安装到传感器节点，实时监控相邻环境的物理变化量，从而稳定地提供电力 不断。 构成：传感器单元（210）根据外部环境监视事件。 控制单元（240）通过比较感测信号和对应于该事件的预设临界值来确定关键情况。 电力控制单元（220）向传感器单元和控制单元提供驱动电力。 功率控制单元确定可用于输出的功率值。 如果可用于输出的功率值小于最小驱动功率值，则功率控制单元执行发电和存储电力。
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公开(公告)号：KR100901777B1
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：KR1020070054259
申请日：2007-06-04
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 콘덴서 마이크로폰 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 유연한 스프링형 구조의 상부 진동판과 백플레이트를 갖는 초소형 콘덴서 마이크로폰 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 콘덴서 마이크로폰 제조방법은 하부 실리콘층 및 제1 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연막 상에 백 플레이트로 사용될 상부 실리콘층을 형성하는 단계; 상기 상부 실리콘층을 패터닝하여 다수의 음향홀을 형성하는 단계; 상기 음향홀이 형성된 다음, 상기 상부 실리콘층 상에 제2 절연층을 형성하는 단계; 상기 음향홀이 형성된 상기 상부 실리콘층 상에 도전층을 형성하고, 상기 도전층 상에 보호층을 형성하는 단계; 상기 보호층 상에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 상에 진동판을 증착하고 상기 진동판의 판면을 관통하는 복수의 에어홀을 형성하는 단계; 상기 에어홀을 포함하는 진동판이 형성된 다음, 상기 보호층과 상기 진동판의 일영역 상에 전극 패드를 형성하는 단계; 상기 진동판과 상기 상부 실리콘층 사이에 에어갭을 형성하기 위해 상기 희생층, 보호층, 도전층, 상부 실리콘층, 제1 절연층 및 하부 실리콘층을 식각하는 단계를 포함한다.
이에 따라, 유연성을 갖는 진동판을 포함함으로써, 마이크로폰의 감도를 향상시킬 뿐만 아니라 반도체 멤스 기술을 이용한 제작 공정은 콘덴서 마이크로폰의 사이즈를 줄일 수 있어 휴대용 단말기 등에 집적이 가능하다.
초소형 마이크로폰, 유연 스프링형 진동판, 콘덴서 마이크로폰, 멤스-
公开(公告)号：KR100889752B1
公开(公告)日：2009-03-24
申请号：KR1020070063121
申请日：2007-06-26
Applicant: 한국전자통신연구원 , 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: B41J2/14314 , F03G7/005 , Y10T428/25
Abstract: 본 발명은 이종 접합막 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서 제 1 도전형을 갖는 제 1 나노 입자를 포함하는 제 1 층; 및 제 2 도전형을 갖는 제 2 나노 입자를 포함하는 제 2 층을 포함하고, 상기 제 1 층과 상기 제 2 층이 접합된 이종 접합막을 제공한다. 본 발명의 이종 접합막은 단일막으로 이루어진 종래의 버키 페이퍼에 비하여 구동 효율이 훨씬 우수할 뿐만 아니라 구동방향의 예측이 가능하고 제조도 간단한 장점이 있다.
이종 접합막, 버키 페이퍼, 탄소 나노튜브, 나노와이어, 바나듐 펜톡사이드-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100843552B1
公开(公告)日：2008-07-04
申请号：KR1020070071993
申请日：2007-07-19
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: H01L21/31144 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/0331 , H01L51/0022 , Y10S977/889 , H01L21/0272
Abstract: A nano-electrode line manufacturing method using nano-imprint lithography is provided to prevent crosstalk effect by forming a metal layer of a line type independently. A nano-electrode line manufacturing method includes the steps of: forming an insulating layer(2), a first photoresist layer(3), and a second photoresist of drop type on a substrate(1); forming an imprint mold having a plurality of molding patterns on the upper surface of the second photoresist; applying the second photoresist to the mold pattern by pressing the mold; hardening the second photoresist by irradiating the UV light to the mold; removing the mold from the second photoresist; patterning the second photoresist; patterning the first photoresist layer by using the second photoresist as a mask; patterning the insulating layer; and forming a metal layer between the patterned insulating layers.
Abstract translation: 提供使用纳米压印光刻的纳米电极线制造方法，以通过独立地形成线型金属层来防止串扰效应。 纳米电极线的制造方法包括以下步骤：在基板（1）上形成绝缘层（2），第一光致抗蚀剂层（3）和第二液晶型光致抗蚀剂; 在所述第二光致抗蚀剂的上表面上形成具有多个成型图案的压印模具; 通过按压模具将第二光致抗蚀剂施加到模具图案上; 通过将UV光照射到模具来硬化第二光致抗蚀剂; 从第二光致抗蚀剂去除模具; 图案化第二光致抗蚀剂; 通过使用第二光致抗蚀剂作为掩模来图案化第一光致抗蚀剂层; 图案化绝缘层; 以及在图案化的绝缘层之间形成金属层。
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公开(公告)号：KR1020080052252A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：KR1020070061460
申请日：2007-06-22
Applicant: 한국전자통신연구원 , 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: G02B21/06 , G01N21/21 , G02B21/365 , G02B27/286 , Y10S977/881
Abstract: An optical microscope system for sensing a nano-wire by using a polarizing plate and the Fast Fourier Transform method is provided to enable alignment between a nano-wire sample and a pattern by using an optical microscope. A light source unit(10) generates light and supplies it to a sample for nano-wire element. A rotary polarizing plate(20) is formed on a path of the light provided from the light source unit in order to polarize the light. An optical microscope(30) detects a nano-wire image by using the light polarized in the rotary polarizing plate and inputted into the sample. A CCD camera(31) is formed in one region of the optical microscope in order to photograph and store the nano-wire image detected the optical microscope. A data processing unit(50) performs the Fast Fourier Transform process for the stored nano-wire image through the CCD camera.
Abstract translation: 提供了一种用于通过使用偏振片感测纳米线的光学显微镜系统和快速傅立叶变换方法，以通过使用光学显微镜来使得纳米线样品与图案之间的对准。 光源单元（10）产生光并将其提供给用于纳米线元件的样品。 在从光源单元提供的光的路径上形成旋转偏振板（20）以使光偏振。 光学显微镜（30）通过使用在旋转偏光板中偏振并输入到样品中的光来检测纳米线图像。 在光学显微镜的一个区域中形成CCD摄像机（31），以便拍摄和存储检测到的纳米线图像的光学显微镜。 数据处理单元（50）通过CCD照相机对存储的纳米线图像执行快速傅立叶变换处理。
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公开(公告)号：KR100701126B1
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：KR1020050074439
申请日：2005-08-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G11B23/00 , G11B19/20 , G11B17/022 , G11B17/02 , G11B11/105
Abstract: 본 발명의 정보저장용 초소형 광/자기 디스크는 일체형 금속 허브, 중간체 및 디스크 원판을 포함한다. 상기 일체형 금속 허브는 원판 형태의 상판 금속 허브와, 상기 상판 금속 허브의 아래에 일체형으로 결합되고 상기 상판 금속 허브보다 직경이 작은 원판 형태로 구성된 하판 금속 허브와, 상기 상판 금속 허브와 하판 금속 허브의 중앙 부분에 상기 상판 금속 허브와 하판 금속 허브를 관통하는 중심홀을 갖는다. 상기 중간체는 상기 하판 금속 허브를 둘러싸면서 상기 상판 금속 허브보다 작은 직경을 갖고 상기 하판 금속 허브와 동일한 두께를 갖는다. 상기 디스크 원판은 상기 중심홀에 대응되는 중앙 부분에, 상기 상판 금속 허브와 상기 하판 금속 허브를 둘러싸는 중간체가 직접 결합되는 관통홀과, 상기 관통홀의 주위에 상측으로 상기 상판 금속 허브가 안착하여 결합될 수 있는 리세스부를 갖는다.
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公开(公告)号：KR1020040035497A
公开(公告)日：2004-04-29
申请号：KR1020020064662
申请日：2002-10-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G11B11/26
CPC classification number: G11B7/1387 , G01Q60/22 , G01Q80/00 , G11B7/22 , H01L21/30608 , H01L21/31116
Abstract: PURPOSE: A structure for a cantilever typed near field probe applicable to a head of an optical information storing device and a manufacturing method thereof are provided to maximally shorten an optical loss region on the head of the optical information storing device and improve an optical throughput needed for recording/playing the optical information more than a few thousands times of a current optical fiber probe. CONSTITUTION: A hole(11) penetrating an upper/lower part of a body is formed on a silicon substrate(10). A dielectrics thin film(20) is formed to a bottom of the silicon substrate as a mask layer. As an oxide film(40) is deposited to the upper part of the silicon substrate as the probe of a parabolic curve, an aperture(41) leading to the penetrating hole of the silicon substrate is formed on a vertex of the oxide film. As depositing on the oxide film, a near field aperture(71) leading to the aperture of the oxide film and having a high throughout is formed on a metal thin film(70).
Abstract translation: 目的：提供适用于光信息存储装置的头部的用于悬臂式近场探头的结构及其制造方法，以最大限度地缩短光信息存储装置的头部上的光损耗区域，并提高所需光学吞吐量 用于记录/播放光学信息超过数千倍的当前光纤探针。 构成：在硅衬底（10）上形成穿透体的上/下部的孔（11）。 在硅衬底的底部形成电介质薄膜（20）作为掩模层。 由于作为抛物线曲线的探针将氧化膜（40）沉积到硅衬底的上部，所以在氧化膜的顶点上形成通向硅衬底的穿透孔的孔（41）。 当沉积在氧化物膜上时，在金属薄膜（70）上形成通向氧化膜的孔并且具有高整体的近场孔（71）。
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公开(公告)号：KR100276436B1
公开(公告)日：2001-02-01
申请号：KR1019980026446
申请日：1998-07-01
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 자기제어 성장과 전계효과를 이용하여 제작된 나노 금속점으로 이루어진 상온 단전자 소자 제작방법에 관한 것으로서, 실리콘 기판(10) 위에 산화막을 형성하고 마이크로 프로세서를 통해 제작된 소오스(41)와 드레인(43)과 게이트(44)의 세 전극을 제작한 뒤 불활성화된 실리콘 표면 위에 금속(32)을 진공증착하여 나노 클러스터(42)로 이루어진 2차원 금속 입자 구조를 제작하고, SPM을 이용하여 상기 나노 클러스터를 하나씩 제어하여 한 개나 여러 개로 이루어진 일차원 전자 관통 배열 구조를 형성함으로써, 메모리나 마이크로 프로세서에서의 최소 선폭의 한계를 훨씬 뛰어넘는 소자 구조의 제작이 가능한 효과가 있다.
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