公开(公告)号：KR100833508B1

公开(公告)日：2008-05-29

申请号：KR1020060124132

申请日：2006-12-07

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정성혜 ,  이명래 ,  황건 ,  김창규 ,  제창한 ,  최창억

IPC: H01L29/00

CPC classification number: B81C1/0023 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/096 ,  B81C2203/0118 ,  H01L2224/13

Abstract: A MEMS(Micro Electro-Mechanical System) package and a method thereof are provided to improve yield by bonding the MEMS device and a driving electronic device directly. A MEMS package comprises an MEMS device(100) and a driving electronic device(200). The MEMS device is made up of an MEMS structure(114) formed on a substrate; a first pad electrode(116) for driving the MEMS structure; a first sealing unit(118) formed at the edge portion of the substrate; and a connection unit(120) formed on the first pad electrode and the first sealing unit. The driving electronic device comprises a second pad electrode(206) and a second sealing unit(208) corresponding to the first pad electrode and the first sealing unit respectively. And the driving electronic device is bonded with the MEMS device.

Abstract translation: 提供MEMS（微机电系统）封装及其方法，以通过直接连接MEMS器件和驱动电子器件来提高产量。 MEMS封装包括MEMS器件（100）和驱动电子器件（200）。 MEMS器件由形成在衬底上的MEMS结构（114）组成; 用于驱动MEMS结构的第一焊盘电极（116）; 形成在所述基板的边缘部的第一密封单元（118） 以及形成在所述第一焊盘电极和所述第一密封单元上的连接单元（120）。 驱动电子设备包括分别对应于第一焊盘电极和第一密封单元的第二焊盘电极（206）和第二密封单元（208）。 并且驱动电子器件与MEMS器件结合。

公开(公告)号：KR1020050063355A

公开(公告)日：2005-06-28

申请号：KR1020030094749

申请日：2003-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  전치훈 ,  최창억 ,  김윤태

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B2006/12109

Abstract: 본 발명은 파브리-페로 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 하부 반사경, 하부 반사경 상부에 광축이 일치되도록 위치된 상부 반사경, 하부 반사경 상부에 위치되며 양측 종단부가 스페이서를 통해 하부 반사경에 고정된 구동체, 구동체의 양측 종단부에 각각 형성된 전극들, 구동체의 중앙부와 상부 반사경을 연결하는 막대구조체, 막대구조체 양측의 하부 반사경에 스페이서를 통해 각각 고정된 고정수단들, 막대구조체와 고정수단들을 연결하며 회전축 역할을 하는 탄성체들을 포함한다. 열팽창이나 전자기력, 혹은 외부의 힘에 의해 구동체의 휨이 발생되면, 탄성체를 회전축으로 지렛대 역할을 하는 막대구조체의 반대편에 연결된 반사경이 구동된다. 따라서 파장가변 범위가 기존보다 넓고 낮은 전력으로 구동할 수 있다. 또한, 두 반사경이 가까워지는 방향과 멀어지는 방향으로 양방향 구동이 가능하며, 구동체와 반사경이 분리되어 있어 전류에 의한 빛의 흡수 및 굴절률 변화가 최소화된다.

公开(公告)号：KR1020050046030A

公开(公告)日：2005-05-18

申请号：KR1020030079987

申请日：2003-11-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김창규 ,  이명래 ,  최창억 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B6/29358 ,  G02B6/29395

Abstract: 본 발명은 미소기전집적시스템(MEMS: Micro-Electro-Mechanical System) 형태의 파장가변 필터에 관한 것으로, 광축이 정렬된 두 개의 광섬유 혹은 광 도파로, 상기 광섬유 혹은 광 도파로 앞단에서 빛을 모아주는 두 개의 렌즈, 하나의 기판에 형성된 두 개 혹은 그 이상의 반사경, 적어도 하나의 상기 반사경을 지지하는 열구동체를 포함하며, 전류의 흐름에 따른 열구동체의 열팽창에 의해 상기 반사경이 구동된다. 반사경들이 하나의 기판에 모두 형성되므로 서로 다른 기판에 형성된 반사경을 조립하는 구조에 비하여 제작 과정이 간단하고 초기 공진 파장을 정밀하게 조절할 수 있으며, 열구동체에 직접 전류를 흘려 열팽창시키므로 적은 소모 전력으로 구동이 가능하다. 또한, 반사경을 움직이는 데 정전력을 이용하지 않으므로 반사경들 사이의 고착 현상이 일어나지 않아 정전구동에 의한 파장가변 필터에 비하여 더 넓은 범위의 파장가변이 가능하며, 평면 형태의 반사경이 서로 평행하게 배열되므로 광정렬이 쉽고 선폭이 일정하며 삽입 손실이 적다.

公开(公告)号：KR1020030077792A

公开(公告)日：2003-10-04

申请号：KR1020020016686

申请日：2002-03-27

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정문연 ,  류호준 ,  이명래 ,  전치훈 ,  김윤태

IPC: G02B26/00

Abstract: PURPOSE: An optical switching element, a fabricating method thereof, and an array structure thereof are provided to form the optical switching element by using an active matrix method and form a mirror portion by using an X-ray lithography method. CONSTITUTION: An optical switching element includes a substrate, a TFT(300), the first insulating layer, the first driving electrode(440), the second driving electrode(445a), an actuator, a support portion, and a mirror portion. The TFT(300) is formed on the substrate. The TFT(300) is coated with the first insulating layer. The first driving electrode(440) is connected to a drain of the TFT(300). The second driving electrode(445a) is formed at an upper portion of the first insulating layer. The actuator is formed with a conductive layer. The support portion is extended from the actuator. The mirror portion is formed on the support portion.

Abstract translation: 目的：提供一种光开关元件及其制造方法及其阵列结构，通过使用有源矩阵法形成光开关元件，并通过使用X射线光刻法形成镜部。 构成：光开关元件包括基板，TFT（300），第一绝缘层，第一驱动电极（440），第二驱动电极（445a），致动器，支撑部分和反射镜部分。 TFT（300）形成在基板上。 TFT（300）涂覆有第一绝缘层。 第一驱动电极（440）连接到TFT（300）的漏极。 第二驱动电极（445a）形成在第一绝缘层的上部。 致动器形成有导电层。 支撑部分从致动器延伸。 反射镜部分形成在支撑部分上。

公开(公告)号：KR100381011B1

公开(公告)日：2003-04-26

申请号：KR1020000067065

申请日：2000-11-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 장원익 ,  최창억 ,  전치훈 ,  김윤태 ,  이명래 ,  김윤태

IPC: H01L21/205

CPC classification number: B81C1/00936 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/31116

Abstract: Disclosed is a a method of fabricating a MEMS device by means of surface micromachining without leaving any stiction or residues by etching silicon oxide of a sacrificial layer, which is an intermediate layer between a substrate and a microstructure, rather than by etching silicon oxide of a semiconductor device. The method according to the invention includes the steps of supplying alcohol vapor bubbled with anhydrous HF, maintaining a temperature of the supplying device and a moving path of the anhydrous HF and the alcohol to be higher than a boiling point of the alcohol, performing a vapor etching by controlling a temperature and a pressure to be within the vapor region of a phase equilibrium diagram of water, and removing silicon oxide of a sacrificial layer on a lower portion of the microstructure.

Abstract translation: 公开了一种通过表面微机械加工制造MEMS器件的方法，其通过蚀刻作为衬底和微结构之间的中间层的牺牲层的氧化硅而不留下任何静电或残留物，而不是通过蚀刻半导体的氧化硅 设备。 根据本发明的方法包括以下步骤：供应用无水HF鼓泡的醇蒸气，保持供应装置的温度和无水HF和醇的移动路径高于醇的沸点，进行蒸气 通过将温度和压力控制在水的相平衡图的蒸气区域内并且去除微结构下部的牺牲层的氧化硅来进行蚀刻。

公开(公告)号：KR100341853B1

公开(公告)日：2002-06-26

申请号：KR1019990025141

申请日：1999-06-29

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이종현 ,  이명래 ,  장원익 ,  최창억

IPC: G02B6/00

Abstract: 본발명은대용량(테라비트급) 정보교환을위한파장분할방식의광통신시스템에있어서광신호중의하나의파장을선택하기위한패브리-페롯형의광 필터의구조에관한것이다. 본발명은서로마주보는광 입력용광섬유및 광출력용광섬유과; 상기광섬유사이에장착된입사광용마이크로볼렌즈및 출력광용마이크로볼렌즈와; 서로마주보는상태로상기각 마이크로볼렌즈사이에장착되며, 각각은한 쌍의실리콘판으로이루어진두 개의실리콘거울과; 지지체와연결되어고정전극사이에위치하며, 어느한실리콘거울과연결되는액츄에이터를포함하여이루어지며, 필터제작에있어서부가적인증착이필요없게되어공정의단순화와제작의단가를낮출수 있고, 이와더불어우수한파장선택성과넓은영역의파장가변성을가진필터를구현할수 있는광 필터를개시한다.

公开(公告)号：KR102172254B1

公开(公告)日：2020-11-02

申请号：KR1020140113198

申请日：2014-08-28

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 황치선 ,  김기현 ,  김용해 ,  변춘원 ,  오힘찬 ,  추혜용 ,  이명래 ,  피재은

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/12 ,  H01L29/786

公开(公告)号：KR101662797B1

公开(公告)日：2016-10-06

申请号：KR1020100052234

申请日：2010-06-03

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이성식 ,  이명래 ,  장문규 ,  최창억

IPC: H03K17/96 ,  H03K19/0175 ,  G06F3/044 ,  H03K17/955

Abstract: 본발명은정전용량형터치센서용인터페이스회로에관한것으로서, 터치패널의정전용량의변화에비례하는주기를갖는제1 신호를출력하는오실레이터부, 직렬로연결된 N개 (N은 1보다큰 자연수)의제1 D-플립플롭들을포함하는다운카운터부, 및상기 N개의제1 D-플립플롭들에각각대응되는 N개의제2 D-플립플롭을포함하는래치부를포함하되, 상기 N개의제1 D-플립플롭들중 최초의제1 D-플립플롭의클럭입력단에상기제1 신호가입력되고, 상기 N개의제1 D-플립플롭들중 p (p는 1보다크거나같고, N보다작은자연수) 번째위치한제1 D-플립플롭의출력은 p+1번째위치한제1 D-플립플롭의클럭입력단에입력되고, 상기 N개의제1 D-플립플롭들중 임의의 q번째위치한제1 D-플립플롭은상기제1 신호의주기의 2배(q는 1보다크거나같고, N보다작거나같은자연수)에해당하는주기를갖는제2 신호를각각출력하고, 상기 N개의제2 D-플립플롭들은각각대응되는제1 D-플립플롭으로부터출력되는상기제2 신호를입력으로하여인에이블신호와동기화된데이터값을출력한다.

公开(公告)号：KR1020150081640A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：KR1020140001325

申请日：2014-01-06

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  울산대학교 산학협력단

Inventor： 구재본 ,  최원묵 ,  허승현 ,  추혜용 ,  이명래 ,  남은수

IPC: H05K3/20 ,  H05K3/38

Abstract: 본발명은플렉서블전자소자의제조방법을제공한다. 이플렉서블전자소자의제조방법은입자를제공하는단계, 상기입자외부에탄소재료를증착하는단계, 상기탄소재료외부에전도성고분자를증착하는단계, 상기입자를제거하는단계, 및상기전도성고분자가증착된탄소재료를유연성기판상에증착하는단계를포함할수 있다.

Abstract translation: 本发明提供一种制造柔性电子元件的方法。 制造柔性电子元件的方法包括提供粒子的步骤; 将碳材料沉积在颗粒的外部的步骤; 将导电聚合物沉积在碳材料的外部的步骤; 去除颗粒的步骤; 以及将包含导电聚合物的碳材料沉积在柔性基板上的步骤。 因此，根据本发明，该方法能够制造具有3D皱纹结构并包含碳材料和导电聚合物的电极。

公开(公告)号：KR1020140082898A

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：KR1020120152399

申请日：2012-12-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이명래 ,  김용준 ,  서동우 ,  류호준

IPC: H01L31/042 ,  H02J7/35

CPC classification number: Y02E10/542 ,  H02J7/35 ,  H01L31/042

Abstract: Disclosed are a photovoltaic energy ultracapacitor and a driving apparatus having the same. The ultracapacitor includes a substrate; a lower electrode layer on the substrate; a dye-sensitized layer on the lower electrode layer; a first electrolyte layer on the dye-sensitized layer; a catalyst layer on the first electrolyte layer; a common electrode layer on the catalyst layer; a first storage layer on the common electrode; and an upper electrode layer on the first storage layer. The catalyst layer and the first storage layer include the same dielectric material.

Abstract translation: 公开了一种光伏能量超级电容器及其驱动装置。 超级电容器包括基板; 基底上的下电极层; 下电极层上的染料敏化层; 染料敏化层上的第一电解质层; 在第一电解质层上的催化剂层; 催化剂层上的公共电极层; 公共电极上的第一存储层; 和第一存储层上的上电极层。 催化剂层和第一储存层包括相同的介电材料。