전력 반도체 소자
    11.
    发明公开
    전력 반도체 소자 无效
    电力半导体器件

    公开(公告)号:KR1020120058216A

    公开(公告)日:2012-06-07

    申请号:KR1020100119897

    申请日:2010-11-29

    CPC classification number: H01L21/3148 H01L21/265 H01L29/7811

    Abstract: PURPOSE: A power semiconductor device is provided to reduce manufacturing costs by not executing an ion implantation process and a diffusion process and simplifying process. CONSTITUTION: An epitaxial layer(110) of an n-type is formed on the upper side of a semiconductor substrate(100) of the n-type. An epitaxial pattern(120) of a p-type is formed on the upper side of the epitaxial layer of the n-type. An insulating layer(130) is formed at the upper side of the exposed epitaxial pattern of the p-type and the exposed epitaxial layer of the n-type. A metal material(140) is formed at the upper side of the epitaxial layer of the n-type, the epitaxial pattern of the p-type, and the insulating layer. An ohmic contact layer(160) is formed at the lower side of the semiconductor substrate by evaporating the metal material.

    Abstract translation: 目的:提供功率半导体器件,以通过不执行离子注入工艺和扩散过程并简化工艺来降低制造成本。 构成:n型的外延层(110)形成在n型半导体衬底(100)的上侧。 在n型外延层的上侧形成p型外延图案(120)。 绝缘层(130)形成在p型暴露的外延图案的上侧和n型的暴露的外延层上。 金属材料(140)形成在n型外延层的上侧,p型外延图形和绝缘层上。 通过蒸发金属材料,在半导体衬底的下侧形成欧姆接触层(160)。

    차량 타이어용 전원발생장치
    12.
    发明公开
    차량 타이어용 전원발생장치 有权
    用于汽车轮胎的能量收集装置

    公开(公告)号:KR1020090119215A

    公开(公告)日:2009-11-19

    申请号:KR1020080045114

    申请日:2008-05-15

    Inventor: 이용성

    CPC classification number: H02N2/186

    Abstract: PURPOSE: A power generating device for a vehicle tire is provided to obtain the excellent durability by using a diaphragm including a piezoelectric. CONSTITUTION: A power generating device for a vehicle tire comprises a housing, a fixed wafer(20), and a diaphragm(30). The housing has an internal space. The fixed wafer is arranged in the housing. The diaphragm is contacted with the fixed wafer to generate electrical energy by the external vibration, pressure and sound energy. The diaphragm is arranged at an upper side of the fixed wafer at regular intervals and is formed in a square and circular shape. The diaphragm includes a silicon wafer(31). The silicon wafer is directly contacted with the fixed wafer to adjust the resonant frequency.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于车辆轮胎的发电装置,通过使用包括压电体的隔膜来获得优异的耐久性。 构成:用于车辆轮胎的发电装置包括壳体,固定晶片(20)和隔膜(30)。 外壳有内部空间。 固定的晶片布置在壳体中。 隔膜与固定的晶片接触,通过外部振动,压力和声音能量产生电能。 膜片以固定的间隔布置在固定晶片的上侧,并且形成为正方形和圆形。 隔膜包括硅晶片(31)。 硅晶片与固定晶片直接接触以调节谐振频率。

    감광성 폴리머를 이용한 빗살형 엔진오일 열화 감지 센서및 그의 제조방법
    13.
    发明公开
    감광성 폴리머를 이용한 빗살형 엔진오일 열화 감지 센서및 그의 제조방법 无效
    发动机油条件传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020090025007A

    公开(公告)日:2009-03-10

    申请号:KR1020070090027

    申请日:2007-09-05

    Inventor: 이용성 나대석

    Abstract: A comb engine oil deterioration detection sensor using a photosensitive polymer and a manufacturing method thereof are provided to improve heat resistance and chemical resistance characteristic by forming a sensor detection film with a photosensitive polymer. A manufacturing method of a comb engine oil deterioration detection sensor using a photosensitive polymer comprises: a step of coating a photoresist layer in a chrome layer on a glass substrates(11); a step of exposing the photoresist layer to an ultraviolet ray; a step of developing the photoresist layer exposed to the ultraviolet ray and forming electrodes(12) by etching the chrome layer; a step of completing the electrodes by removing the photoresist layer; a step of coating a synthesized material(13) of photosensitive polymer and carbon nanotube in the electrode; a step of exposing the synthesized material to the ultraviolet ray; and a step of developing the synthesized material of the carbon nanotube and the photosensitive polymer exposed to the ultraviolet ray and rinsing the synthesized material.

    Abstract translation: 提供使用光敏聚合物的梳齿机油劣化检测传感器及其制造方法,通过用感光性聚合物形成传感器检测膜来提高耐热性和耐化学性。 使用感光性聚合物的梳齿机油劣化检测传感器的制造方法包括:在玻璃基板(11)上的铬层中涂布光致抗蚀剂层的工序; 将光致抗蚀剂层暴露于紫外线的步骤; 显影暴露于紫外线的光致抗蚀剂层并通过蚀刻铬层形成电极(12)的步骤; 通过去除光致抗蚀剂层来完成电极的步骤; 在电极中涂布光敏聚合物和碳纳米管的合成材料(13)的步骤; 将合成材料暴露于紫外线的步骤; 以及显影碳纳米管和暴露于紫外线的感光性聚合物的合成材料并漂洗合成材料的步骤。

    자동차용 매연 감지 센서의 제조 방법
    14.
    发明公开
    자동차용 매연 감지 센서의 제조 방법 有权
    用于感应车辆排气的传感器制造方法

    公开(公告)号:KR1020080109346A

    公开(公告)日:2008-12-17

    申请号:KR1020070057547

    申请日:2007-06-13

    CPC classification number: C01G19/02 C01P2004/24 F01N11/007

    Abstract: A method for preparing a sensor sensing for the automobile exhaust gas is provided to improve the selective sensitivity of the exhaust gas of a diesel car and to enhance the reaction velocity and gas sensitivity of SnO2. A method for preparing a sensor sensing for the automobile exhaust gas comprises the steps of dissolving tin chloride hydrate (SnCl2À2H2O) in water at a room temperature and adding an amine hydrate (N2H4À2H2O) aqueous solution to it; adding 5-100 ppm of PtCl4 as a nucleating agent when the mixture solution is cooled to 20 deg.C and stirring it; adding 50% NaOH aqueous solution to it after stirring; and heat treating it at 600 deg.C for 1 hour to oxide it into SnO2.

    Abstract translation: 提供一种制备汽车尾气传感器的方法,以提高柴油车废气的选择灵敏度,提高SnO2的反应速度和气体敏感性。 制备汽车废气传感器的方法包括以下步骤:在室温下将氯化锡水合物(SnCl 2·2H 2 O)溶解在水中,向其中加入胺水合物(N 2 H 4·2H 2 O)水溶液; 当混合溶液冷却至20℃并搅拌时,加入5-100ppm的PtCl 4作为成核剂; 搅拌后加入50%NaOH水溶液; 并在600℃下热处理1小时,将其氧化成SnO2。

    교차 접합된 SOI 웨이퍼를 이용한 실리콘 부양구조물의제조방법
    15.
    发明授权
    교차 접합된 SOI 웨이퍼를 이용한 실리콘 부양구조물의제조방법 有权
    使用硅绝缘体制造硅释放结构的方法

    公开(公告)号:KR100748741B1

    公开(公告)日:2007-08-13

    申请号:KR1020050068786

    申请日:2005-07-28

    Inventor: 이용성

    Abstract: 본 발명은 교차 접합된 SOI 웨이퍼를 이용한 실리콘 부양구조물의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 통상적인 SOI 웨이퍼가 가지는 실리콘 산화물의 두께를 사용하면서도 상부 진동구조물의 식각을 회피하고 하부 핸들링 웨이퍼만을 식각하여, 실리콘 구조물과 하부 핸들링 웨이퍼 간의 갭을 50 미크론 이상 확보할 수 있도록 한 교차 접합된 SOI 웨이퍼를 이용한 실리콘 부양구조물의 제조방법에 관한 것이다.
    이를 위해, 본 발명은 상기 프로세스 웨이퍼 및 핸들링 웨이퍼에 각각 산화막을 성장시키는 1단계; 상기 프로세스 웨이퍼 및 핸들링 웨이퍼를 접합하는 2단계; 상기 프로세스 웨이퍼를 제작하고자 하는 실리콘 구조물의 두께에 맞도록 조절하는 3단계; 상기 프로세스 웨이퍼의 상면에 마스크를 증착하는 4단계; 포토리소그래피 공정을 수행하여 패턴을 일반화하는 5단계; PR 패턴을 이용하여 마스크를 패터닝하는 6단계; 상기 패터닝된 마스크에 의해 프로세스 웨이퍼를 식각하여 실리콘 구조물을 한정하는 7단계; 상기 실리콘 구조물의 측벽면을 보호하기 위해 산화막을 성장시키는 8단계; 상기 실리콘 구조물의 식각으로 드러난 실리콘 산화막을 식각하여 제거하는 9단계; 상기 핸들링 웨이퍼을 식각하여 실리콘 구조물을 부양하는 10단계; 및 상기 실리콘 구조물을 둘러싸고 있는 산화막을 제거하는 11단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 교차 접합된 SOI 웨이퍼를 이용한 실리콘 부양구조물의 제조방법을 제공한다.
    SOI 웨이퍼, 실리콘 산화물, 포토리소그래피, 마스크, 프로세스 웨이퍼, 실리콘 구조물

    SOI 기판상에서 실리콘 부양구조물의 제조방법
    16.
    发明授权
    SOI 기판상에서 실리콘 부양구조물의 제조방법 有权
    SOI衬底上硅浮动结构的制造方法

    公开(公告)号:KR100727185B1

    公开(公告)日:2007-06-13

    申请号:KR1020050068782

    申请日:2005-07-28

    Inventor: 이용성

    Abstract: 본 발명은 SOI 기판에서 실리콘 부양구조물의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 통상적인 SOI 웨이퍼가 가지는 실리콘 산화물의 두께를 사용하면서도 상부 진동구조물의 식각을 회피하고 하부 핸들링 웨이퍼만을 식각하여, 실리콘 구조물과 하부 핸들링 웨이퍼 간의 갭을 50 미크론 이상 확보할 수 있도록 한 SOI 기판에서 실리콘 부양구조물의 제조방법에 관한 것이다.
    이를 위해, 본 발명은 공정에 사용될 SOI 웨이퍼를 준비하는 1단계; 포토리소그래피 공정을 수행하여 패턴을 일반화하는 2단계; PR 패턴을 이용하여 마스크를 패터닝하는 3단계; 상기 패터닝된 마스크에 의해 프로세스 웨이퍼를 식각하여 실리콘 구조물을 한정하는 4단계; 상기 실리콘 구조물의 측벽면을 보호하기 위해 산화막을 형성하는 5단계; 상기 실리콘 구조물의 식각으로 드러난 실리콘 산화막을 식각하여 제거하는 6단계; 상기 실리콘 구조물의 형상과 동일하게 핸들링 웨이퍼에 투영된 부분을 제거하는 7단계; 및 상기 실리콘 구조물을 둘러싸고 있는 산화막을 제거하는 8단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 SOI 기판에서 실리콘 부양구조물의 제조방법을 제공한다.
    SOI 웨이퍼, 실리콘 산화물, 포토리소그래피, 마스크, 프로세스 웨이퍼, 실리콘 구조물

    Abstract translation: 本发明,并且还涉及一种在SOI衬底制造硅支撑结构,更具体地,使用氧化硅的厚度具有避免在上回转结构的蚀刻,并且蚀刻只有较低的处理晶片,硅结构的常规SOI晶片的方法 并且可以在SOI衬底中固定具有50微米或更大的间隙的下部处理晶片。

    분할파단이 용이한 커넥팅 로드의 제조방법
    17.
    发明公开
    분할파단이 용이한 커넥팅 로드의 제조방법 失效
    连续生产连杆的方法可部分切割

    公开(公告)号:KR1020010011779A

    公开(公告)日:2001-02-15

    申请号:KR1019990031310

    申请日:1999-07-30

    Inventor: 이용성

    Abstract: PURPOSE: A production method of connecting rod is provided to occur a sharp crack in a desired portion during biaxial molding by fracture partially without hot forging. CONSTITUTION: Resin is coated on a subsidiary metal mold exposed from a closed metal mold when casting in the closed metal mold by compression. Compression is performed with input of powder into the metal mold after the subsidiary metal mold descends into the metal mold. The subsidiary mold is hidden into a lower metal mold faster than the compressing speed of an upper mold. After continuous compression, a product is separated from the mold. The procedure is repeated to easily form partial fraction.

    Abstract translation: 目的:提供连杆的制造方法,在双轴成型期间,通过部分不进行热锻造的断裂,在期望的部分发生尖锐的裂纹。 构成:当通过压缩在封闭的金属模具中铸造时,将树脂涂覆在从闭合的金属模具露出的辅助金属模具上。 在辅助金属模具下降到金属模具中之后,将粉末输入金属模具中进行压缩。 辅助模具比上模具的压缩速度更快地隐藏在下金属模具中。 连续压缩后,将产品与模具分离。 重复该过程以容易地形成部分级分。

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