公开(公告)号：WO2014128148A2

公开(公告)日：2014-08-28

申请号：PCT/EP2014/053199

申请日：2014-02-19

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.

Inventor： KUEHN, Bodo

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B32/00 ,  C03B32/02 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/24 ,  C03C4/04 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2203/54 ,  C03C2204/00 ,  G02B1/00 ,  G02B1/02 ,  Y02P40/57

Abstract: Die Erfindung geht von einem optischen Bauteil aus synthetischem Quarzglas zur Verwendung in der ArF-Excimerlaser-Lithographie mit einer Einsatzwellenlänge von 193 nm aus, mit einer Glasstruktur im Wesentlichen ohne Sauerstoffdefektstellen, einem Wasserstoffgehalt im Bereich von 0,1 x 10 16 Molekülen/cm 3 bis 1,0 x 10 18 Molekülen/cm 3 und einem Gehalt an SiH-Gruppen von weniger als 2 x 10 17 Molekülen/cm 3 und mit einem Gehalt an Hydroxylgruppen im Bereich zwischen 0,1 und 100 Gew.-ppm, wobei die Glasstruktur eine fiktive Temperatur von weniger 1070 °C aufweist. Um ausgehend von einer Messung des Kompaktierungsverhaltens bei einer Messwellenlänge von 633 nm eine verlässliche Prädiktion zum Kompaktierungsverhalten beim Einsatz mit UV-Laserstrahlung der Einsatzwellenlänge ermöglicht, wird eine Ausgestaltung des optischen Bauteil vorgeschlagen, bei der es auf Bestrahlung mit Strahlung einer Wellenlänge von 193 nm mit 5x10 9 Pulsen mit einer Pulsbreite von 125 ns und einer Energiedichte von jeweils 500µJ/cm 2 sowie einer Pulswiederholfrequenz von 2000 Hz mit einer laserinduzierten Brechzahländerung reagiert, deren Betrag bei Vermessung mit der Einsatzwellenlänge von 193 nm einen ersten Messwert M 193nm und bei Vermessung mit einer Messwellenlänge von 633 nm einen zweiten Messwert M 633nm ergibt, wobei gilt: M 193nm /M 633nm

Abstract translation:

本发明涉及一种用于在ArF准分子激光光刻法使用与Einsatzwellenl＆AUML光学合成石英玻璃构件; 193纳米的长度，具有玻璃结构基本没有氧缺陷，在的范围内的氢含量 0.1×10 ^{16 分子导航用途LEN /厘米 3 至1.0×10 18 分子导航用途LEN /厘米 3 < / SUP>和小于2×10 17 分子导航用途的SiH基团的含量LEN /厘米 3 和与羟基基团的0.1°范围内的内容和 100重量ppm，玻璃结构的概念温度低于1070℃ 为了从Kompaktierungsverhaltens的测量在一个Messwellenl＆AUML开始; 633nm的长度的VERL＆AUML; ssliche镨＆AUML;用语与Einsatzwellenl BEAR长度ERM＆ouml的紫外激光辐射使用时压实行为; glicht，该光学装置的结构，提出了，这是对 照射具有波长＆AUML辐射;焦耳/厘米 2 ，和脉冲重复的2000频率; 193nm下用5×10 9 脉冲与125毫微秒的脉冲宽度和500微的能量密度的长度 用激光诱导的折射率＆AUML赫兹反应的变化，与所述Einsatzwellenl＆AUML测量时的量; 193nm的第一测量值M长度<子> 193nm的和测量与Messwellenl＆AUML; 633nm的第二测量值M长度<子 > 633nm，其中：M193nm / M633nm}

公开(公告)号：WO2014119559A1

公开(公告)日：2014-08-07

申请号：PCT/JP2014/051814

申请日：2014-01-28

Applicant: 住友電気工業株式会社

Inventor： 田村　欣章 ,  春名　徹也 ,  平野　正晃

IPC: C03C13/04 ,  C03B37/012

CPC classification number: G02B6/0229 ,  C03B37/01248 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01869 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/23 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/50 ,  G02B6/02395

Abstract: 　線引きされることで低損失の光ファイバとなることができる光ファイバ母材を提供する。　光ファイバ母材１は、コア部１０と、コア部１０を取り囲むクラッド部２０とを備える。コア部１０は、第１コア部１１と、第１コア部１１を取り囲む第２コア部１２とを含む。クラッド部２０は、第２コア部１２を取り囲む第１クラッド部２１と、第１クラッド部２１を取り囲む第２クラッド部２２とを含む。第１コア部１１は、アルカリ金属元素を含み、アルカリ金属原子濃度が１００atomic ppm以上である領域の一部または全部でガラス中に含まれる酸素分子の濃度が３０mol ppb以上２００mol ppb以下であり、アルカリ金属原子濃度が５０atomic ppm以下である領域でガラス中に含まれる酸素分子の濃度が１０mol ppb以下である。

Abstract translation: 提供了可以被拉入低损耗光纤的光纤预制件。 该光纤预制件（1）包括芯部（10）和包围芯部（10）的包层部（20）。 芯部（10）包含围绕第一芯部（11）的第一芯部（11）和第二芯部（12）。 包层部（20）包含围绕第二芯部（12）的第一包层部（21）和包围第一包层部（21）的第二包层部（22）。 第一芯部（11）含有碱金属。 在碱金属原子浓度大于或等于100原子ppm的部分或全部区域中，玻璃中氧分子的浓度为30〜200mol ppb，其浓度为 碱金属原子小于或等于50原子ppm，玻璃中氧分子的浓度小于或等于10mol ppb。

公开(公告)号：WO2012004398A1

公开(公告)日：2012-01-12

申请号：PCT/EP2011/061683

申请日：2011-07-08

Applicant: HERAEUS QUARTZ UK LIMITED ,  COAPES, Richard Benjamin ,  MUNDY, Alan ,  SAYCE, Ian George

Inventor： COAPES, Richard Benjamin ,  MUNDY, Alan ,  SAYCE, Ian George

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2207/34 ,  C03B2207/52 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/131

Abstract: Hollow ingots of transparent synthetic vitreous silica glass of external diameter greater than 400 mm and internal diameter greater than 300 mm are disclosed. The ingots are substantially free from bubbles or inclusions greater than 100 μιη in diameter, have no more than 100 ppB of any individual metallic impurity, and have chlorine concentration less than 5 ppM. Also disclosed are methods for producing such ingots, in which a porous soot body of density greater than 0.4 g/ cm 3 is deposited on an oxidation resistant mandrel. The soot body is dehydrated on a mandrel comprising graphite, carbon fibre reinforced carbon, silicon carbide, silicon impregnated silicon carbide, silicon carbide-coated graphite or vitreous silica, either under vacuum or in the presence of a reducing gas, and then sintered to transparent pore-free glass under vacuum or in an atmosphere of helium.

Abstract translation: 公开了外径大于400mm，内径大于300mm的透明合成玻璃石英玻璃的中空铸锭。 锭基本上没有大于100μ？的气泡或夹杂物 直径不超过100 ppB的任何单独的金属杂质，氯浓度小于5ppM。 还公开了生产这种锭的方法，其中密度大于0.4g / cm 3的多孔烟灰体沉积在抗氧化心轴上。 在真空下或在还原气体存在下，烟灰体在包括石墨，碳纤维增强碳，碳化硅，硅浸渍的碳化硅，碳化硅涂覆的石墨或玻璃状二氧化硅的心轴上脱水，然后烧结成透明 无孔玻璃在真空或氦气氛中。

公开(公告)号：WO2007149344A1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：PCT/US2007/014114

申请日：2007-06-15

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  KHRAPKO, Rostislav R ,  MATTHEWS, Hazel B, III

Inventor： KHRAPKO, Rostislav R ,  MATTHEWS, Hazel B, III

IPC: G02B6/00

CPC classification number: G02B6/02 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01453 ,  C03B37/01807 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/26 ,  C03B2203/29 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/50 ,  G02B6/02014 ,  G02B6/02266

Abstract: Disclosed is an optical fiber having a silica-based core comprising an alkali metal oxide selected from the group consisting of K2O, Na2O, LiO2, Rb2O, Cs2O and mixtures thereof in an average concentration in said core between about 50 and 500 ppm by weight, said core further comprising chlorine and fluorine, wherein the average concentration of fluorine in said core is greater than the average concentration of alkali metal oxide in said core and the average concentration of chlorine in said core is greater than the average concentration of alkali metal oxide in said core; and a silica-based cladding surrounding and directly adjacent the core. By appropriately selecting the concentration of alkali metal oxide dopant in the core and the cladding, a low loss optical fiber may be obtained.

Abstract translation: 公开了一种光纤，其具有二氧化硅基核，其包含选自K2O，Na2O，LiO2，Rb2O，Cs2O及其混合物的碱金属氧化物，其中所述芯中的平均浓度为约50至500重量ppm， 所述芯还包含氯和氟，其中所述芯中的氟的平均浓度大于所述芯中的碱金属氧化物的平均浓度，并且所述芯中的平均氯浓度大于碱金属氧化物的平均浓度 说核心; 以及围绕并直接邻近芯的二氧化硅基包层。 通过适当地选择芯和包层中的碱金属氧化物掺杂剂的浓度，可以获得低损耗光纤。

公开(公告)号：WO2007053733A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：PCT/US2006/042768

申请日：2006-11-01

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  BOOKBINDER, Dana, C. ,  FIACCO, Richard, M. ,  NEUKIRCH, Ulrich

Inventor： BOOKBINDER, Dana, C. ,  FIACCO, Richard, M. ,  NEUKIRCH, Ulrich

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/06 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/12 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23

Abstract: What is disclosed includes OD-doped synthetic silica glass capable of being used in optical elements for use in lithography below about 300 nm. OD-doped synthetic silica glass was found to have significantly lower polarization-induced birefringence value than non-OD-doped silica glass with comparable concentration of OH. Also disclosed are processes for making OD-dopes synthetic silica glasses, optical member comprising such glasses, and lithographic systems comprising such optical member. The glass is particularly suitable for immersion lithographic systems due to the exceptionally low polarization-induced birefringence values at about 193 nm.

Abstract translation: 公开的内容包括能够用于低于约300nm的光刻中的光学元件的OD掺杂合成石英玻璃。 发现OD掺杂的合成二氧化硅玻璃具有比具有相当浓度的OH的非OD掺杂的石英玻璃具有显着更低的偏振诱导双折射值。 还公开了制备OD-掺杂合成二氧化硅玻璃，包括这种玻璃的光学部件以及包括这种光学部件的光刻系统的方法。 由于在约193nm处极度低的偏振诱发双折射值，该玻璃特别适用于浸没式光刻系统。

公开(公告)号：WO2006031650A2

公开(公告)日：2006-03-23

申请号：PCT/US2005032179

申请日：2005-09-08

Applicant: AXCELIS TECH INC ,  JANOS ALAN ,  PACK MALCOLM ,  KAMAREHI MOHAMMAD ,  COLSON MICHAEL

Inventor： JANOS ALAN ,  PACK MALCOLM ,  KAMAREHI MOHAMMAD ,  COLSON MICHAEL

IPC: H01J61/30 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  H01J65/04

CPC classification number: H01J65/044 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  H01J61/302

Abstract: An electrodeless lamp and process for emitting ultraviolet and/or vacuum ultraviolet radiation comprises an envelope formed of an ultra-pure and/or low-defect quartz material and an ultraviolet and/or vacuum ultraviolet emissive material disposed in the interior region of the envelope. The electrodeless lamp formed of the ultra-pure and/or low-defect quartz material minimizes degradation during use.

Abstract translation: 用于发射紫外线和/或真空紫外线辐射的无电极灯和方法包括由超纯和/或低缺陷石英材料形成的外壳和设置在外壳的内部区域中的紫外线和/或真空紫外线发射材料。 由超纯和/或低缺陷石英材料形成的无电极灯在使用过程中使降解最小化。

公开(公告)号：WO2004020357A3

公开(公告)日：2004-06-10

申请号：PCT/US0324477

申请日：2003-08-05

Applicant: CORNING INC

Inventor： MOORE LISA A ,  BOOKBINDER DANA C ,  HOUSE KEITH L ,  SCHIEFELBEIN SUSAN L ,  BALL LAURA J ,  BANEY BRUNO PAUL MARC ,  KHRAPKO ROSTISLAV R

IPC: C03B37/00 ,  C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  C03C15/00 ,  C03C21/00 ,  C03C25/60 ,  C03C25/68 ,  C03C17/245 ,  C03C17/28 ,  C03C17/30 ,  G02B6/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

Abstract: A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

Abstract translation: 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。

公开(公告)号：WO2017103123A3

公开(公告)日：2017-08-24

申请号：PCT/EP2016081448

申请日：2016-12-16

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS

Inventor： WHIPPEY NIGEL ROBERT ,  GROMANN BORIS ,  SÖHN MATTHIAS

IPC: C03B20/00 ,  C03B5/06 ,  C03B17/04 ,  C03B19/10 ,  C03B37/012 ,  C03C3/06 ,  F27D7/02

CPC classification number: C03B20/00 ,  C03B5/06 ,  C03B17/04 ,  C03B19/108 ,  C03B37/01211 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/40

Abstract: The invention relates to a method for producing a silica glass body, comprising the method steps: i.) providing silicon dioxide particles ii.) forming a glass melt from the silicon dioxide particles in a furnace and iii.) forming a silica glass body from at least one portion of the glass melt, wherein the furnace has a gas outlet, through which gas can be removed from the furnace and the dew point of the gas exiting the furnace through the gas outlet is less than 0°C. The invention also relates to a silica glass body that can be obtained by said method. In addition, the invention relates to a light guide, a lighting means and a shaped article, each of which can be obtained by further processing the silica glass body. The invention further relates to the adjustment of the dew point at the outlet of a furnace, comprising: providing a starting material in the furnace; operating said furnace, a gas flow being conducted through the furnace; and varying the residual moisture of the starting material or the gas exchange rate of the gas flow.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法，用于制造石英玻璃体包括如下工艺步骤i。）提供的二氧化硅颗粒，二。）形成由二氧化硅粒子的熔融玻璃在烘箱中和iii）从所述熔融玻璃的至少一部分上形成石英玻璃体，炉内的气体出口 通过它从炉中取出气体，当气体通过气体出口离开炉的露点低于0℃时 本发明还涉及通过该方法可获得的石英玻璃体。 此外，本发明涉及一种光导，一种照明装置和一种成型体，每种光导体都可以通过对石英玻璃体进一步加工而获得。 本发明还涉及到露点在包括提供在所述炉中的输入材料，炉的操作中，其中，气体流通过烘箱，并改变起始材料的残留水分或气体流的气体交换率的炉子的出口处的调整。

公开(公告)号：WO2017103171A1

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/EP2016/081525

申请日：2016-12-16

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG

Inventor： OTTER, Matthias ,  LEHMANN, Walter ,  HÜNERMANN, Michael ,  NIELSEN, Nils Christian ,  WHIPPEY, Nigel Robert ,  GROMANN, Boris ,  KPEBANE, Abdoul-Gafar ,  KAYSER, Thomas

IPC: C03B20/00 ,  C03C12/00 ,  C03B19/10 ,  C03B37/012 ,  C03C3/06 ,  C03B19/06

CPC classification number: C03B19/106 ,  C03B17/04 ,  C03B19/066 ,  C03B19/108 ,  C03B19/1095 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers beinhaltend die Verfahrensschritte i.) Bereitstellen eines Siliziumdioxidgranulats, ii.) Bilden einer Glasschmelze aus dem Siliziumdioxidgranulat und iii.) Bilden eines Quarzglaskörpers aus zumindest einem Teil der Glasschmelze, wobei das Bereitstellen die Schritte I. Erzeugen eines Siliziumdioxidpulvers mit mindestens zwei Teilchen hergestellt aus einer Silizium-Chlor-Verbindung, II. Kontaktieren des Siliziumdioxidpulvers mit Ammoniak unter Erhalt eines behandelten Siliziumdioxidpulvers und III. Granulieren des behandelten Siliziumdioxidpulvers zu einem Siliziumdioxidgranulat beinhaltet, und wobei der Chlorgehalt des Siliziumdioxidpulvers höher ist als der Chlorgehalt des Siliziumdioxidgranulats. Die Erfindung betrifft weiterhin einen Quarzglaskörper, der durch dieses Verfahren erhältlich ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Herstellen eines Siliziumdioxidgranulats. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Lichtleiter, ein Leuchtmittel und einen Formkörper, die jeweils durch Weiterverarbeiten des Quarzglaskörpers erhältlich sind.

公开(公告)号：WO2017103168A1

公开(公告)日：2017-06-22

申请号：PCT/EP2016/081521

申请日：2016-12-16

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG

Inventor： GROMANN, Boris ,  WHIPPEY, Nigel Robert

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03B37/012 ,  C03B5/06 ,  C03B5/033 ,  C03B5/167 ,  C03B17/04

CPC classification number: C03B20/00 ,  C03B5/06 ,  C03B5/167 ,  C03B17/04 ,  C03B37/01211 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/32 ,  C03C2203/10

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Ofen beinhaltend einen Schmelztiegel mit einer Tiegelwand, eine Feststoffzuführung mit einem Auslass, einen Gaseinlass und einen Gasauslass, wobei im Schmelztiegel der Gaseinlass unterhalb des Auslasses der Feststoffzuführung angeordnet ist und der Gasauslass auf gleicher Höhe wie oder oberhalb des Auslasses der Feststoffzuführung angeordnet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Herstellen eines Quarzglaskörpers beinhaltend die Verfahrensschritte i.) Bereitstellen und Einführen eines Schüttguts ausgewählt aus Siliziumdioxidgranulat und Quarzglaskörnung in den Ofen und Bereitstellen eines Gases, ii.) Bilden einer Glasschmelze aus dem Schüttgut und iii.) Bilden eines Quarzglaskörpers aus zumindest einem Teil der Glasschmelze. Die Erfindung betrifft weiterhin einen Quarzglaskörper, der durch dieses Verfahren erhältlich ist, sowie einen Lichtleiter, ein Leuchtmittel und einen Formkörper, die jeweils durch Weiterverarbeiten des Quarzglaskörpers erhältlich sind.

Abstract translation:

本发明涉及包含与坩埚壁的坩埚炉中，布置具有出口，气体入口和气体出口，其中，在Feststoffzuf导航用途出口下方的气体入口的坩埚Feststoffzuf导航用途导向货币和 气体出口位于与固体供应出口相同的高度或上方。 本发明还涉及一种方法，用于制造石英玻璃＆OUML; rpers包括如下工艺步骤：i）提供和插入导航用途听到SCH导航用途ttguts选定＆AUML;从Siliziumdioxidgranulat HLT和在烘箱中的石英玻璃与OUML ;. Rning和提供气体，ii）形成玻璃熔体 从散装材料和iii）由至少部分玻璃熔体形成石英玻璃体。 本发明还涉及一种可通过该方法获得的石英玻璃体，以及可通过进一步处理石英玻璃体而获得的光导，发光装置和成型体