公开(公告)号：KR1019990051290A

公开(公告)日：1999-07-05

申请号：KR1019970070578

申请日：1997-12-19

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이각현 ,  김종수 ,  김도훈 ,  최상수 ,  정해빈 ,  김보우

IPC: G02B1/00

Abstract: 본 발명은 광 투과율이 적고 광 반사율이 커서, 193nm 파장의 ArF 엑시머 레이저를 조명 광원으로 사용한 광학계에 적용 가능한 만진 미러를 제공하고자 하는 것으로, 이를 위한 본 발명의 만진 미러는 투명기판; 상기 투명기판 상에 형성되고, 고굴절률 박막 및 저굴절율 박막이 교대로 반복 적층되며 최하부 및 최상부 층에 고굴절률 박막을 갖는 적층 박막; 및 상기 적층 박막상에 형성되어, 상기 적층 박막을 통과한 광을 흡수하는 박막을 포함하여 이루어진다.

公开(公告)号：KR100204578B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019960038191

申请日：1996-09-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이각현 ,  김도훈 ,  정해빈 ,  유형준

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 굴절능을 반사경에 집중시켜 넓은 대역폭의 광원을 사용할 수 있도록 구성한 광학계(optical system)에 관한 것이다.
광학계를 구성하는 렌즈의 수와 전체 렌즈들의 두께를 줄일 수 있는 본 발명은 광원후단에 위치하며, 4장의 렌즈로 이루어진 제1렌즈군과, 제1렌즈군의 후단에 위치하며 4장의 렌즈로 이루어진 제2렌즈군과, 제2란제군 후단에 위치하며, 2개의 프리즘으로 이루어진 편광선속분할기와, 편광선속분할기 후단에위치하는 파장평판 및 주 반사경과, 파장평판 하단에 위치되어 광이 조사되는 물체면과 대응하는 5장의 렌즈로 이루어진 제3렌즈군으로 구성된다.

公开(公告)号：KR100174868B1

公开(公告)日：1999-04-01

申请号：KR1019940033475

申请日：1994-12-09

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김도훈 ,  이각현 ,  정해빈 ,  유형준

IPC: H01L21/027

Abstract: 반도체 노광장비인 웨이퍼 스테퍼의 웨이퍼 정렬방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 레이저 광원으로는 He-Ne 레이저 대신에 자기장에 의한 에너지 띄의 미세분리 효과를 이용한 제만(Zeeman) 레이저로서 두 광파가 수 MHz의 상이한 주파수 차를 가지며 두 광파의 편광이 항상 수직을 유지하는 제만 주파수 안정화 레이저를 사용하여 정렬광의 위상과 레이저 기준신호의 위상을 비교함으로써 수십 KHz의 상이한 주파수 차를 가지는 두 광파로 분리하기 위해서 광-음향 변조기(acousto-optic modulator)를 사용해야 하는 종래의 He-Ne 레이저에 비해 비교적 간단한 광학계로 빠른 정렬과 높은 정렬 정밀도를 달성할 수 있다.

公开(公告)号：KR100129841B1

公开(公告)日：1998-04-03

申请号：KR1019940034388

申请日：1994-12-15

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이각현 ,  정해빈 ,  유형준

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/30

Abstract: An optical system of an exposure unit which is used at a line width control process of a semiconductor element manufacturing is disclosed. The optical system comprises a first lens group(30) arranged around a beam axis; a reflection mirror(40) for reflecting the beam passed from the first lens group(30); a total reflection mirror(50) for reflecting the beam from the mirror(40) so as to enable the reflected beam to proceed the outer line of the mirror(40); and a second lens group(60) enabling the beam passed from the total reflection mirror(50) to proceed a recording medium.

Abstract translation: 公开了一种在半导体元件制造的线宽控制处理中使用的曝光单元的光学系统。 光学系统包括围绕光束轴布置的第一透镜组（30）; 用于反射从第一透镜组（30）通过的光束的反射镜（40）; 用于反射来自反射镜（40）的光束以使反射光束能够进入反射镜（40）的外线的全反射镜（50）; 以及第二透镜组（60），其使得能够从全反射镜（50）通过的光束进行记录介质。

公开(公告)号：KR1019970030324A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950042065

申请日：1995-11-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김도훈 ,  이각현 ,  정해빈 ,  유형준

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 프로브 빔 주사방식에 의한 웨이퍼 자동촛점장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 프로브 빔 주사방식을 사용하여 촛점신호의 측정오차를 최소화함으로써 자동촛점장치의 정밀도와 분해능을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 자동촛점장치에 관한 것이다. 본 발명의 웨이퍼 자동촛점장치는 반도체 노광장치의 웨이퍼 자동촛점장치에 있어서, 반도체 레이저(101); 전기한 반도체 레이저(101)로 부터 발생된 빛의 편광방향을 TE 편광으로 바꾸기 위한 선 편광자(103) 및 슬릿(104)의 광학계; 전기한 슬릿(104)으로 부터 투사된 빛을 사용하여 웨이퍼 스테이지(90)상의 웨이퍼(80)에 프로브 빔을 주사하기 위한 갈바노미터(106)로 이루어진 주사거울(106); 웨이퍼(80)상에서 반사된 반사광을 실린더상 렌즈(111)에 집속하기 위한 광학계 및 포로브 빔의 길이 방향을 압축하여 PSD(112)상에 전달하기 위한 실린더상 렌즈(112); 및, 발광 및 수광회로부(140)와 신호처리 및 제어부(150)로 구성되어 전기한 광학계에 의한 광학신호를 전기신호로 변환하기 위한 자동촛점 신호처리계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100392252B1

公开(公告)日：2003-07-22

申请号：KR1020000057826

申请日：2000-10-02

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정해빈 ,  김도훈 ,  이각현 ,  정의민 ,  조성배

IPC: G03B35/00

Abstract: PURPOSE: A multiple lens type stereo camera is provided to compensate change of an optical axis and to control a main optic angle according to rotary and linear movements of half mirrors. CONSTITUTION: A camera comprises image buffers(215,216); image processors(217,218); an image comparison part(219); an image converter(220); a focusing control(221); a zoom seesaw switch(222); a zoom controller(223); and a half mirror controller(224). The image buffers temporarily store image data from CCDs(211,212) of cameras(207,208). The image processors process intensity and phase of the images appropriately for broadcasting or recording. The image comparison part compares images to determine whether centers of the images are identical and the images are in complete focus. The image converter generates data needed to adjust focus of the cameras and angles of half mirrors(203,204,205,206). The focusing control generates data to control focusing controls(209,210) of the cameras. The zoom seesaw switch generates analog electric signals to change relative distances between lenses for zoom lenses of the cameras to have focal distances a user wants. The zoom controller generates data to control zoom drivers(213,214) of the cameras. The half mirror controller receives data from the zoom controller and the focusing control to generate data controlling rotary and linear movements of the half mirrors.

Abstract translation: 用途：提供多透镜式立体相机，用于补偿光轴的变化，并根据半反射镜的旋转和线性移动来控制主光学角度。 构成：相机包括图像缓冲器（215,216）; 图像处理器（217,218）; 图像比较部（219）; 图像转换器（220）; 一个聚焦控制（221）; 一个变焦杠杆开关（222）; 一个变焦控制器（223）; 和半反射镜控制器（224）。 图像缓冲器临时存储来自照相机（207,208）的CCD（211,212）的图像数据。 图像处理器适当地处理图像的强度和相位以用于广播或记录。 图像比较部分比较图像以确定图像的中心是否相同并且图像完全对焦。 图像转换器生成调整摄像机焦点和半反射镜角度所需的数据（203,204,205,206）。 聚焦控制产生数据以控制相机的聚焦控制（209,210）。 变焦杠杆开关产生模拟电信号，以改变相机的变焦镜头的镜头之间的相对距离，以具有用户想要的焦距。 变焦控制器生成数据以控制相机的变焦驱动器（213,214）。 半反射镜控制器接收来自变焦控制器和聚焦控制的数据，以生成控制半反射镜的旋转和线性移动的数据。

公开(公告)号：KR100348902B1

公开(公告)日：2002-08-14

申请号：KR1019990053887

申请日：1999-11-30

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최상수 ,  이진희 ,  김도훈 ,  이각현 ,  정해빈 ,  김대용

IPC: H01L29/778

CPC classification number: H01L29/66462 ,  H01L21/28593 ,  H01L29/42316

Abstract: 본발명은저잡음고속정보통신용 GaAs 소자인 HEMTs(high electron mobility transistors) 의감마게이트용레지스트패턴의제조방법을개시한다. 본발명에따른감마게이트제조방법은, GaAs 기판상에제 1 레지스트를도포하고, 노광및 현상한후, 경화시켜서제 1 레지스트패턴을형성하는단계, 및상기 GaAs 기판및 제 1 레지스트패턴상에제 2 레지스트를도포하고, 노광및 현상한후, 경화시켜서제 2 레지스트패턴을형성하는단계를구비하며, 상기제 1 및제 2 레지스트패턴으로덮이지않은상기 GaAs 기판의부분을상기감마게이트의발이형성되는영역으로정의하고, 상기제 1 레지스트패턴으로덮여있지만상기제 2 레지스트패턴으로는덮이지않은상기 GaAs 기판의부분을상기감마게이트의머리가형성되는영역으로정의한다.

公开(公告)号：KR1020020026625A

公开(公告)日：2002-04-12

申请号：KR1020000057826

申请日：2000-10-02

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정해빈 ,  김도훈 ,  이각현 ,  정의민 ,  조성배

IPC: G03B35/00

CPC classification number: G03B35/08 ,  G02B27/2235 ,  H04N13/246

Abstract: PURPOSE: A multiple lens type stereo camera is provided to compensate change of an optical axis and to control a main optic angle according to rotary and linear movements of half mirrors. CONSTITUTION: A camera comprises image buffers(215,216); image processors(217,218); an image comparison part(219); an image converter(220); a focusing control(221); a zoom seesaw switch(222); a zoom controller(223); and a half mirror controller(224). The image buffers temporarily store image data from CCDs(211,212) of cameras(207,208). The image processors process intensity and phase of the images appropriately for broadcasting or recording. The image comparison part compares images to determine whether centers of the images are identical and the images are in complete focus. The image converter generates data needed to adjust focus of the cameras and angles of half mirrors(203,204,205,206). The focusing control generates data to control focusing controls(209,210) of the cameras. The zoom seesaw switch generates analog electric signals to change relative distances between lenses for zoom lenses of the cameras to have focal distances a user wants. The zoom controller generates data to control zoom drivers(213,214) of the cameras. The half mirror controller receives data from the zoom controller and the focusing control to generate data controlling rotary and linear movements of the half mirrors.

Abstract translation: 目的：提供多透镜型立体相机，以补偿光轴的变化，并根据半反射镜的旋转和线性运动来控制主光学角度。 构成：相机包括图像缓冲器（215,216）; 图像处理器（217,218）; 图像比较部分（219）; 图像转换器（220）; 聚焦控制（221）; 变焦跷跷板开关（222）; 变焦控制器（223）; 和半反射镜控制器（224）。 图像缓冲器临时存储来自相机（207,208）的CCD（211,212）的图像数据。 图像处理器适当地处理用于广播或记录的图像的强度和相位。 图像比较部分比较图像以确定图像的中心是否相同，并且图像是完全对焦的。 图像转换器产生调整摄像机的焦距和半反射镜角度（203,204,205,206）所需的数据。 聚焦控制产生数据以控制照相机的聚焦控制（209,210）。 缩放跷跷板开关产生模拟电信号，以改变相机的变焦镜头的透镜之间的相对距离，以使用户想要的焦距。 变焦控制器产生数据以控制摄像机的变焦驱动器（213,214）。 半反射镜控制器从变焦控制器和聚焦控制器接收数据，以产生控制半反射镜的旋转和线性运动的数据。

公开(公告)号：KR1020010064139A

公开(公告)日：2001-07-09

申请号：KR1019990062273

申请日：1999-12-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이각현 ,  김도훈 ,  최상수 ,  정해빈 ,  김대용

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/02686 ,  G02B5/3083 ,  G02B7/04 ,  G02B13/143 ,  G02B26/0891 ,  G02B27/28 ,  H01L21/2026

Abstract: PURPOSE: An optical system for a crystallization apparatus is provided to enable a large area LCD fabrication by growing a uniform crystal having an equal grain size by performing a projection exposure as to micro stripe patterns by a projection optical system and by scanning gradually them. CONSTITUTION: The optical system makes an amorphous silicon thin film as a silicon thin film crystallized by an exposure of a micro stripe pattern using an eximer laser as a light source. The system includes the first lens-the tenth lens arranged along an optical axis from the eximer laser. The first lens(300) is a both convex lens, and the second lens(310) is a convex concave lens convex toward the light source, and the third lens(320) is a convex concave lens convex toward the light source, and the fourth lens(330) is a both concave lens. The fifth lens(340) is a both convex lens, and the sixth lens(350) is a concave convex lens concave toward the light source and the seventh lens(360) is a convex concave lens convex toward the light source. The eighth lens(370) is a both convex lens, the ninth lens(380) is a convex concave lens convex toward the light source, and the tenth lens(390) is a both convex lens. At least one of the ten lenses includes a CaF2 to improve an efficiency of a light intensity and to reduce a color aberration. The system further includes an optical component(200) made with a birefringent material to control a depth of focus of a light transmitted the tenth lens.

Abstract translation: 目的：提供一种用于结晶装置的光学系统，通过用投影光学系统对投影光学系统进行投影曝光，并逐渐扫描，通过生长具有相同晶粒尺寸的均匀晶体来实现大面积的LCD制造。 构成：光学系统通过使用准分子激光器作为光源通过微条纹图案的曝光而使非晶硅薄膜作为硅薄膜结晶。 该系统包括第一透镜 - 沿着来自准分子激光器的光轴布置的第十透镜。 第一透镜（300）是双凸透镜，第二透镜（310）是朝向光源凸出的凸凹透镜，第三透镜​​（320）是朝向光源凸起的凸凹透镜， 第四透镜（330）是两个凹透镜。 第五透镜（340）是双凸透镜，第六透镜（350）是朝向光源凹入的凹凸透镜，第七透镜（360）是朝向光源凸出的凸凹透镜。 第八透镜（370）是双凸透镜，第九透镜（380）是朝向光源凸出的凸凹透镜，第十透镜（390）是双凸透镜。 十个透镜中的至少一个透镜包括CaF2以提高光强度的效率并减少色差。 该系统还包括用双折射材料制成的光学部件（200），以控制透射第十透镜的光的焦深。

公开(公告)号：KR1019990052171A

公开(公告)日：1999-07-05

申请号：KR1019970071620

申请日：1997-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이각현 ,  김도훈 ,  정해빈 ,  김보우

IPC: G02B27/30

Abstract: 본 발명은 정밀 광학계를 조립하는 데 있어 광학계를 구성하는 광학 부품들 중에서 광축을 일정한 각도로 꺾어주기 위하여 사용하는 반사경(folding mirror)의 정확한 각도를 조절하는 정밀 광학계 반사경의 각도 조절 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
종래의 방법은 반사경으로 광축을 일정한 각도로 꺾는 광학계에서의 반사경 각도와 위치 설정을 금속기구부를 기준으로 함으로써 기구부의 가공에 따른 오차와 가공된 기구부 측정에 따른 오차로 인하여 반사경의 정확한 각도 조절 및 설치에 많은 문제가 있었다.
본 발명에서는 광학계를 구성하는 광학 부품중 광축을 꺾어 주는 반사경(20)의 정확한 각도조절과 측정에 오토콜리메이터(41)(42)를 사용하여 반사경(20)의 각도를 정확하게 조절하고, 동시에 간섭계(80)로 광학 부품의 정점을 확인할 수 있도록 하는 간섭계(80)에 오토콜리메이터(41)를 부착하여 구성되며, 상기 반사경(20)의 기울기를 정확하게 조절하기 위하여 상기 반사경(20)의 유효경 외곽에 상기 오토콜리메이터(41)(42)와 수직이 되도록 프리즘(31)(32)의 일면을 부착하고 금속기구부(50)에 평행한 반사물체(61)(62)를 부착하여 광학부품에 대하여 반사경(20)의 각도를 정확히 갖도록 조절하도록 하며, 상기 반사경의 조절방법은 프리즘(31)(32)의 한 면을 광학계 반사경(20)의 유효반경 외곽에 부착시켜 오토콜리메이터(41)(42)와 수직되게 하고, 상기 프리즘(31)(32)의 � ��을 이용하여 반사경(20)의 각도를 조절하여 정확한 각도를 유지할 수 있도록 하고, 프리즘(31)(32)의 면에 오토콜리메이터(41)(42)로 빛을 비추면 프리즘(31)(32)의 면으로부터 되돌아온 빛이 오토콜리메이터(41)(42)에 맺히는 것을 이용하여 반사경(20)의 기울기를 조절함으로써 광축(10)과 반사경(20)이 정확히 원하는 각도가 되게 맞추어 광축(10)을 정확한 방향으로 바꿔줄 수 있도록 하며, 상기 오토콜리메이터와 반사경이 정확한 각도로 맞추어진 것을 이용하여 반사경(20)과 단 렌즈들이 부착되는 금속기구부(50)면이 정확한 각을 이루는지를 금속기구부(50)면 부분에 평행한 반사물체(61)(62)를 이용하여 금속기구부(50)면 부분이 오토콜리메이터(41)(42)와 수직이 되게 상기 오토콜리메이터를 미세 조정하여 맞춘 다음, 평행한 반사 물체(61)(62)를 제거하고, 이미 프� �즘(31)(32)이 부착되어 있는 반사경(20)의 프리즘(31)(32) 한 면에 오토콜리메이터(41)(42)를 비추고 반사되어 오는 빛을 오토콜리메이터(41)(42)로 관측함으로써 반사경(20)이 정확한 각도인가를 확인하여 조정된 반사경(20)과 평행한 반사물체(61)(62)를 이용하여 금속기구부(50)에 단렌즈군을 부착시켜 정확히 조절 조립하도록 함을 특징으로 하는 것이다.