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公开(公告)号：KR101348660B1
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：KR1020100044962
申请日：2010-05-13
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S3/10
Abstract: 본 발명은 고밀도 정렬이 가능한 테라헤르츠파 송수신 장치용 올인원 패키지 모듈에 관한 것으로서, 테라헤르츠파 생성을 위한 활성 영역을 구비한 광전도 안테나; 상기 광전도 안테나로부터 발생된 테라헤르츠파를 집속시키는 실리콘 볼 렌즈; 상기 광전도 안테나에 레이저 펄스를 집속시키는 집속 렌즈; 및 상기 집속 렌즈가 내장되며, 상기 집속 렌즈를 상기 광전도 안테나의 활성 영역 중심부에 정렬시키도록 위치가 조절되는 집속 렌즈 정렬기를 포함한다.
본 발명에 따르면, 집속 렌즈 정렬기에 의해 집속 렌즈를 X,Y,Z 방향으로 고밀도 정렬하고, 질소 가스 또는 비활성 가스 분사/충진 기능을 갖는 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈을 제공할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101273525B1
公开(公告)日：2013-06-14
申请号：KR1020090123187
申请日：2009-12-11
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor： 최상국
Abstract: 본발명은간단하면서대량으로제작이가능한테라헤르츠파송수신패키지모듈을제조하기위한제조방법에관한것이다. 또한, 테라헤르츠파의발생및 검출을편리하게측정할수 있는테라헤르츠파송수신패키지모듈을제조하기위한것이다. 본발명에따른테라헤르츠파송수신모듈제조방법은웨이퍼가일측에마련된기판의다른일측에, 광전도안테나를형성하는단계, 및상기웨이퍼를연마하여, 반구형의볼렌즈를형성시키는단계를포함한다.
Abstract translation: 目的：提供一种在光电导天线中形成球透镜的天线波发射/接收模块制造方法，以便容易地产生和测量泰勒波，并减少建立测量系统所需的时间和成本 和泰勒赫兹波。 构成：在光电导天线中形成球透镜的天线波发射/接收模块制造方法包括：在单面制备晶片的基板（110）的另一侧形成光电导天线（100）; 以及通过抛光晶片来形成半球形颗粒的球透镜。 该晶片包括半绝缘砷化镓或低温生长砷化镓。 衬底包括半绝缘砷化镓或低温生长砷化镓。 光导天线形成阵列对准结构。 整个结构被切割成固定水平，使得一个光电导天线位于切割基板的一部分中。 用于与外部元件的电连接的信号线与光电导天线相互连接。
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公开(公告)号：KR101183968B1
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：KR1020080131593
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명에 따른 금속 그리드 모듈은 감광성 유리 프레임 상에 매우 얇은 두께의 금속 그리드가 일체형으로 형성된 구조를 가지며, 이에 따라 감광성 유리 프레임에 의해 페브리-페롯 간섭계에 안정적으로 실장이 가능하며, 아울러 정렬, 보관 및 운반시 편리성 및 안정성을 확보할 수 있는 것을 특징으로 한다.
테라헤르츠파, 파라메트릭 발생기, 금속 그리드-
公开(公告)号：KR1020110014081A
公开(公告)日：2011-02-10
申请号：KR1020100044962
申请日：2010-05-13
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S3/10
CPC classification number: H01S3/137 , H01S5/0264 , H01S5/0267
Abstract: PURPOSE: A tera-hertz wave transceiver package module is provided to easily generate the tera-hertz wave with the simple structure by aligning a silicon ball lens, an optical conductive antenna, and a focusing lens with high accuracy. CONSTITUTION: A photoconductive antenna comprises an active area for generating the tera-hertz wave. A silicon ball lens(230) focuses the tera-hertz wave generated by the photoconductive antenna. A focusing lens(250) focuses the laser pulse on the photoconductive antenna. The focusing lens is installed inside the condenser lens aligner.
Abstract translation: 目的：提供一种泰耳波收发器封装模块，通过以高精度对准硅球透镜，光导电天线和聚焦透镜，通过简单的结构轻松生成紫外波。 构成：光导天线包括用于产生紫外波的有效区域。 硅球透镜（230）聚焦由光电导天线产生的太赫兹波。 聚焦透镜（250）将激光脉冲聚焦在光电导天线上。 聚焦透镜安装在聚光镜对准器的内部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100951850B1
公开(公告)日：2010-04-12
申请号：KR1020080099664
申请日：2008-10-10
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04B10/508 , H04B10/50
CPC classification number: H04B10/2575 , H04B2210/006
Abstract: PURPOSE: A frequency tunable terahertz continuous wave generating apparatus is provided to generate a terahertz continuous wave using a DSB-SC method. CONSTITUTION: An optical signal generator(200) modulates a double side band optical signal by a DSB-SC(Double Side Band-Suppressed Carrier) mode n times. The optical signal generator generates several double side band optical signals. The optical signal generator selectively eliminates an unnecessary optical signal from the several double side band optical signals. The optical signal generator generates two optical signals of different wavelengths. An optical signal converter(300) converts two optical signals generated in the optical signal generator into terahertz continuous waves.
Abstract translation: 目的：提供一种频率可调太赫兹连续波发生装置，用DSB-SC方法产生太赫兹连续波。 构成：光信号发生器（200）通过DSB-SC（双边带抑制载波）模式n次调制双边带光信号。 光信号发生器产生几个双边带光信号。 光信号发生器选择性地从多个双边带光信号中消除不必要的光信号。 光信号发生器产生不同波长的两个光信号。 光信号转换器（300）将在光信号发生器中产生的两个光信号转换为太赫兹连续波。
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公开(公告)号：KR1020060070396A
公开(公告)日：2006-06-23
申请号：KR1020050049196
申请日：2005-06-09
Applicant: 한국전자통신연구원 , 선문대학교 산학협력단
IPC: H01J37/147
Abstract: 본 발명은 배선 수를 감축시킬 수 있는 마이크로 컬럼 전자빔 장치를 개시한다. 개시된 본 발명의 마이크로 컬럼 전자빔 장치는, LTCC(low temperature Co-fired Ceramic) 기판을 포함한다. 상기 LTCC 기판의 상면 소정 부분에 수 개의 편향기 전극이 형성되어 있으며, 상기 LTCC 기판의 상면 가장자리에 상기 편향기 전극에 외부 신호를 전달하는 패드 전극이 형성된다. 상기 LTCC 기판 내에는 상기 편향기 전극 및 패드 전극을 전기적으로 연결하는 연결수단이 형성된다.
LTCC(low temperature Co-fired Ceramic), 편향기(deflector), 전자빔 리소그라피, RC 지연-
公开(公告)号：KR100586740B1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：KR1020030089373
申请日：2003-12-10
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01J37/073 , H01J37/147
Abstract: 본 발명은 자기 정렬된 카본나노튜브 팁을 이용한 전자빔 마이크로소스, 전자빔 마이크로소스 모듈 및 그 제조방법에 관한 것으로, 캐소드 전극으로 사용되는 전도성 기판, CNT 에미터, 그라운드 전극을 포함하고, 전도성 기판 상부에 CNT 에미터를 에워싸는 마이크로 캐비티를 형성하고 CNT 에미터로부터 방출된 전자를 관통할 수 있는 홀을 구비하는 구조로 형성되되, CNT 에미터는 금속 촉매의 표면으로부터 상기 전도성 기판과 수직한 방향으로 성장되어 홀의 중앙부에 자동 정렬된 탄소 나노 튜브를 이용한 전자빔 마이크로소스를 제공한다.
탄소나노튜브(CNT) 팁(Tip), 전계방출소자, 전자빔 마이크로컬럼, 자기정렬(Self-aligned) 소스 팁, 전자렌즈(Electrostatic Lens)-
公开(公告)号：KR100586735B1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：KR1020040017234
申请日：2004-03-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01J3/02
Abstract: 본 발명은 마이크로컬럼 전자빔 장치에 적용되는 전자빔 방출부에 관한 것이다. 마이크로컬럼 전자빔 장치에서 전자빔 방출부는 3mm 이내의 직경과 3mm 이내의 높이를 갖는 좁은 공간에 장착된다. 협소한 공간에서 전자빔을 방출하기 위해서는 전자빔 방출원(source)으로 사용되는 필라멘트(filament)의 온도를 1500도 이상으로 높게 유지시켜야 하는데, 온도 상승을 위해 필라멘트에 많은 량의 전류를 흘리게 되면 전류의 량이 증가될수록 필라멘트의 열화가 빨리 진행되고 단위 길이 당 전위차가 커져 방출되는 전자빔의 에너지 균일도가 저하된다. 본 발명은 협소한 공간에서도 길이를 최대화시킬 수 있고, 길이 증가에도 불구하고 견고함이 유지될 수 있는 전자빔 방출원을 구비하는 마이크로컬럼 전자빔 장치의 전자빔 방출부를 제공한다.
마이크로컬럼 전자빔, 전자빔 방출부, 방출원, 필라멘트, 열전자-
公开(公告)号：KR100528971B1
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：KR1020030028165
申请日：2003-05-02
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/67213 , H01J37/185 , H01J2237/3175 , H01L21/67225
Abstract: 본 발명은 처리 시간을 단축할 수 있는 전자빔 리소그라피 시스템을 개시한다. 개시된 본 발명은, 전자빔 리소그라피 공정을 실시하기 위한 전자빔 리소그라피 시스템으로서, 하나의 전송 챔버에 복수개의 전자빔 리소그라피용 챔버 및 입,출력 로드락 챔버가 클러스터 형태로 연결되어 있으며, 상기 전자빔 리소그라피용 챔버는 멀티 컬럼부를 포함한다.
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