公开(公告)号：CN102160307B

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN200880109345.3

申请日：2008-08-01

Applicant: 普尔斯特有限责任公司

Inventor： R·B·莫特

IPC: H04B14/04

CPC classification number: G01R29/02 ,  G01T1/36 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/28

Abstract: 一种基于前置放大器信号的倾斜度来调整脉冲处理器的诸如FIR滤波器的能量测量滤波器的响应的方法，所述前置放大器信号具有各自对应于相应的光子的多个阶跃边沿，所述方法包括：接收包括各自具有数字值的多个连续的数字样本的数字形式的前置放大器信号，所述前置放大器信号具有由第一个阶跃边沿和紧接在所述第一个阶跃边沿之后的第二个阶跃边沿所定义的部分；使用与所述部分相关的每个数字样本的数字值来确定通过所述部分的长度归一化的所述部分的平均倾斜度；并使用通过所述部分的长度归一化的所述部分的平均倾斜度来修正所述能量测量滤波器的响应。

公开(公告)号：CN103797420A

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN201280044300.9

申请日：2012-09-12

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： J.J.M.佩杰斯特

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/2014 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N21/88 ,  G01N2201/022 ,  G03F7/70841 ,  G03F7/7085 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/24 ,  H01J37/261 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/28 ,  H01L21/6719

Abstract: 一种目标加工处理机械（100），譬如光刻机或检测机械，其包括刚性基底板（150）、用于投射一或更多光学或粒子束于目标（130）上的投射柱（101）、支撑该投射柱的支撑框架（102），该支撑框架由基底板支撑并且固定到该基底板、包括用于负载该目标的可移动部分（128）以及由基底板所支撑并且固定到该基底板的固定部分（132、133）的载台、用于检测由该柱所投射的一或更多射束的射束传感器，该射束传感器至少部分地由该基底板支撑并且固定到该基底板、以及密封该支撑框架与该柱的真空腔室（110），用于维持在该腔室的内部空间中的真空环境，该真空腔室借助形成其部分的基底板形成，并且包含多个墙板（171、172），所述墙板（171、172）包括由基底板支撑并且固定至该基底板的多个侧墙板（171）。

公开(公告)号：CN102414774A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201080018886.2

申请日：2010-04-29

Applicant: ATTI国际服务公司

Inventor： 阿尔图什·A·阿布加良 ,  伊莱·莱维

IPC: H01J29/58

CPC classification number: H01J29/62 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/18 ,  H01J35/14 ,  H01J37/063 ,  H01J37/065 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/0656 ,  H01J2237/28

Abstract: 一种系统，在静电区域中将电子束聚焦为电子层流，该电子层流具有电流密度的均匀分布和显著缩小倍率，该系统包括：本体(11)，其限定电场的边界；静电部分中的场形成阴极电极系统(1，2，3，4)、聚焦电极系统(5，6，7，12)和至少一个阳极电极系统(8，9，10)；和第二无电场部分，其包括布置在本体(11)内部的可调屏幕系统(16)。场形成近阴极电极系统(1，2，3，4)包括电连接到平面部分(2)的阴极(1)和电连接到柱形部分(4)的曲线部分(3)。阳极电极系统(8，9，10)包括开口部分、电连接到平面部分(8)的阳极、和电连接到柱形部分(10)的曲线部分(9)，其与阴极电极系统相似或相同，并且与阴极电极系统对称。根据CGMR概念方法计算和创建系统参数。

公开(公告)号：CN101013649B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200710007999.2

申请日：2007-02-01

Applicant: FEI公司

Inventor： H·N·斯林杰兰德 ,  W·R·诺尔斯

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/28 ,  H01J37/00 ,  G01N23/00

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/301 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明涉及一种具有预定的最终压力的粒子光学仪器，为此，该仪器的真空室通过第一节气阀与一个装有处在已知压力下的气体或蒸气的容器相连接，并通过第二节气阀与真空泵相连接。通过调节与上述的节气阀相关的两个电导率的比率(校准比率)使真空泵的压力达到预定的最终压力。这样，就不需要设置例如真空测量仪和控制装置，从而使该仪器的结构更为紧凑。

公开(公告)号：CN1645548A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN200510002635.6

申请日：2005-01-21

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 长野修

IPC: H01J37/147 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01J37/147 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/3175

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其具备：生成带电粒子束的带电粒子束发生器；生成使上述带电粒子束在外部的基板上成像的透镜场的投影光学系统；围着上述带电粒子束的光轴地配置的偏转器，该偏转器生成对应于上述带电粒子束应入射上述基板的角度其强度在上述光轴方向上变化地形成的偏转场，该偏转场与上述透镜场重叠且使上述带电粒子束偏向并控制朝向上述基板照射的位置。

公开(公告)号：CN107966464B

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201710946654.7

申请日：2017-10-12

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： J.米特彻斯 ,  T.韦伊斯塔维 ,  M.卡福雷克

IPC: G01N23/2202 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/261 ,  G01N1/42 ,  H01J37/18 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/317

Abstract: 一种使用带电粒子显微镜执行低温试样的表面改性的方法，其包括：真空室；试样保持器；粒子‑光柱，该方法包括以下步骤：将试样引入真空室中，将其提供在试样保持器上并将其保持在低温温度；采用至少一个真空泵以将真空室抽空；激活所述束并将其引导到所述试样的一部分上以便对其表面进行改性，另外包括以下步骤：在真空室中提供薄膜监测器，并且至少将其检测表面保持在低温温度；使用所述监测器来测量所述室中的冷冻冷凝物的沉淀速率值，并且使用该值作为触发器来执行以下动作中的至少一个：当所述值下降到第一预定阈值以下时，启动所述表面改性；如果所述值上升到第二预定阈值以上，则中断表面改性。

公开(公告)号：CN108666193A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810229218.2

申请日：2018-03-20

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 岩堀敏行

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/09 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明的目的在于提供带电粒子束装置，其能够防止起因于人为的错误等而导致试样与电子束镜筒接触。该带电粒子束装置(10)具有试样室(11)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)以及照射会聚离子束的会聚离子束镜筒(14)。带电粒子束装置(10)具有移位部件(45)，该移位部件(45)具有：开闭部，其被设置为能够在电子束镜筒(13)的出射端部和试样载台(31)之间的插入位置与离开插入位置的退出位置之间移位；以及接触部，其设置于在试样载台(31)进行动作时能够比出射端部先与试样(S)接触的接触位置。带电粒子束装置(10)具有使移位部件(45)移位的驱动机构(42)和检测有无试样(S)与接触部的接触的导通传感器(24)。

公开(公告)号：CN104990773B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201510298187.2

申请日：2011-03-30

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： R.坦纳

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/3005 ,  G01N1/286 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3045 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2814 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。

公开(公告)号：CN104584182B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201380043429.2

申请日：2013-08-09

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 今村伸 ,  大岛卓 ,  小濑洋一 ,  平根贤一

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

Abstract: 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中，闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率，与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且，闪烁器(7)由用组成式(Ln1－xCex)3M5O12表示的Y－Al－O系陶瓷烧结体形成，其中，Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素，M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。

公开(公告)号：CN105789004A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201610247974.9

申请日：2016-04-20

Applicant: 兰州大学

Inventor： 彭勇 ,  郑修军 ,  黄源清 ,  夏卫星 ,  张军伟 ,  马鸿斌 ,  关超帅 ,  胡阳 ,  杨保林 ,  薛德胜

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明公开了一种全温区热电两场扫描电镜原位物性测量台，包括：样品、样品压片、导热台、测温元件、加热元件、样品台盖子、冷却台顶、冷却管、冷却台底、绝热台顶、绝热柱、绝热台底、扫描电子显微镜连接柱、功能扩展孔、冷却管孔、导线孔、真空法兰模块、冷却控制模块、PID温控及电学测试模块。本发明可以进行样品材料热电性能研究，实现力学、电学和热学多物理场调控下的原位性能研究；实现快速制冷降温；充分利用样品台结构降低导热效果；防止了放电现象和加热过程中图像热干扰而出现层状条纹，使用同轴环状加热模块且采用导热性能良好的紫铜作样品导热台，测温元件处于加热模块和样品之间，实现准确的温度检测。