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    Permanent magnet lens system
    21.
    发明授权
    Permanent magnet lens system 失效
    永磁体镜系统

    公开(公告)号：US3812365A

    公开(公告)日：1974-05-21

    申请号：US33988173

    申请日：1973-03-09

    Applicant: LEPOOLE J

    Inventor： LEPOOLE J

    IPC: H01J37/14 ,  H01J37/143 ,  H01J37/00

    CPC classification number: H01J37/14 ,  H01J37/143

    Abstract: A magnetic lens system, in particular for an electron microscope, comprising two thin small disc magnets, provided with small openings and magnetized axially in opposite directions, which are united straight into an electron-optic achromatic as well as rotation-free and distortionfree system that forms lens fields, at a distance that is practically equal to the diameter of the small openings.

    A MINIATURE LOW- ENERGY ELECTRON BEAM GENERATOR
    23.
    发明申请
    A MINIATURE LOW- ENERGY ELECTRON BEAM GENERATOR 审中-公开
    微型低能量电子束发生器

    公开(公告)号：WO2011089439A3

    公开(公告)日：2011-11-17

    申请号：PCT/GB2011050103

    申请日：2011-01-21

    Applicant: NFAB LTD ,  EASTHAM DEREK

    Inventor： EASTHAM DEREK

    IPC: H01J37/141 ,  G01Q60/00 ,  H01J37/143 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

    CPC classification number: H01J37/28 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/1416 ,  H01J37/143 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/2804

    Abstract: According to one aspect of the invention for which protection is sought, there is provided an electron beam generator (100, 200) comprising: an electron source (104, 204) for generating a beam (120, 220) of electrons from an emission site of the source; means for accelerating the electrons; and focussing means for focussing the electrons onto a surface of a sample provided in an image plane, wherein the electron beam is arranged to pass through a plurality of apertures between the source and the image plane, each aperture having a diameter greater than that of the electron beam at the point at which the beam passes through the aperture, the generator being operable to image directly electrons from the emission site onto the image plane, the focussing means comprising a microscale lens (150, 250) comprising a lens element arranged to generate a magnetic field thereby to focus the electron beam onto the image plane, the lens element having a lens aperture therethrough through which in use electrons to be focussed are passed.

    Abstract translation: 根据寻求保护的本发明的一个方面，提供了一种电子束发生器（100,200），包括：用于从发射位置产生电子束（120,220）的电子源（104,204） 的来源; 用于加速电子的手段; 以及用于将电子聚焦到设置在图像平面中的样品的表面上的聚焦装置，其中电子束被布置成穿过源和图像平面之间的多个孔，每个孔的直径大于 电子束在光束穿过孔的点处，该发生器可操作以将来自发射位点的电子直接成像到图像平面上，聚焦装置包括微透镜（150,250），该微米透镜包括透镜元件，该透镜元件被布置成产生 磁场，从而将电子束聚焦到图像平面上，透镜元件具有透镜孔，通过该透镜孔可以通过要聚焦的电子。

    マルチコラム電子ビーム露光装置及び磁場発生装置
    24.
    发明申请
    マルチコラム電子ビーム露光装置及び磁場発生装置 审中-公开
    多光子电子束曝光装置和磁场发生装置

    公开(公告)号：WO2009157054A1

    公开(公告)日：2009-12-30

    申请号：PCT/JP2008/061431

    申请日：2008-06-24

    Applicant: 株式会社アドバンテスト ,  安田 洋 ,  大饗 義久 ,  原口 岳士

    Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  原口 岳士

    IPC: H01L21/027 ,  H01J37/143

    CPC classification number: H01J37/143 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/06 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0635 ,  H01J2237/14

    Abstract: 【課題】狭い空間に強磁場を発生させて各コラムセルの間隔を小さくすることのできるマルチコラム電子ビーム露光装置及び磁場発生装置を提供すること。 【解決手段】複数のコラムセルを備えるマルチコラム電子ビーム露光装置は、光軸方向に着磁された光軸対称な２個の環状永久磁石ＰＡ，ＰＢと永久磁石の近傍に配置されて永久磁石による磁場を調整する電磁コイルＥＣ１，ＥＣ２とが強磁性体枠７１によって取り囲まれた電子ビーム収束部と、各コラムセルで使用される電子ビームが通過する円型開口部が設けられ各円型開口部の側部に電子ビーム収束部が配置された基板とを備える。環状永久磁石ＰＡ，ＰＢは極性を対向させて光軸方向に上下２個配置され、環状永久磁石ＰＡ，ＰＢの半径方向の内側または外側に電磁コイルＥＣ１，ＥＣ２を設けるようにしてもよい。

    Abstract translation: [问题]提供一种多柱电子束曝光装置，其在小空间中产生强磁场并减小列单元之间的间隔，并提供磁场产生装置。 解决问题的手段电子束曝光装置具有多个柱单元。 该装置设置有电子束聚焦部分，其中铁磁性框架（71）围绕两个在光轴方向被磁化并且相对于光轴对称的环形永磁体（PA，PB）和电磁线圈 EC1，EC2），其设置在永久磁铁附近，以调整由永磁体产生的磁场; 以及基板，其中布置有圆形开口部分，用于穿过用于每个列单元的电子束，并且电子束聚焦部分布置在每个圆形开口部分的一侧。 两个环形永磁体（PA，PB）可以通过相反的极性彼此相对地在光轴方向上垂直布置，并且电磁线圈（EC1，EC2）可以布置在环形永磁体的半径方向内侧或外侧 PA，PB）。

    ADJUSTABLE MAGNETIC LENS HAVING PERMANENT-MAGNETIC AND ELECTROMAGNETIC COMPONENTS
    25.
    发明公开
    ADJUSTABLE MAGNETIC LENS HAVING PERMANENT-MAGNETIC AND ELECTROMAGNETIC COMPONENTS 审中-公开

    公开(公告)号：EP4391008A1

    公开(公告)日：2024-06-26

    申请号：EP23218498.6

    申请日：2023-12-20

    Applicant: IMS Nanofabrication GmbH

    Inventor： Spengler, Christoph ,  Leitner, Johannes ,  Puchberger, Dietmar ,  Moser, Daniel

    IPC: H01J37/143 ,  H01J37/145

    CPC classification number: H01J37/143 ,  H01J37/145 ,  H01J2237/141520130101 ,  H01J37/141 ,  H01J37/3177

    Abstract: A fine-adjustable charged particle lens (10) comprises a magnetic circuit assembly (20) including permanent magnets (21) and a yoke body (25), surrounding a beam passage (11) extending along the longitudinal axis (cx). The permanent magnet is arranged between an inner yoke component (250) and an outer yoke component (251) so as to form a magnetic circuit having at least two gaps (290, 291), generating a magnetic field (61) reaching inwards into the beam passage, into which a sleeve insert (50) having electrostatic electrodes can be inserted, which may also generate an electric field (65) spatially overlapping said magnetic field. An electromagnetic adjustment coil (31) is located between the inner and outer yoke shell (250, 251). This electromagnetic adjustment coil (31) is driven by an adjustable supply current running primarily along a circumferential direction and modifies the magnetic flux in the magnetic circuit to cause a variation in the magnetic flux density in the gaps (290, 291).

    走査電子顕微鏡
    29.
    发明申请
    走査電子顕微鏡 审中-公开
    扫描电子显微镜

    公开(公告)号：WO2011065240A1

    公开(公告)日：2011-06-03

    申请号：PCT/JP2010/070188

    申请日：2010-11-12

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  岩谷 徹 ,  高堀 栄 ,  大瀧 智久 ,  波多野 治彦

    Inventor： 岩谷　徹 ,  高堀　栄 ,  大瀧　智久 ,  波多野　治彦

    IPC: H01J37/143 ,  H01J37/04 ,  H01J37/141 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/143 ,  H01J37/04 ,  H01J37/141 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

    Abstract: 　カラムの温度上昇を抑制し、かつ分解能等の性能を維持しつつ、装置の小型化を達成することができる走査電子顕微鏡を提供する。　電子源から放出された電子線を集束レンズにより集束させて試料上に照射し、試料からの二次電子を検出することで、試料を観察する走査電子顕微鏡において、前記集束レンズは、電磁コイル型および永久磁石型の両方を有することを特徴とする。

    Abstract translation: 公开了一种扫描电子显微镜，其可以在抑制柱温升高并且在诸如分辨能力的区域中保持性能的同时实现器件小型化。 扫描电子显微镜的特征在于，前述的聚焦透镜包括电磁线圈和电磁线圈，其特征在于，所述扫描电子显微镜通过在从电子源发射并由聚焦透镜聚焦的电子束照射样品时从样品中检测二次电子来观察样品 永久磁铁。

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