公开(公告)号：CN117889835A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202311779495.8

申请日：2023-12-22

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 徐海刚 ,  王建海 ,  李泽章 ,  朱毅 ,  钟润伍 ,  王宝军 ,  梁文伟 ,  杨丽 ,  杜善宇 ,  张超 ,  李新月 ,  张传忠 ,  秦玉霞

IPC: G01C19/5691 ,  G01C25/00

Abstract: 本发明公开了一种半球谐振子品质因数不均匀性快速辨识方法，包括真空环境装置、谐振子激励装置、谐振子信号采集装置，在一个刚性轴测量一分钟时间，然后驱动振子转动22.5°，完成4个位置点的振动信号测量；通过时间衰减法拟合出2个刚性轴及刚性轴中间点的Q值，通过三角函数拟合出阻尼轴角度以及Q值。本发明测量四个点的振子振动信号即能得出振子的阻尼不均匀性，极大地简化了测量步骤；只测刚性轴和两个刚性轴中间点上的振动信号，可以减少振子频差的影响，增加了Q值得拟合精度。

公开(公告)号：CN113913773B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202111062039.2

申请日：2021-09-10

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 徐海刚 ,  王宝军 ,  朱毅 ,  钟润伍 ,  王锴 ,  杜善宇 ,  孙凯丽 ,  邱丽玲 ,  李泽章 ,  张超

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/18 ,  C23C14/35 ,  G01C19/56

Abstract: 本发明提供了一种半球谐振子金属膜层镀制装置和方法，该镀制装置包括公转平台、自转机构、两个镀膜组件；自转机构安装在公转平台上，与公转平台中心轴线保持一定距离；自转机构上设置装配半球谐振子的凹槽；两个镀膜组件安装在公转平台上方、并与公转平台中心轴线保持一定距离；两个镀膜组件均包括靶材，靶材朝向公转平台、与公转平台中心轴线形成夹角；公转平台、自转机构同时进行公转、自转，两个镀膜组件与公转平台中心轴线形成不同角度、互相配合进行镀膜。本发明采用双金属靶多角度同时镀制同种膜层材料，两个靶材与谐振子角度不同，避免出现盲区，可有效提升膜层镀制效率，另外双靶位同时溅射，明显改善膜层致密性、膜层应力等性能指标。

公开(公告)号：CN117660906A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311523449.1

申请日：2023-11-15

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 徐海刚 ,  王宝军 ,  台云硕 ,  朱毅 ,  李泽章 ,  张传忠 ,  王建海 ,  李新月 ,  张超 ,  张鹏

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明公开了一种半球谐振子高品质因数膜层设计、镀制装置及方法，所述膜层设计方法，靠近唇沿设置偏厚膜层，靠近支撑柱底端设置偏薄膜层，唇沿、支撑柱底端膜层厚度比例大于3:1，支撑柱膜层设置偏厚膜层。所述膜层镀制装置包括公转平台、半球谐振子自转装置、金属靶，半球谐振子自转装置距离公转平台中心轴线之间的距离为30mm～35mm，金属靶与公转平台轴线之间的角度为θ，金属靶距离公转平台的距离为300mm，距离公转平台轴线的水平距离为110mm～120mm。所述镀制方法分层控制唇沿位置金属膜层的镀制，并控制不同膜层镀制过程中的腔室内温度。本发明显著提升了半球谐振子品质因数水平。

公开(公告)号：CN117168427A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202310935715.5

申请日：2023-07-27

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 徐海刚 ,  李新月 ,  朱毅 ,  王宝军 ,  李泽章 ,  张超 ,  秦玉霞 ,  王建海 ,  台云硕

IPC: G01C19/5691 ,  G01C19/5783

Abstract: 本发明公开了半球谐振陀螺高真空封装保持装置和方法。所述装置的上层加热装置、上层温度传感器和半球谐振陀螺精密组件位于真空腔室上层，所述上层加热装置用于夹持固定半球谐振陀螺精密组件并加热；下层加热装置、下层温度传感器和半球谐振陀螺外壳位于真空腔室下层，所述下层加热装置用于固定半球谐振陀螺外壳并加热；隔热板可在真空腔室内移动，用来实现真空腔室上层与下层的温度阻隔；升降机构连接上层加热装置，当下层装置加热，吸气剂激活时，上层加热装置上升，当吸气剂激活完毕，升降机构带动上层加热装置下降，半球谐振陀螺精密组件与半球谐振陀螺外壳贴合，进行焊接。本发明实现了半球谐振陀螺小型化的目标。