一种半球谐振子金属膜层镀制装置和方法

    公开(公告)号:CN113913773B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202111062039.2

    申请日:2021-09-10

    Abstract: 本发明提供了一种半球谐振子金属膜层镀制装置和方法,该镀制装置包括公转平台、自转机构、两个镀膜组件;自转机构安装在公转平台上,与公转平台中心轴线保持一定距离;自转机构上设置装配半球谐振子的凹槽;两个镀膜组件安装在公转平台上方、并与公转平台中心轴线保持一定距离;两个镀膜组件均包括靶材,靶材朝向公转平台、与公转平台中心轴线形成夹角;公转平台、自转机构同时进行公转、自转,两个镀膜组件与公转平台中心轴线形成不同角度、互相配合进行镀膜。本发明采用双金属靶多角度同时镀制同种膜层材料,两个靶材与谐振子角度不同,避免出现盲区,可有效提升膜层镀制效率,另外双靶位同时溅射,明显改善膜层致密性、膜层应力等性能指标。

    一种半球谐振子高品质因数膜层设计、镀制装置及方法

    公开(公告)号:CN117660906A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311523449.1

    申请日:2023-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种半球谐振子高品质因数膜层设计、镀制装置及方法,所述膜层设计方法,靠近唇沿设置偏厚膜层,靠近支撑柱底端设置偏薄膜层,唇沿、支撑柱底端膜层厚度比例大于3:1,支撑柱膜层设置偏厚膜层。所述膜层镀制装置包括公转平台、半球谐振子自转装置、金属靶,半球谐振子自转装置距离公转平台中心轴线之间的距离为30mm~35mm,金属靶与公转平台轴线之间的角度为θ,金属靶距离公转平台的距离为300mm,距离公转平台轴线的水平距离为110mm~120mm。所述镀制方法分层控制唇沿位置金属膜层的镀制,并控制不同膜层镀制过程中的腔室内温度。本发明显著提升了半球谐振子品质因数水平。

    半球谐振陀螺高真空封装保持装置和方法

    公开(公告)号:CN117168427A

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202310935715.5

    申请日:2023-07-27

    Abstract: 本发明公开了半球谐振陀螺高真空封装保持装置和方法。所述装置的上层加热装置、上层温度传感器和半球谐振陀螺精密组件位于真空腔室上层,所述上层加热装置用于夹持固定半球谐振陀螺精密组件并加热;下层加热装置、下层温度传感器和半球谐振陀螺外壳位于真空腔室下层,所述下层加热装置用于固定半球谐振陀螺外壳并加热;隔热板可在真空腔室内移动,用来实现真空腔室上层与下层的温度阻隔;升降机构连接上层加热装置,当下层装置加热,吸气剂激活时,上层加热装置上升,当吸气剂激活完毕,升降机构带动上层加热装置下降,半球谐振陀螺精密组件与半球谐振陀螺外壳贴合,进行焊接。本发明实现了半球谐振陀螺小型化的目标。

    基于双通道测试的半球谐振子刚性轴辨识装置及方法

    公开(公告)号:CN119618259A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411529416.2

    申请日:2024-10-30

    Abstract: 本发明提供了一种基于双通道测试的半球谐振子刚性轴辨识装置及方法,该装置包括:真空系统、半球谐振子固定平台及平台自转机构、谐振子激励机构和多普勒激光测振仪I和II;真空系统包括真空腔室、复合真空计、干泵‑分子泵组合泵组系统和隔振平台;半球谐振子固定平台及平台自转机构包括谐振子固定工位、工位固定平台和平台自转机构;通过平台自转机构实现工位固定平台的旋转操作;谐振子激励机构包括旋转电磁铁激励模块、敲击锤和限位槽;旋转电磁铁激励模块为敲击锤提供激励,限位槽用于对敲击锤的运动进行限位;多普勒激光测振仪I和II用于检测激励后的半球谐振子的振动速度。本发明能够解决现有技术中半球谐振子刚性轴辨识效率低的技术问题。

    半球陀螺装配误差快速识别方法和调整装置

    公开(公告)号:CN117029874B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202310869115.3

    申请日:2023-07-14

    Abstract: 本发明提供了一种半球谐振子与电极装配偏心误差快速识别和调整装置,适用于半球谐振子与电极装配过程中的偏心问题的调整。所述方法采用非接触在线测量法获取半球谐振子最大外径的圆,以及电极最大外径的圆,计算两个圆心的距离即半球谐振子与电极装配的偏心量,判断偏心量是否符合要求,若不符合要求,进行偏心量调整,重复测量和误差识别,直至偏心量调整满足要求为止。所述调整装置包括基座、测量装置、调整器、夹持座和旋转机构,所述基座将测量装置、调整器、夹持座和旋转机构连接成一体。本发明可实现高精度同轴误差的非接触检测和在线调整,提升陀螺装配后Q值和频差,为半球谐振陀螺性能提升提供有力技术支撑。

    一种半球谐振子非接触激励装置及频率特性辨识方法

    公开(公告)号:CN117824607A

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202311779412.5

    申请日:2023-12-22

    Abstract: 本发明公开了一种半球谐振子非接触激励装置及频率特性辨识方法,所述装置包括石英套筒、四个分立叉指电极、真空装置和多普勒激光测振系统。所述石英套筒为一个上下无盖的空心圆柱,所述四个分立叉指电极之间夹角为90°,镀在石英套筒上,所述多普勒激光测振系统用于测量谐振子振动信号。所述频率特性辨识方法,包括刚性轴辨识方法和频差辨识方法,所述刚性轴辨识方法为在同一大小激励下,分两步测量角度相差22.5°的两点振子振动信号,拟合出振子的刚性轴角度;所述频差辨识方法为拍频测量法,选定谐振子上一点激励后,通过测量谐振子振动拍频信号,辨识出频差大小。本发明为一种非接触激励方法,不会损坏振子表面状态。

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