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31.发明授权미소 구조체의 검사 장치, 미소 구조체의 검사 방법 및 미소 구조체의 검사 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체 失效微细结构体的检查装置，微细结构体的检查方法以及记录微细结构体的检查程序的计算机可读取的记录介质
公开(公告)号：KR100933536B1
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：KR1020077021033
申请日：2006-03-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01P15/18 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01C19/56 , G01C25/005 , G01N29/043 , G01N2291/02881 , G01N2291/0421 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2698 , G01P15/123 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
Abstract: 스피커부(2)에 있어서, 복수의 음원을 갖고, 각 음원으로부터 음파를 출력한다. 스피커부(2)로부터 출력되는 소밀파인 음파의 도달, 즉 공기 진동에 의해 검출칩 TP의 미소 구조체인 3축 가속도 센서의 가동부는 움직인다. 이 움직임에 기초하여 변화하는 저항값의 변화에 대해서 프로브(4)를 통해 부여되는 출력 전압에 기초하여 측정한다. 제어부(20)는 측정된 특성값, 즉 측정 데이터에 기초하여 3축 가속도 센서의 특성을 판정한다. 또한, 복수의 음원 간격은 3축 가속도 센서의 가동부까지의 거리차와 테스트 음파의 파장에 기초하여 음원 간격을 소정의 값으로 설정함으로써, 합성된 음파의 합성 음장이 최대가 되도록 합성파인 테스트 음파가 가동부에 대하여 인가된다.
Abstract translation: 扬声器单元（2）具有多个声源，并且从各个声源输出声波。 从扬声器单元2输出的声波的somilpa达到，也就是说，通过空气振动移动检测芯片TP的微细结构体的三轴加速度传感器的可动部分。 基于通过探针4施加的输出电压相对于基于该移动的变化电阻值的变化。 控制单元20基于测量的特征值即测量数据来确定三轴加速度传感器的特性。 此外，多个声源的距离的是三轴通过设定距离差以及基于所述测试声波的运动部件的加速度传感器中的一个预定值的波长的声源分离，将合成的声波的微细复合合成声音，以便最大化测试声波 并应用于可移动部分。
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公开(公告)号：KR1020080088638A
公开(公告)日：2008-10-02
申请号：KR1020087020119
申请日：2007-04-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01P21/00 , B81C99/005 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842 , G01R31/2829
Abstract: Provided is an inspecting apparatus which can perform a dynamic test of characteristics in each direction of degree of freedom, to a fine structure having the degree of freedom in multiple directions, without direct contact with a movable section. The fine structure inspecting apparatus is provided with the movable section (16a) formed on a substrate (8), and evaluates the characteristics of at least one fine structure (16). The inspecting apparatus is provided with a probe (4a) which electrically connects with a pad (8a) formed on the fine structure (16) for extracting the electric signal of the fine structure (16); a plurality of nozzles (10) arranged in the vicinity of the movable section (16a) of the fine structure (16) for blowing out or sucking gas; a nozzle flow quantity control section (3) for controlling the flow quantity of the air to be blown out or sucked from the nozzles (10); and an evaluating means, which detects displacement of the movable section (16a) applied by the gas blown out or sucked from the nozzles (10) by an electric signal obtained through a probe (4a) and evaluates the characteristics of the fine structure (16) based on the detection results.
Abstract translation: 本发明提供一种能够进行各自自由度的特性的动态试验的检查装置，而不是与可动部直接接触的具有多个方向的自由度的精细结构。 精细结构检查装置设置有形成在基板（8）上的可动部（16a），并评价至少一个精细结构（16）的特性。 检查装置设置有与形成在精细结构（16）上的用于提取精细结构（16）的电信号的焊盘（8a）电连接的探针（4a）。 布置在所述精细结构（16）的可移动部分（16a）附近用于吹出或吸入气体的多个喷嘴（10）; 喷嘴流量控制部（3），用于控制要从喷嘴（10）吹出或吸出的空气的流量; 以及评估装置，其通过由探针（4a）获得的电信号检测由喷嘴（10）吹出或吸出的气体施加的可动部分（16a）的位移，并评估精细结构（16）的特性 ）基于检测结果。
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公开(公告)号：KR100856450B1
公开(公告)日：2008-09-04
申请号：KR1020067026039
申请日：2005-07-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/3205
Abstract: 본 발명은 관통 기판은 표면(11)과 이면(12)을 관통하는 관통 구멍(19)을 갖는 실리콘 기판(10)과, 관통 구멍(19)의 내벽면을 따라 설치된 실리콘 산화막(13)과, 실리콘 산화막(13)의 내벽면에 형성된 Zn 및 Cu의 층(14, 15)과, Zn 및 Cu의 층(14, 15)의 내벽면을 따라, 사이에 절연층(16)을 통해, Cu의 시드 층(17)으로부터 성장된 Cu의 도금층(18)을 갖는 것을 목적으로 한다. 그 결과 크로스토크에 의해 노이즈를 배제할 수 있는 관통 전극을 제공할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100793226B1
公开(公告)日：2008-01-10
申请号：KR1020067016697
申请日：2005-02-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 호시덴 가부시기가이샤
CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/04
Abstract: 서로 대향하여 설치된, 직사각형 형상의 진동판(11)과 평면형의 배면 전극(12)을 포함하는 용량 검지형 센서 소자(10)는, 진동판(11)의 각 변에 인접하여 설치되고, 진동판(11)에 인접하는 쪽에게 소정 길이의 변을 갖는 고정부(14)를 포함한다. 배면 전극(12)은, 고정부(14)에 의해서 진동판(11)과의 사이에 공간(13)을 지닌 상태로 지지된다. 배면 전극(12)의, 고정부(14)에 의해서 지지되지 않는, 인접하는 고정부 사이는 직선이며, 전체적으로 8각형 형상이다.
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公开(公告)号：KR100786156B1
公开(公告)日：2007-12-18
申请号：KR1020067004600
申请日：2005-07-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L23/32
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L21/486 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 인터포저의 제조 방법에 있어서는, 기판(10)의 이면(12)측의 관통 구멍(13)의 개구부에 시드층(14)을 형성하고, 그 시드층(14)을 기초로 도금용 전극층(15)을 형성하며, 그곳으로부터 기판(10)의 표면(11)측으로 도금층(16)을 형성하여 관통 구멍(13)을 매립한다. 그 결과, 제조 공정이 간단하고, 또한 관통 구멍의 내부에 블로우홀이 생기지 않는 인터포저의 제조 방법을 제공할 수 있다.
Abstract translation: 在内插器制造方法中，在基板10的背面12侧的贯通孔13的开口部形成晶种层14，镀敷电极层15 并且从其形成朝向衬底10的表面11侧以填充通孔13的镀层16。 结果，可以提供一种制造过程简单并且在通孔中不形成气孔的内插板的制造方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020070031867A
公开(公告)日：2007-03-20
申请号：KR1020067017917
申请日：2006-03-20
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시끼가이샤 오크테크
Abstract: 상부 기판(15)의 하면의 절연막(14)에 제1 배선층(16)을 설치하고, 제1 배선층(16)에 입체적으로 교차하는 제2 배선층(13)을 하부 기판(11) 상의 절연막(12) 상에 설치하여, 제1 배선층(16)에 캔틸레버(17)의 일단을 접속하고, 캔틸레버(17)의 타단을 제2 배선층(13)에 간격을 두고서 대면시킨다. 상부 기판(15) 상에는 관통 구멍(18)을 덮도록 열가소성 시트(19)를 배치하고, 열가소성 시트(19)를 가열한 핀(20)으로 캔틸레버(17)에 압박함으로써 변형시켜 캔틸레버(17)의 제2 배선층(13)에의 접속 상태를 유지하게 하여 스위치(10)를 닫는다.
스위치 어레이, 변형 부재, 이방성 도전성 시트-
公开(公告)号：KR100654472B1
公开(公告)日：2006-12-05
申请号：KR1020047003333
申请日：2002-09-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 야카베마사미
IPC: G01R27/26
CPC classification number: G01R27/2605 , G01D5/24 , G01N27/228 , H04R3/007
Abstract: A capacitor C and an impedance converter Hiz are included in a feedback circuit of the first operational amplifier OP1 in series; an electrode P1 of a capacitive sensor is connected to a connection point of the said capacitor and the converter via a signal line L. The signal line L is connected to a predetermined standard electric potential through resistance R3 whose resistance value is high. When the capacitor is included in the feedback circuit, the signal line becomes in a state of floating and a circuit operation becomes unstable, however, the signal line L is fixed at predetermined electric potential, and therefore, the operation becomes stable. It is acceptable to configure the impedance converter with a voltage follower and connect the resistance R3 to the output.
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公开(公告)号：KR1020060105686A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：KR1020060029929
申请日：2006-03-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: B81C99/005
Abstract: 본 발명은 간편한 방식으로 미소한 가동부를 갖는 미소 구조체를 고정밀도로 검사하는 프로브 카드 및 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
프로브 카드(6)는 스피커(2)와, 프로브 침(4)을 고정하는 회로 기판(100)을 포함하고, 회로 기판(100)에 스피커(2)가 적재된다. 그리고, 회로 기판(100)에는 개구 영역이 설치되고, 그 위에 스피커(2)를 적재함으로써 테스트 음파가 미소 구조체의 가동부에 대하여 출력된다. 그리고, 이 테스트 음파에 따라 가동부가 움직임으로써 변화하는 전기적 특성 변화를 프로브 침(4)에 의해 검출하여 미소 구조체의 특성을 검사한다.-
公开(公告)号：KR1020060060722A
公开(公告)日：2006-06-05
申请号：KR1020067004600
申请日：2005-07-05
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L23/32
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L21/486 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: An interposer producing method comprises the steps of forming a seed layer (14) in the opening in a through-hole (13) on the back (12) side of a base plate (10), forming a plating electrode layer (15) on the basis of the seed layer (14), and forming a plated layer (16) on the face (11) side of the base plate (10) to fill the through-hole (13). As a result, it is possible to provide an interposer producing method in which the production process is easy and no blowhole is produced in the through-hole.
Abstract translation: 一种中介层的制造方法，其特征在于，在基板（10）的背面（12）侧的贯通孔（13）的开口部形成种子层（14），形成电镀电极层（15） 种子层（14）的基础，在基板（10）的面（11）侧形成镀层（16）以填充通孔（13）。 结果，可以提供一种中间体制造方法，其中生产过程容易，并且在通孔中不产生气孔。
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40.发明授权대수형 아날로그/디지털 변환기, 대수형 아날로그/디지털변환 방법, 대수형 디지털/아날로그 변환기, 대수형디지털/아날로그 변환 방법 및 물리량 측정 시스템 失效对数A / D转换器，对数A / D转换方法，对数D / A转换器，对数D / A转换方法和用于测量物理量的系统
公开(公告)号：KR100525534B1
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：KR1020017013045
申请日：2001-02-13
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 야카베마사미
IPC: H03M1/12
Abstract: 기준 참조 전압(Vref0)을 아날로그 승산기(11)에서 n승하여, 참조전압(Vref1)을 얻는다. Vref1을 아날로그 승산기(12), (13)에서 순차적으로 n승하여 Vref2, Vref3을 얻는다. Vref0∼Vref3을 스위치군(38)∼(41)에서 제어하여, 센서 회로(2)의 입력 전압(Vin)과 함께 아날로그 승산기(14)에 입력한다. 아날로그 승산기(14)의 곱셈 결과(Vx)와 센서 회로(2)의 출력 전압(Vout)을 비교기(15)에서 순차 비교하여 디지털 출력값(Dout)을 얻는다. 아날로그 승산기(14)는 적당히 설정한다.
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