-
公开(公告)号：KR101542333B1
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：KR1020140191162
申请日：2014-12-26
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05G2/00
Abstract: 본발명은다중가스셀모듈을이용한극자외선빔 생성장치에관한것으로, 버퍼챔버의역할을하는보조가스셀을주 가스셀옆에추가하여진공챔버내에가스가직접유출되는것을막아서가스의확산속도를늦추어, 고진공을유지할수 있게함으로써보다고출력의연속적인극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV) 빔을생성할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用多气体单元模块产生极紫外光束的装置。 用作缓冲室的副气室放置在主气体单元旁边，以防止气体从真空室直接流出并降低气体的扩散速度。 因此，可以保持高真空状态，并且能够连续生成具有高功率的极紫外（EUV）。
-
公开(公告)号：KR101528332B1
公开(公告)日：2015-06-15
申请号：KR1020140002963
申请日：2014-01-09
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01J3/0297 , G01J3/28 , G03F7/70516 , G03F7/70575 , G03F7/70616
Abstract: 본발명은극자외선발생및 분광기캘리브레이션장치및 그방법에관한것으로, 극자외선노광기술, 마스크검사기술에이용되는극자외선광의스펙트럼의파장을정확하게측정할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于极紫外线发生和光谱仪校准的装置和方法，并且具有精确测量在极紫外曝光技术中使用的极紫外光的光谱波长和掩模检查技术的优点。 用于极紫外线生成和光谱仪校准的装置包括：用于产生极紫外光的装置; 极紫外线发生模块; 和极紫外光谱仪校准装置。
-
公开(公告)号：KR101322909B1
公开(公告)日：2013-10-29
申请号：KR1020120135482
申请日：2012-11-27
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/027 , G03F1/44
CPC classification number: H01L21/0274 , G03F1/44 , G03F7/70258 , H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A camera image alignment system and a method thereof are provided to easily arrange diffracted light by rotating a charged coupled device. CONSTITUTION: A light source part emits an extreme ultra-violet (EUV) beam. An optical module reflects the EUV beam to a measurement target mask. A CCD camera (300) obtains a diffraction image reflected from the measurement target mask. An image process module (400) arranges diffracted light according to the order of brightness. A camera driving module (600) rotates the CCD camera. [Reference numerals] (400) Image process module; (500) Control device; (600) Camera driving module; (700) Diffraction light position storing module
Abstract translation: 目的：提供照相机图像对准系统及其方法，以便通过旋转电荷耦合器件来容易地布置衍射光。 构成：光源部分发射极紫外（EUV）光束。 光学模块将EUV光束反射到测量目标掩模。 CCD相机（300）获得从测量目标掩模反射的衍射图像。 图像处理模块（400）根据亮度的顺序排列衍射光。 相机驱动模块（600）旋转CCD相机。 （附图标记）（400）图像处理模块; （500）控制装置; （600）相机驱动模块; （700）衍射光位置存储模块
-
公开(公告)号：KR101288120B1
公开(公告)日：2013-07-19
申请号：KR1020120009553
申请日：2012-01-31
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H04N13/04
Abstract: 본 발명은 3차원 디스플레이 시스템에 관한 것으로, 3차원 공간상에서 디스플레이패널의 수평 및 수직방향에 대한 최적시청영역 영상에 카메라를 통해 획득된 관찰자의 3차원 영상 및 위치 정보데이터를 합성하여 관찰자가 시각적으로 알 수 있도록 디스플레이패널에 표시해줌으로써, 관찰자가 시각적으로 최적시청영역을 용이하게 확인할 수 있을 뿐만 아니라 관찰자가 최적시청영역 위치로 이동할 수 있도록 유도해줄 수 있다.
-
公开(公告)号：KR101238824B1
公开(公告)日：2013-03-04
申请号：KR1020110105963
申请日：2011-10-17
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H04N13/04
CPC classification number: H04N2013/0092
Abstract: PURPOSE: An interactive three-dimensional display system is provided to easily and visually confirm an optimum viewing area by displaying an optimum viewing area image on the bottom of the viewing space. CONSTITUTION: A control unit(200) receives display panel information, display information, and view point information from a three-dimensional glassless image display device(100). The control unit obtains viewing zone distribution data in a horizontal viewing range on a predetermined viewing plane by calculating the entire viewing zone width by a point light source. A beam projector(300) outputs an optimum viewing area image on the bottom using the viewing zone distribution data.
Abstract translation: 目的：提供交互式三维显示系统，通过在观看空间底部显示最佳观看区域图像，轻松，可视地确认最佳观看区域。 构成：控制单元（200）从三维无玻璃图像显示装置（100）接收显示面板信息，显示信息和视点信息。 控制单元通过点光源计算整个观看区域宽度，在预定观看平面上的水平观看范围内获得观看区域分布数据。 光束投影仪（300）使用观看区域分布数据在底部输出最佳观看区域图像。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101128474B1
公开(公告)日：2012-03-23
申请号：KR1020100031759
申请日：2010-04-07
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/203
Abstract: 본 발명은 측면 방출형 증발원, 그 제작방법 및 증발기에 관한 것이다.
진공속에서 도가니를 가열하여, 도가니에서 방출되는 재료를 기판에 증착하는 방법을 사용하는 증발시스템에서, 도가니와 발열부로 구성되고 도가니의 측면에 형성된 방출구를 갖는 증발원, 그 증발원의 제작방법 및 증발기에 관한 것이다.
본 발명에서는 증발장치용 PBN 도가니와, 상기 도가니의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부와, 상기 도가니의 측면에 형성된 방출구와, 상기 도가니의 상부를 덮는 PBN 뚜껑과, 상기 뚜껑의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부를 포함하는 증발원, 그 제작 방법 및 증발기가 제시된다.-
公开(公告)号：KR1020110112584A
公开(公告)日：2011-10-13
申请号：KR1020100031759
申请日：2010-04-07
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/203
CPC classification number: C23C14/28 , C23C14/243
Abstract: 본 발명은 측면 방출형 증발원, 그 제작방법 및 증발기에 관한 것이다.
진공속에서 도가니를 가열하여, 도가니에서 방출되는 재료를 기판에 증착하는 방법을 사용하는 증발시스템에서, 도가니와 발열부로 구성되고 도가니의 측면에 형성된 방출구를 갖는 증발원, 그 증발원의 제작방법 및 증발기에 관한 것이다.
본 발명에서는 증발장치용 PBN 도가니와, 상기 도가니의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부와, 상기 도가니의 측면에 형성된 방출구와, 상기 도가니의 상부를 덮는 PBN 뚜껑과, 상기 뚜껑의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부를 포함하는 증발원, 그 제작 방법 및 증발기가 제시된다.-
公开(公告)号：KR100798085B1
公开(公告)日：2008-01-28
申请号：KR1020060091748
申请日：2006-09-21
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G03H1/0443
Abstract: An irradiation area and regeneration area expanding system and a method in a reflection type digital holography microscope system are provided to enlarge a regeneration area by expanding an irradiation area of the beam irradiated to an object with maintaining parallelism of the reference beam. A reflection type digital holography microscope system comprises a laser(102) generating the beam by using a coherent light source; a beam diffuser(104) diffusing the beam generated by the laser; a beam splitter(114) splitting the diffused beam into an object beam and a reference beam; an objective lens(116) passing the object beam and irradiating the object beam on an object(118); a first convex lens(106) making the beam generated by the laser, into a parallel beam; a second convex lens(108) for regulating an irradiation area of the object beam irradiated to the object, according to the position relation with the objective lens; a parallel beam generating unit(110) making the parallel beam by maintaining the reference beam; and a CCD(112) recording interference patterns by the object beam irradiated to the object and scattered, and the reference beam incident with passing through the parallel beam generating unit.
Abstract translation: 提供照射区域和再生区域扩展系统以及反射型数字全息显微镜系统中的方法，以通过扩大照射到对象的光束的照射面积来扩大再生区域，同时保持基准光束的平行度。 反射型数字全息显微镜系统包括通过使用相干光源产生光束的激光器（102）; 扩散由激光产生的光束的光束漫射器（104）; 分束器（114）将扩散光束分解为物体光束和参考光束; 物镜（116）使物体光束通过并将物体光束照射在物体（118）上; 将由激光器产生的光束制成平行光束的第一凸透镜（106） 第二凸透镜，用于根据与所述物镜的位置关系来调节照射到所述物体的物体束的照射区域; 平行光束产生单元，通过维持参考光束来形成平行光束; 以及CCD（112），其通过被照射到物体上的物体束来记录干涉图案并散射，以及通过并行光束产生单元入射的参考光束。
-
公开(公告)号：KR100524580B1
公开(公告)日：2005-10-31
申请号：KR1020030071073
申请日：2003-10-13
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G02B6/12
CPC classification number: G02F1/0955 , G02B6/2813 , G02F2001/212 , G02F2001/217
Abstract: 본 발명은 다중모드 간섭형(Multi-Mode Interference : MMI) 구조 및 자기 광학 물질로 이루어진 클래딩층 이용하여 광 진행시 발생하는 불필요한 반사광들을 제거하고 단길이 집적화가 가능한 MMI 구조의 집적 광 아이솔레이터를 구현하는 것으로서, 광의 진행방향에 따라 광학적 성질들이 변화하는 비가역적 위상변위 효과를 이용한다.
광도파로 형태의 광 아이솔레이터를 구현하기 위해서는 입력되는 광을 동일한 파워를 가지는 두개의 광도파로로 나눠야 한다. 즉, 광 아이솔레이터 소자의 길이를 줄이기 위해서는 입력광을 두개의 도파로로 분리하는데 필요한 길이가 짧아져야 한다. MMI 구조의 광도파로는 입력광을 두개의 도파로로 나누는데 필요한 길이가 마하 젠더 형태의 광도파로보다 훨씬 짧기 때문에 광 아이솔레이터 소자의 길이를 줄일 수 있게 된다. 또한 MMI 구조는 제작상의 허용오차가 크므로 제작이 용이한 장점을 가진다.-
公开(公告)号：KR100492480B1
公开(公告)日：2005-05-30
申请号：KR1020020065155
申请日：2002-10-24
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G02F3/00
Abstract: 본 발명은 파장가변 전광 NOR 논리소자의 구현방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 EMILD 소자의 구조중 EAM 영역에 순바이어스를 인가하여 SOA의 특성인 이득포화를 유도함으로써 전광 NOR 논리소자를 구현하는 방법에 관한 것이다.
본 발명의 논리소자 구현방법은, EAM 영역의 전면에 AR 코팅을 하는 제1단계; DFB-LD 영역의 후면에 HR 코팅을 하는 제2단계; 상기 EAM 영역과 DFB-LD 영역이 서로 연결된 EMILD 소자의 EAM 영역에 두 입력신호 A와 B를 합쳐서 주입하여 이득포화를 일으키는 제3단계; 및 상기 DFB-LD 영역에서 나오는 CW 신호가 EAM 영역에 주입되어 EAM 영역에서 이득포화에 의해 변조되는 제4단계;를 포함하여 NOR의 논리를 가지고 출력되는 것을 특징으로 한다.
본원발명에 의하면, 파장가변 전광 NOR 논리소자를 구현하면서도 집적소자를 이용하였으므로, 종래의 구성보다 간단하여 시스템의 구성이 용이하고, 결합손실을 줄일 수 있어 증폭기와 같은 시스템 구성요소가 필요없다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
104
records
(took 0.043 seconds)
