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公开(公告)号：KR101117199B1
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020090124537
申请日：2009-12-15
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70716 , G03F7/24 , G03F7/703 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , G03F7/70825 , G03F7/70841 , H01L21/68
Abstract: 본발명은자기부상원리로원통을부상하여비접촉으로회전및 축방향으로이송시키면서원통표면에직접나노미터크기의패턴을새길수 있는새로운형태의스테이지와원통표면에빛을조사하는광원을구현함으로써, 나노미터크기의오차로위치를능동제어할수 있는등 기계가공에의한오차및 외란을실시간적으로보정할수 있고, 결국대형크기의원통표면에나노미터크기의패턴을효율적으로가공할수 있는한편, 스테이지와조합되어광원과원통표면사이를부분적으로진공환경이유지되도록하는차동진공수단을구현함으로써, X선이나전자빔, 그리고극자외선(EUV)과같은광원을적용할수 있는원통형자기부상스테이지및 노광장치를제공한다.
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公开(公告)号：KR101087584B1
公开(公告)日：2011-11-29
申请号：KR1020090123745
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H02K21/12 , G03F7/18 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18
Abstract: PURPOSE: A coating apparatus for a cylindrical substrate using magnetic levitation is provided to perform thin coating with high accuracy over the area of the cylindrical structure by rotating a substrate fixing unit in contactless through magnetic levitation. CONSTITUTION: A base unit(20) comprises a coil assembly. The base unit supports a substrate fixing unit from a lower part without contacting it and is rotatable. A magnetic levitating type substrate fixing unit comprises a magnetism assembly(12) which is arranged on the coil assembly. A cylindrical substrate(1) is mounted in the magnetic levitating type substrate fixture A nozzle unit(30) ejects a coating solution through a nozzle on the surface of the cylindrical substrate which is magnetically levitated and rotated.
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公开(公告)号：KR1020110058357A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090115109
申请日：2009-11-26
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: PURPOSE: A contactless imprinting apparatus is provided to reduce a failure rate by preventing dust resulting from the friction of bearings. CONSTITUTION: A contactless imprinting apparatus(1) comprises a cylindrical mold, a pair of radial bearings(30), a pair of thrust bearings(40), and a pair of feed rollers(13). The cylindrical mold rotates in order to form a pattern on a flexible substrate. The radial bearings control a radial motion with an electromechanical force. The thrust bearings are provided on the right and left sides in the direction of the rotary axis of the cylindrical mold. The feed rollers form tension between the cylindrical mold and the flexible substrate. Each stator of the radial bearings comprises an upper first stator part(31) and a lower second stator part(32) separated from the first stator part.
Abstract translation: 目的：提供一种非接触式压印装置，通过防止轴承摩擦产生的灰尘来降低故障率。 构成：非接触式压印装置（1）包括圆柱形模具，一对径向轴承（30），一对推力轴承（40）和一对进给辊（13）。 圆柱形模具旋转以在柔性基底上形成图案。 径向轴承通过机电力控制径向运动。 推力轴承沿圆柱形模具的旋转轴线的方向在左右两侧设置。 进料辊在圆柱形模具和柔性基材之间形成张力。 径向轴承的每个定子包括与第一定子部分分离的上部第一定子部分（31）和下部第二定子部分（32）。
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公开(公告)号：KR1020110058344A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：KR1020090115095
申请日：2009-11-26
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/677 , H01L21/20 , B65G49/06 , C23C14/00
CPC classification number: H01L21/67173 , B65G49/065 , H01L21/6723 , H01L21/67709 , H01L21/67784
Abstract: PURPOSE: A horizontal contactless deposition apparatus is provided to be easily loaded on a base by a roller of a load lock chamber, thereby increasing the efficiency of a deposition process. CONSTITUTION: A deposition chamber(8) performs a deposition process. A conveyor(9) conveys a substrate in the deposition chamber. A base(10) is formed on the bottom of the deposition chamber. A first support unit is made of a permanent magnet(60) and a magnetic plate(50). A second support unit is formed between the base and the conveyor.
Abstract translation: 目的：提供一种水平非接触式沉积装置，通过负载锁定室的辊容易地装载在基座上，从而提高沉积工艺的效率。 构成：沉积室（8）执行沉积工艺。 输送机（9）在沉积室中输送基板。 基底（10）形成在沉积室的底部。 第一支撑单元由永磁体（60）和磁性板（50）制成。 第二支撑单元形成在基座和输送机之间。
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公开(公告)号：KR100835201B1
公开(公告)日：2008-06-05
申请号：KR1020070071014
申请日：2007-07-16
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: A maglev type clean lift is provided to reduce a manufacturing cost and to reduce total weight and to enhance reliability by reducing the number of magnets in a non-contact supporting manner thereof. A maglev type clean lift includes a plurality of magnets, a plurality of guide rails(19,20), a plurality of guide controllers, a plurality of gap sensors, a frame, a loading case, and a rope. The guide rails are installed in a vertical direction. A plurality of magnet modules are installed at a constant gap from the guide rails. Two magnet modules are installed at each corner of the guide rails in order to apply simultaneously guiding force thereof to x and y directions. The magnets include a plurality of U-shaped magnetic cores(11,13,15,17) and a plurality of magnetic coils(12,14,16,18) wound around the U-shaped magnetic cores.
Abstract translation: 提供磁悬浮式清洁升降机以减少制造成本并减少总重量并通过以非接触支撑方式减少磁体的数量来提高可靠性。 磁浮式清洁升降机包括多个磁体，多个导轨（19,20），多个引导控制器，多个间隙传感器，框架，装载壳体和绳索。 导轨沿垂直方向安装。 多个磁体模块以与导轨恒定的间隔安装。 两个磁体模块安装在导轨的每个角上，以便同时将其引导力施加到x和y方向。 磁体包括多个U形磁芯（11,13,15,17）和缠绕在U形磁芯上的多个磁性线圈（12,14,16,18）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050091126A
公开(公告)日：2005-09-15
申请号：KR1020040016212
申请日：2004-03-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: B60L13/04
Abstract: 본 발명은 자력을 이용해 선로 위에서 열차와 같은 이송수단을 이송시키기 위한 자기부상 이송 시스템에 관한 것으로, 특히 측면으로 큰 안내력이 요구되는 시스템을 구현하고자 하는 안내력을 증가시킨 자기부상 이송 시스템에 관한 것이다.
본 발명에서는 자극표면에 2개 이상의 다수 치(齒)를 가진 자기 부상 전자석을 구현하므로써, 측면 방향에 큰 안내력이 요구되는 시스템에 적용할 수 있는 자기부상 이송시스템을 제공하고자 하며, 또한 정격 공극에서는 영구자석에 의해 부상력을 발생시키고, 부하변동에 따른 제어전류만 전자석 권선에서 공급하도록 하여 자속을 얻도록 하는 영구자석과 전자석 결합 부상 시스템을 제안하여 시스템을 경량화, 간략화할 수 있고 에너지가 적게 소비되는 자기 부상 이송 시스템을 구현할 수 있도록 한다.-
公开(公告)号：KR100412301B1
公开(公告)日：2003-12-31
申请号：KR1020020013521
申请日：2002-03-13
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H04Q1/18
Abstract: PURPOSE: A duplex control method in a hierarchical control system and an apparatus therefor are provided to drive a large scale power converting apparatus at a rated capacity without reducing the capacity of the large scale power converting apparatus although failure is generated in a random controller of a lower layer under the hierarchical control system of the large scale power converting apparatus. CONSTITUTION: A plurality of optical receiving circuit units(301,302) receive HB(Heart Beat) signals and firing pulse signals from unit controllers(101,102), respectively. An EPLD(Erasable Programmable Logic Device)(303) receives the HB signals and the firing pulse signals, which are received through the optical receiving circuit units(301,302), and judges whether the unit controller(101,102) are normal by the period measurement of the HB signals. If the unit controller(101,102) are normal, the EPLD(303) transmits the firing pulse signals inputted from the unit controllers(101,102), to corresponding unit controllers(101,102) again. If the random unit controller fails, the EPLD simultaneously transmits the firing pulse signal inputted from the normal unit controller, to the abnormal unit controller and the normal unit controller.
Abstract translation: 目的：提供一种分级控制系统中的双工控制方法及其设备，以在不降低大规模功率转换设备的容量的情况下以额定容量驱动大规模功率转换设备，尽管在随机控制器中产生故障 在大型电力转换设备的分级控制系统下的下层。 构成：多个光接收电路单元（301,302）分别接收来自单元控制器（101,102）的HB（心跳）信号和触发脉冲信号。 EPLD（可擦写可编程逻辑器件）（303）接收通过光接收电路单元（301,302）接收的HB信号和触发脉冲信号，并且通过周期测量来判断单元控制器（101,102）是否正常 HB信号。 如果单元控制器（101,102）正常，则EPLD（303）将从单元控制器（101,102）输入的点火脉冲信号再次发送到相应的单元控制器（101,102）。 如果随机单元控制器发生故障，则EPLD将从正常单元控制器输入的触发脉冲信号同时发送到异常单元控制器和正常单元控制器。
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公开(公告)号：KR100300672B1
公开(公告)日：2001-11-30
申请号：KR1019980059300
申请日：1998-12-28
IPC: F01D25/28
Abstract: 본 발명은 자기 베어링을 이용한 발전기 및 터빈의 회전축 지지장치에 관한 것으로서, 터빈 블레이드(10)의 일측단에 일체로 연결되어 있는 회전축(20); 상기 회전축(20)의 타측단에 구비되어 축 방향 하중을 지지하되, 회전자(32)와 고정자(34)로 구성되는 스러스트(thrust) 자기 베어링(30); 상기 회전축(20)의 회전에 의한 기계적 에너지로부터 전기적 에너지를 발생시키되, 발전기 회전자(42)와 발전기 고정자(44)로 구성되는 발전기(40); 상기 발전기(40)의 양측에 각각 구비되어 축의 수직방향 하중을 지지하되, 회전자(52)와 고정자(54)로 구성되는 레이디얼(radial) 자기 베어링(50); 상기 회전자(52) 및 고정자(54) 간의 공극 크기를 측정하는 공극 센서(60); 및 상기 공극 센서(60)에 의해 감지된 공극의 크기에 따라, 상기 레이디얼 자기 베어링(50)의 상기 고정자(54) 권선 및 상기 스러스트 자기 베어링(30)의 상기 고정자(54)에 인가되는 전류의 크기를 가변하는 제어부(70)를 포함하여 구성되어, 별도의 윤활장치 없이도 마모의 염려없이 장시간 사용할 수 있고, 초고속의 회전체에도 사용할 수 있으며, 공진특성도 실시간으로 제어할 수 있도록 한 매우 유용한 발명인 것이다.
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公开(公告)号：KR101531666B1
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：KR1020130109426
申请日：2013-09-12
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은가속이온을이용한저온플라즈마잠입이온으로다양한필름의표면을가공처리하는장치및 방법에관한것이다. 본발명은필름상에표면평탄도및 증착면의선택적높이조절을위한플라즈마잠입이온가공장치와방법을제공하며, 본발명의장치와방법을적용함으로써필름을후 공정에맞게진공상태에서연마하는것이가능하므로대량생산에용이하며, 여러다양한분야, 특히기능성또는디스플레이분야필름에사용이가능하다.
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公开(公告)号：KR1020150030336A
公开(公告)日：2015-03-20
申请号：KR1020130109426
申请日：2013-09-12
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은가속이온을이용한저온플라즈마잠입이온으로다양한필름의표면을가공처리하는장치및 방법에관한것이다. 본발명은필름상에표면평탄도및 증착면의선택적높이조절을위한플라즈마잠입이온가공장치와방법을제공하며, 본발명의장치와방법을적용함으로써필름을후 공정에맞게진공상태에서연마하는것이가능하므로대량생산에용이하며, 여러다양한분야, 특히기능성또는디스플레이분야필름에사용이가능하다.
Abstract translation: 本发明涉及使用加速离子处理具有低温渗透等离子体离子的各种膜的表面的装置和方法。 本发明提供了一种等离子体渗透离子处理装置和薄膜上的蒸发表面的表面平坦度和选择性高度调节方法。 通过应用本发明的装置和方法，本发明对于批量生产是有用的，因为可以根据方法对膜进行抛光，并且可以在各种领域的膜中获得，特别是例如 功能或显示领域。
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