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公开(公告)号：KR101353348B1
公开(公告)日：2014-01-24
申请号：KR1020120041339
申请日：2012-04-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B82B3/00 , B01J19/08 , C23C16/515
Abstract: 본 발명은 나노 입자 합성 장치 및 나노 입자 합성 방법을 제공한다. 이 나노 입자 합성 장치는 유전체 튜브, 유전체 튜브의 주위에 감긴 전자기 부양 코일, 전자기 부양 코일에 의하여 부양되고 가열되어 증발하고 전자기 부양 코일의 중심 영역에 배치된 도전성 원료 물질, 전자기 부양 코일에 전력을 공급하는 부양 전원, 유전체 튜브의 일단에 배치되고 유전체 튜브 내부에 제1 가스를 공급하는 제1 가스 공급부, 유전체 튜브의 타단에 연결된 공정 챔버, 공정 챔버의 내부에 배치된 RF 전극, 및 RF 전극에 RF 전력을 공급하여 플라즈마를 형성하는 공정 RF 전원을 포함한다. 부양 코일에 의하여 가열된 도전성 원료 물질이 증발하여 생성된 제1 나노입자는 공정 챔버로 이동하여 플라즈마에 의하여 처리된다.
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公开(公告)号：KR101352496B1
公开(公告)日：2014-01-24
申请号：KR1020120043580
申请日：2012-04-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/24 , H05H1/46 , H01L21/205
Abstract: 본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법을 제공한다. 이 플라즈마 발생 장치는 전기적으로 접지된 통 형상의 방전 챔버, 방전 챔버 내에 배치된 적어도 하나의 전자방출 수단, 및 방전 챔버의 중심 영역에 배치되고 양의 제1 전압이 인가된 중심 전극을 포함한다.
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33.发明授权수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 내부압력 및 진공도 측정방법 有权方法和用于测量内部压力的装置，密封组件的真空包括多孔或弹性材料
公开(公告)号：KR101256051B1
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：KR1020110096964
申请日：2011-09-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재 내부의 압력 및 진공도 측정 장치 그리고 그 장치를 이용한 압력 및 진공도 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법에 있어서, 밀폐된 용기 내부공간에 수축성 다공성물질과 상기 수축성 다공성물질을 수축된 상태로 유지시키는 유연한 재질의 포장재를 갖는 제1밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제1초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제1밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제1압력 변화량을 측정하는 단계; 상기 용기에서 상기 제1밀봉재 샘플을 제거하고, 상기 용기의 내부공간에 상기 제1밀봉재 샘플과 동일한 내체적와 내부압력을 갖는 제2밀봉재 샘플을 투입하는 단계; 압력조절수단에 의해 상기 용기 내부 압력이 설정된 제2초기압력이 되도록 하는 단계; 절개 수단에 의해 상기 제2밀봉재 샘플을 절개하는 단계; 압력센서가 상기 용기 내부의 제2압력 변화량을 측정하는 단계; 및 분석수단이 상기 제1압력 변화량 및 상기 제2압력변화량으로부터 상기 제1밀봉재 샘플과 상기 제2밀봉재 샘플의 내부압력 및 내체적을 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수축성 다공성 물질을 밀봉한 유연한 밀봉재의 내부 압력 측정방법 및 장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101235796B1
公开(公告)日：2013-02-21
申请号：KR1020100093538
申请日：2010-09-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 투시창 세정 장치, 투시창 세정 방법, 및 공정 모니터링 방법을 제공한다. 이 투시창 세정 장치는 투시창을 포함하는 진공 용기, 진공 용기의 내부 또는 외부에 배치되어 진공 용기의 내부에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 수단, 투시창의 외부에 배치된 전극, 및 전극에 전력을 인가하는 전원을 포함한다. 플라즈마는 투시창을 충격하여 투시창의 내부 측면에 부착된 부산물을 제거한다.
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公开(公告)号：KR101211650B1
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：KR1020100117206
申请日：2010-11-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은그래핀제조방법, 그래핀제조장치, 및그래핀을제공한다. 이그래핀제조방법은처리용기내에시료를제공하는단계, 시료를공중부양하는단계, 및공중부양된시료의모든표면에그래핀을성장시키는단계를포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110064349A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：KR1020090120897
申请日：2009-12-08
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A thermal conductivity measuring device is provided to minimize volume by using thermoelectric elements. CONSTITUTION: A thermal conductivity measuring device comprises a lower temperature keeping unit, an upper temperature keeping unit, a heater, a lower heat flow measurement unit(250) and an upper heat flow measurement unit(270). The lower temperature keeping unit is arranged on the upper temperature keeping unit. The heater is arranged on the lower temperature keeping unit and generates heat flow. The lower heat flow measurement unit is arranged on the heater and measures the heat flow delivered to a work piece. The heater and lower heat flow measurement unit are composed of thermoelectric elements.
Abstract translation: 目的：提供热导率测量装置，通过使用热电元件使体积最小化。 构成：热导率测量装置包括较低温度保持单元，上保温单元，加热器，下热流测量单元（250）和上热流测量单元（270）。 较低温度保持单元布置在上部温度保持单元上。 加热器布置在较低温度保持单元上并产生热流。 下部热流测量单元布置在加热器上并测量传递到工件的热流。 加热器和下热量测量单元由热电元件组成。
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公开(公告)号：KR1020110009849A
公开(公告)日：2011-01-31
申请号：KR1020090067270
申请日：2009-07-23
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A vacuum pump, an operation method thereof and a gas transport unit are provided to easily implement a vacuum condition by being placed near a container to be evacuated. CONSTITUTION: A vacuum pump comprises a main valve(16), an exhaust valve(18) and a thermal pumping part. The main valve is connected to a main container. The exhaust valve discharges the gas from the main container. The thermal pumping part is arranged between the main valve and the exhaust valve and includes a pumping container(10) and a temperature control unit(12) which heats and cools the pumping container.
Abstract translation: 目的：提供一种真空泵及其操作方法和气体输送单元，通过放置在要抽真空的容器附近来容易地实现真空状态。 构成：真空泵包括主阀（16），排气阀（18）和热泵送部件。 主阀连接到主容器。 排气阀从主容器排出气体。 热泵部分设置在主阀和排气阀之间，并包括一个泵送容器（10）和一个加热和冷却泵送容器的温度控制单元（12）。
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公开(公告)号：KR1020100016911A
公开(公告)日：2010-02-16
申请号：KR1020080076562
申请日：2008-08-05
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/32183 , H01J37/3211 , H01J37/32532 , H01J37/32669 , H01J2237/33 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2001/4682
Abstract: PURPOSE: A chamber inner type plasma generating device is provided to generate a high density plasma by minimizing a loss due to a skin layer. CONSTITUTION: A first power source part(152) supplies an electric power. A first matching circuit part(142) is serially connected to the first power source part. A transformer part(130) comprises a first coil(132) and a second coil(134). A chamber part(100) confines a plasma. An induction coil part(122) is arranged inside the chamber part. The first coil is electrically connected to the first matching circuit part. The second coil is electrically connected to the induction coil part. The transformer part reduces a voltage applied in the induction coil part. The transformer part increases a current applied in the induction coil part.
Abstract translation: 目的：提供室内型等离子体产生装置，以通过最小化由皮肤层引起的损失来产生高密度等离子体。 构成：第一电源部分（152）提供电力。 第一匹配电路部分（142）串联连接到第一电源部分。 变压器部件（130）包括第一线圈（132）和第二线圈（134）。 室部分（100）限制等离子体。 感应线圈部分（122）布置在腔室部分的内部。 第一线圈电连接到第一匹配电路部分。 第二线圈电连接到感应线圈部分。 变压器部分减小施加在感应线圈部分中的电压。 变压器部分增加施加在感应线圈部分中的电流。
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公开(公告)号：KR100805879B1
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：KR1020060061055
申请日：2006-06-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/02 , H01L21/66 , H01L21/3065
CPC classification number: H05H1/0062
Abstract: 본 발명은 플라즈마 전자밀도 및 전자온도 모니터링 장치 및 방법에 관한 것으로, 일련되는 주파수 대역의 전자파가 연속 송출되는 전자파 발생기; 상기 전자파 발생기의 전자파가 반응용기 내의 플라즈마에 대해 상관 관계를 갖도록 상기 반응용기 내에 접속되고 상기 전자파 발생기에 전기적으로 연결되어 전자파를 송출하는 전자파 송수신기; 상기 전자파 송수신기로부터 수신되는 전자파의 주파수를 분석하도록 상기 전자파 송수신기에 전기적으로 연결되는 주파수 분석기; 및 상기 전자파의 주파수 대역별 송출 지령과, 상기 분석 데이터에 기초한 상기 전자밀도 및 전자온도와 당해 각 전자파의 상관관계 연산을 위해 상기 전자파 발생기 및 주파수 분석기에 전기적으로 연결되는 컴퓨터;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
플라즈마, 전자밀도, 전자온도, 컷오프, 주파수, 반도체-
公开(公告)号：KR101916702B1
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：KR1020170140397
申请日：2017-10-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/32
Abstract: 본발명의외부정자기장측정장치및 측정방법을제공한다. 이외부정자기장측정방법은, 외부정자기장하에서플라즈마내부에서상기외부정자기장과나란히연장되는한 쌍의제1 방사안테나와제1 수신안테나를구비하는제1 컷오프프로브를삽입하는단계; 상기제1 컷오프프로브를회전시키어플라즈마공명주파수가최대가되는제1 각도를결정하는단계; 외부정자기장하에서플라즈마내부에서상기외부정자기장에수직하게연장되는한 쌍의제2 방사안테나와제2 수신안테나를구비한제2 컷오프프로브를삽입하는단계; 상기제2 컷오프프로브를회전시키어플라즈마공명주파수가최소가되는제2 각도를결정하는단계; 및상기제1 각도에서측정된제1 플라즈마공명주파수와상기제2 각도에서측정된제2 플라즈마공명주파수를이용하여상기외부정자기장의세기를산출하는단계를포함한다.
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