公开(公告)号：EP2021528A4

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：EP07761374

申请日：2007-04-26

Applicant: ADVANCED TECH MATERIALS

Inventor： DIMEO FRANK JR ,  DIETZ JAMES ,  OLANDER W KARL ,  KAIM ROBERT ,  BISHOP STEVEN E ,  NEUNER JEFFREY W ,  ARNO JOSE I ,  MARGANSKI PAUL J ,  SWEENEY JOSEPH D ,  ELDRIDGE DAVID ,  YEDAVE SHARAD ,  BYL OLEG ,  STAUF GREGORY T

IPC: C25B7/00

CPC classification number: C23C14/564 ,  C23C16/4405 ,  H01J37/32412 ,  H01J37/32862

公开(公告)号：EP1933992A4

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：EP06813979

申请日：2006-08-30

Applicant: ADVANCED TECH MATERIALS

Inventor： OLANDER KARL M ,  ARNO JOSE I ,  KAIM ROBERT

IPC: B05D3/06 ,  C23C14/14 ,  C23C14/24 ,  C23C14/46 ,  C23C14/48 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  H01L21/425

CPC classification number: H01L21/265 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/082 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/2658