-
公开(公告)号：FR2906238B1
公开(公告)日：2008-12-19
申请号：FR0653975
申请日：2006-09-27
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE , ST MICROELECTRONICS SA
Inventor： CASSET FABRICE , DURAND CEDRIC , ANCEY PASCAL
-
公开(公告)号：FR2905208A1
公开(公告)日：2008-02-29
申请号：FR0653488
申请日：2006-08-28
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA
Inventor： VOLATIER ALEXANDRE , ANCEY PASCAL , DUBUS BERTRAND
IPC: H03H9/58
Abstract: La présente invention concerne un filtre à résonateurs à ondes de Lamb couplés (100, 200, 300, 400) comportant :- au moins un premier résonateur à ondes de Lamb (106) comprenant au moins une première couche résonante (108) et au moins une première (102) et une seconde (103) électrodes disposées sur deux faces opposées de la première couche résonante,- au moins un second résonateur à ondes de Lamb (107) comprenant au moins une seconde couche résonante (109) et au moins une troisième (104) et une quatrième (105) électrodes disposées sur deux faces opposées de la seconde couche résonante.Au moins une desdites faces de la première couche résonante appartient à un plan parallèle à une desdites faces de la seconde couche résonante et passe entre deux électrodes (104, 105) du second résonateur, les première et seconde couches étant couplées acoustiquement par des moyens de couplage acoustique (110, 111).
-
公开(公告)号：FR2888994B1
公开(公告)日：2007-10-12
申请号：FR0507768
申请日：2005-07-21
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE , ST MICROELECTRONICS SA
Inventor： VIALA BERNARD , COUDERC SANDRINE , ANCEY PASCAL
-
公开(公告)号：FR2857952B1
公开(公告)日：2005-12-16
申请号：FR0309106
申请日：2003-07-25
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA
Inventor： MONFRAY STEPHANE , ANCEY PASCAL , SKOTNICKI THOMAS , SEGUENI KARIM
Abstract: The resonator has a monocrystalline silicon substrate provided with an active zone surrounded by a shallow trench isolation region (STI). A vibrating beam is anchored on the region by one of free ends (14, 16) and comprises a monocrystalline silicon median part (12). A control electrode (E) is placed above the beam and is supported on the active zone. The median part is separated from the active zone and the electrode. An independent claim is also included for a method of manufacturing an electromechanical resonator.
-
公开(公告)号：FR2863789A1
公开(公告)日：2005-06-17
申请号：FR0314567
申请日：2003-12-12
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA
Inventor： BOUCHE GUILLAUME , CARUYER GREGORY , ANCEY PASCAL
Abstract: An acoustic resonator device (1) comprises an active element (6) and a support. The support includes a membrane (5) and the active element provided with at least one piezoelectric layer (10) is surmounted by a multi-layer assembly (12) provided with at least three layers (13, 14, 15) of which at least one has a strong acoustic impedance and at least one a low acoustic impedance.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：FR2852165A1
公开(公告)日：2004-09-10
申请号：FR0302817
申请日：2003-03-06
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA , COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE , CARUYER GREGORY , ANCEY PASCAL , BOUCHE GUILLAUME
IPC: H03H3/04 , H03H9/17 , H03H9/15 , H01L41/083 , H01L41/22
-
公开(公告)号：FR2848339A1
公开(公告)日：2004-06-11
申请号：FR0215370
申请日：2002-12-05
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA
Inventor： BOUCHE GUILLAUME , ANCEY PASCAL , FROMENT BENOIT
Abstract: The adhesion of a first element (1), of which at least a part of the surface is coated with silicon, on a second element (2), of which at least a part of the surface is coated with nickel, incorporates an adhesion stage effected by NiSi welding at greater than 250degreesC, the rugosity between the two parts of the surface of the two elements being less than 1 micron. An Independent claim is also included for an integrated circuit incorporating two elements joined by NiSi welding.
-
公开(公告)号：FR2848036A1
公开(公告)日：2004-06-04
申请号：FR0214967
申请日：2002-11-28
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA
Inventor： BOUCHE GUILLAUME , CARUYER GREGORY , ANCEY PASCAL
-
公开(公告)号：AT445259T
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：AT04354025
申请日：2004-06-29
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE , ST MICROELECTRONICS SA
Inventor： ROBERT PHILIPPE , ANCEY PASCAL , CARUYER GREGORY
Abstract: The resonator has a piezoelectric layer (3) placed between two electrodes (1, 2). An electrical heating resistor (9) is placed in thermal contact with the electrode (1). The temporary heating of the electrode (1) permits to partially evaporate a material constituting the electrode (1) to make the electrode (1) thinner for adjusting resonance frequency. An independent claim is also included for a method of producing a thin film bulk acoustic resonator or a solidly mounted resonator.
-
公开(公告)号：FR2929774A1
公开(公告)日：2009-10-09
申请号：FR0852316
申请日：2008-04-07
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA , CENTRE NAT RECH SCIENT
Inventor： CARUYER GREGORY , SEGUENI KARIM , ANCEY PASCAL , DUBUS BERTRAND
Abstract: L'invention concerne un dispositif de résonance micro électromécanique (MEMS) comprenant :un substrat,une électrode d'entrée (EE), reliée à une source de courant alternatif de fréquence d'entrée (fi),une électrode de sortie (ES),au moins une structure d'ancrage, liée au substrat, etune structure vibratile, reliée à une structure d'ancrage par au moins une jonction, possédant une fréquence propre (fp) de résonance acoustique, et dont la vibration sous l'effet de l'électrode d'entrée (EE) lorsqu'elle est alimentée génère sur l'électrode de sortie (ES) un courant alternatif dont la fréquence de sortie est égale à la fréquence propre (fp),caractérisé en ce que la structure vibratile et/ou la structure d'ancrage comprennent une structure périodique, ladite structure périodique comprenant au moins des première (M1) et deuxième (M2) zones différentes l'une de l'autre, correspondant respectivement à des première et deuxième propriétés de propagation acoustique.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
51
records
(took 0.023 seconds)
