公开(公告)号：KR1019970058484A

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR1019950066912

申请日：1995-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 편희수

IPC: H05K13/00 ,  H05K3/00

Abstract: 미세 피치 볼륨 조정용 구동 비트 장치가 이송된 인쇄 회로 기판 상의 볼륨 상부에 위치되며 액츄에이터에 의해 승강되는 플레이트와, 상기 플레이트에 고정되고 미세 피치 볼륨의 피치에 맞게 구멍이 가공되어 있는 한 쌍의 하우징과, 상기 한 쌍의 하우징의 구멍들 안으로 삽입되어 그 상단이 가요성 카플링들과 체결되어 소형 직류 모터들에 연결되며 이 모터들에 의해 회전되는 한 쌍의 샤프트 및 그 상단부가 상기 샤프트에 삽입되고 그 하단부가 볼륨의 홈으로 삽입되어 볼륨을 조정하는 한 쌍의 비트를 포함하여 한 공정으로 동시에 볼륨들을 조정하는 조정 택트 시간을 단축시키며 조정 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1019950022891A

公开(公告)日：1995-07-28

申请号：KR1019930029062

申请日：1993-12-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전인구 ,  편희수

IPC: H04N5/52

Abstract: 본 발명은 화면크기 자동조정장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명은 CRT에 소정의 패턴화면을 인가하는 패턴발생기와 CRT의 전면에 위치되어 휘도를 감지하는 센싱부와, 센싱부로부터의 전송데이타를 수신하여 소정의 기준치와 비교판단하는 중앙제어장치부와, 중앙제어장치부의 제어명령신호에 따라 구동하는 모터구동부와, 모터구동부의 제어신호에 따라 작동하여 화면크기 조정용 볼륨을 회전시켜주는 모터를 구비하여 된 점에 그 특징이 있다.
따라서, 휘도센서에 의해 측정된 휘도값을 컴퓨터에 의해 비교판단하여 그 결과에 따라 모터구동부를 제어하고, 동시에 그에 따른 모터의 회전변화량으로 화면크기 조정용 볼륨을 회전시켜 화면크기를 조정하게 되므로 종래의 눈짐작에 따른 수작업에 의한 화면크기 조정방법에 비해 월등히 그 정확도를 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100054134B1

公开(公告)日：1992-08-26

申请号：KR1019900009503

申请日：1990-06-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 편희수

IPC: H05K13/02

公开(公告)号：KR2019920012539U

公开(公告)日：1992-07-25

申请号：KR2019900021415

申请日：1990-12-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 편희수

IPC: F16N25/04

公开(公告)号：KR101360251B1

公开(公告)日：2014-02-11

申请号：KR1020070120034

申请日：2007-11-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안태흥 ,  편희수 ,  송근철 ,  김영환 ,  차병규

IPC: H01L21/66

Abstract: 나노급 디펙트를 리뷰하기 위한 웨이퍼 디펙트 검사장치 및 그 방법을 제공한다. 상기 웨이퍼 디펙트 검사장치는 진공챔버 내에서 웨이퍼를 지지하고, 이송하기 위한 스테이지를 구비한다. 상기 진공챔버의 제 1 윈도우를 통해 주입되는 레이저 광을 발생시키는 광원부가 구비된다. 상기 진공챔버 내에 존재하고, 상기 광원부에서 발생된 레이저 광의 진행방향을 변경하는 반사미러를 구비한다. 상기 웨이퍼 검사면에서 산란된 레이저 광을 이용하여 디펙트를 검출하는 광학현미경을 구비한다. 상기 검출된 디펙트를 고배율로 리뷰하기 위한 주사전자현미경을 구비한다.
레이저 광, 반사미러, 웨이퍼 디펙트, 얼라인 유닛

公开(公告)号：KR1020080060000A

公开(公告)日：2008-07-01

申请号：KR1020060134027

申请日：2006-12-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최창훈 ,  현정우 ,  백동석 ,  편희수 ,  강성욱

IPC: G01N13/24 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/026 ,  H01J2237/0044

Abstract: An apparatus for examining a sample using an SEM(Scanning Electronic Microscope) is provided to improve quality of an image of the sample surface by reducing charge accumulation on the sample surface using a charge collector. A sample examining apparatus includes a chamber(10), an SEM(20), a stage(40), a detector(24), and a charge collector(50). The chamber contains the SEM and the stage. The SEM generates an electronic beam to radiate on a surface of a sample(30), such as a photomask, through an object lens(21). The stage holds up the sample. If the electronic beam is scanned on the sample, reactive ions(32) are reflected toward a detector. The detector obtains an image of the sample surface based on the reactive ions. The charge collector is arranged between the object lens and the sample, and collects charge accumulated on the sample surface.

Abstract translation: 提供了一种使用SEM（扫描电子显微镜）检查样品的装置，以通过使用电荷收集器减少样品表面上的电荷累积来提高样品表面的图像质量。 样品检查装置包括室（10），SEM（20），载物台（40），检测器（24）和电荷收集器（50）。 房间包含SEM和舞台。 SEM产生电子束，通过物镜（21）辐射到诸如光掩模的样品（30）的表面上。 舞台举起样品。 如果电子束在样品上扫描，反应离子（32）将朝检测器反射。 检测器基于反应离子获得样品表面的图像。 电荷收集器布置在物镜和样品之间，并收集在样品表面上积累的电荷。

公开(公告)号：KR100654808B1

公开(公告)日：2006-12-08

申请号：KR1020050059073

申请日：2005-07-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최용호 ,  차병규 ,  편희수 ,  이진석

IPC: G02F1/13

Abstract: An apparatus for supporting panels is provided to simultaneously support panels having various sizes using a single panel supporting plate easily and securely by forming vacuum holes corresponding to the panel sizes in the panel supporting plate. An apparatus for supporting panels includes a panel supporting plate(30), a panel guide(40), and a vacuum unit(60). The panel supporting plate supports at least one panel. The panel guide is movable with respect to the panel supporting plate to guide the panel to a predetermined position of the panel supporting plate based on the size of the panel. The vacuum unit includes a plurality of vacuum holes formed in the panel supporting plate and a vacuum driver connected to the vacuum holes to provide a predetermined vacuum pressure.

Abstract translation: 提供一种用于支撑面板的设备，通过在面板支撑板中形成对应于面板尺寸的真空孔，使用单个面板支撑板可以容易且可靠地同时支撑具有各种尺寸的面板。 一种用于支撑面板的设备包括面板支撑板（30），面板引导件（40）和真空单元（60）。 面板支撑板支撑至少一个面板。 面板引导件相对于面板支撑板是可移动的，以基于面板的尺寸将面板引导到面板支撑板的预定位置。 真空单元包括形成在面板支撑板中的多个真空孔和连接到真空孔以提供预定真空压力的真空驱动器。

公开(公告)号：KR100541733B1

公开(公告)日：2006-01-11

申请号：KR1020030051996

申请日：2003-07-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 편희수 ,  윤광준 ,  김영환 ,  최승민 ,  김용식 ,  김균래 ,  전충삼 ,  박동진 ,  신경수

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은, 웨이퍼검사장치에 관한 것으로서, 웨이퍼를 지지하는 시료대와; 상기 시료대에 지지된 웨이퍼의 판면 방향으로 상기 시료대를 이송시키는 시료대이송부와; 상기 웨이퍼의 판면과 이격된 위치에서 상기 웨이퍼를 관측하는 대물렌즈와; 상기 대물렌즈와 상기 시료대에 지지된 웨이퍼의 이격거리를 조절하는 렌즈구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 구조가 간단하고 신속한 검사 및 분류가 가능할 뿐만 아니라, 정확도를 향상시키고, 부품간의 간섭을 줄여 안정적으로 동작을 구현할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020020007028A

公开(公告)日：2002-01-26

申请号：KR1020000040696

申请日：2000-07-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 편희수

IPC: H05K3/34

CPC classification number: G01N21/8806 ,  H05K1/0269 ,  H05K3/34 ,  H05K2203/162

Abstract: PURPOSE: A soldering tester for a PCB is provided to closely examine a soldered condition on a PCB by maintaining the PCB in a flat state when it is positioned to be tested. CONSTITUTION: A plurality of PCB holders(14) is arranged on an upper side of a support part, and fixes a PCB(10) that is to be tested in a horizontal direction at a predetermined position. An elevating slider(25) is interposed between the support part(12) and the PCB holders(14). A plurality of cameras(21) are disposed on an upper side of the PCB holders(14), and examine soldered condition by horizontally throwing an image on a plat surface of the PCB(10). The PCB(10) is supported on both sides thereof to be maintained at the pertinent position. A holder body(16) has a jaw(17) that prevents the PCB from being upwardly separated. A pressing member(19) upwardly presses the PCT to the jaw(17). A pushing unit(20) is arranged on the holder body(16) to press a side of the PCB(10) toward other PCB holder(14).

Abstract translation: 目的：提供用于PCB的焊接测试仪，以便在定位测试时将PCB保持在平坦状态，以密切检查PCB上的焊接状态。 构成：多个PCB支架（14）布置在支撑部分的上侧，并将待测试的PCB（10）沿水平方向固定在预定位置。 升降滑块（25）插入在支撑部分（12）和PCB支架（14）之间。 多个照相机（21）设置在PCB保持器（14）的上侧，并且通过在PCB（10）的平台表面上水平投影图像来检查焊接状态。 PCB（10）在其两侧被支撑以保持在相关位置。 保持器主体（16）具有防止PCB向上分离的钳口（17）。 按压构件（19）将PCT向上压到颚部（17）。 推动单元（20）布置在保持器主体（16）上以将PCB（10）的一侧朝向另一个PCB保持器（14）挤压。

公开(公告)号：KR100221489B1

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：KR1019920013691

申请日：1992-07-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 편희수 ,  윤주환

IPC: B25J15/00

Abstract: 산업용 로보트(Rpbot) Z축 아암(Arm)의 끝단에 장착되어 다수의 핸드가 부착되어 있는 헤드 교체장치에 관한 것으로, 본 발명은 상부 어댑터 플레이트(1)에 형성된 볼구멍(2a)에 볼하우징(2)을 삽입하고, 상기 볼구멍(2a)에 볼(3)을 끼운후 하우징(2)에 스톱링(21)을 끼우고 볼 가이드링(2)에는 푸셔A(4)을 끼우고 탄성부재 A(5)를 삽입시킨후 죠인트 블럭(6)을 상부어댑터 플레이트(1)에 안착시켜 체결수단(7)으로 체결조립된 상부어댑터(100)와 하부어댑터 플레이트(8)에 경사면 A(9a)가 형성된 로킹링(9)과 가이드블럭(10)을 삽입하고, 상기 가이드블럭(10)하단부에는 돌기(11a) 및 경사면 B(11b)가 형성된 로킹블럭(11)을 끼우고 탄성부재 B(12)를 개재시켜 고정 플레이트(13)를 체결수단(14)을 체결 조립된 하부어댑터(200)를 탄성부재A, B의 탄성력에 의해 결합, 분리토록 구성된 것 을 특징으로 하는 로보트의 헤드자동 교체장치.