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公开(公告)号:KR1020120133918A
公开(公告)日:2012-12-11
申请号:KR1020110052840
申请日:2011-06-01
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: A fabrication method of an electrode support is provided to improve adhesion with a substrate and mechanical strength of an electrode support. CONSTITUTION: A fabrication method of an electrode support comprises: a step of forming a first insulating film(30) on a conductive substrate; a step of forming an adhered film(51) on a first insulating film; a step of forming a second insulating film on the adhered film; a step of patterning the second insulating film and the adhered film; a step of patterning the second insulating film and adhered film; a step of forming a tube-type electrode support(71) on the first insulating film; and a step of heat-treating a substrate which comprises an electrode support.
Abstract translation: 目的:提供电极支撑件的制造方法,以改善与基底的粘附和电极支撑件的机械强度。 构成:电极支撑体的制造方法包括:在导电性基板上形成第一绝缘膜(30)的工序; 在第一绝缘膜上形成粘附膜(51)的步骤; 在粘附膜上形成第二绝缘膜的步骤; 图案化第二绝缘膜和粘附膜的步骤; 图案化第二绝缘膜和粘附膜的步骤; 在所述第一绝缘膜上形成管型电极支撑件(71)的步骤; 以及对包括电极支撑体的基板进行热处理的步骤。
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公开(公告)号:KR101073431B1
公开(公告)日:2011-10-17
申请号:KR1020080124133
申请日:2008-12-08
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: A61N1/0534
Abstract: 본발명은 RF기반선택적기능성생체이식형뇌자극전극및 그제작방법에관한것으로, 본발명의실시예에따른 RF기반선택적기능성생체이식형뇌자극전극은나노구조물로이루어진전극팁(tip); 전극팁의나노구조물을지지해주고전원을전달하는지지부; 전극팁(Tip)에전원을전달하도록전극팁및 지지부에피복된투명전도막및 지지부를외부환경에대해서절연되도록피복된절연보호막중 하나이상을포함하는코팅부; 및지지부를통해전극팁으로외부에서무선으로공급되는전원및 무선신호의주파수에따라자극을선택적으로분류하여전달하는전원부를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号:KR1020100068179A
公开(公告)日:2010-06-22
申请号:KR1020090089686
申请日:2009-09-22
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: A biosensor for magnetic resistance measurement and a manufacturing method thereof are provided to manufacture a biosensor for convenient sample application by forming a sample application container in a sample contact metal film through etching of a substrate without a separate process. CONSTITUTION: A method for manufacturing a biosensor for magnetic resistance measurement is as follows. A sample contact metal film(120), a dielectric layer(130), a magneto resistive sensor(150), and an electrode(160) are successively laminated on a substrate(100). The substrate is etched from the bottom so that the sample contact metal film is exposed and the rest unexposed part functions as a sample application container(180). A protective layer(170) for protecting the magneto resistive sensor and the electrode is formed. A metal layer(110) for adhesion enhancement is formed between the substrate and the sample contact metal film or/and between the sample contact metal film and the dielectric layer.
Abstract translation: 目的:提供一种用于磁阻测量的生物传感器及其制造方法,用于通过在不进行单独的工艺的情况下蚀刻基板,通过在样品接触金属膜中形成样品施加容器来方便地进行样品施加。 构成:用于制造用于磁阻测量的生物传感器的方法如下。 在衬底(100)上依次层叠样品接触金属膜(120),电介质层(130),磁阻传感器(150)和电极(160)。 从底部蚀刻衬底,使得样品接触金属膜暴露,其余的未曝光部分用作样品施加容器(180)。 形成用于保护磁阻传感器和电极的保护层(170)。 在基板和样品接触金属膜之间或/以及样品接触金属膜和电介质层之间形成用于粘附增强的金属层(110)。
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公开(公告)号:KR100921425B1
公开(公告)日:2009-10-14
申请号:KR1020070103969
申请日:2007-10-16
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N33/53 , G01N33/543 , G01N33/554
Abstract: 본 발명은 광분해성 올리고머 및 나노 입자를 이용한 생체분자에 대한 신호 검출 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의해, 샘플 내에서 극미량으로 존재하는 생체분자를 검출하는데 있어, 이 생체분자를 포획하여 상기 나노 입자를 결합시키고, 상기 나노 입자에 다수의 광분해성 올리고머를 표지하고, 이로부터 실제 시료의 양보다 더욱 증폭된 신호를 획득할 수 있으며, 분석이 종료된 이후에도 생체분자를 표지한 올리고머로서 결과를 보존할 수 있어, 신뢰성 있는 결과를 비교적 장기간 검토할 수 있는 장점을 갖는 극미량의 생체분자에 대한 신호 검출 방법이 제공된다.
광분해성 올리고뉴클레오티드, 나노 입자, 생체분자, 신호-
公开(公告)号:KR100565176B1
公开(公告)日:2006-03-30
申请号:KR1020040064969
申请日:2004-08-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 반도체 소자용 시편 측정방법에 관한 것으로, 반도체 소자용 시편의 측정하고자 하는 영역 상부를 식각 마스크를 이용하여 선택적으로 노출시키되, 일정 방향으로 노출된 부위의 면적이 변화하도록 패터닝하는 단계와, 변화된 면적에 따라 소정각으로 경사지도록 상기 측정하고자 하는 영역 상부를 확산제어 습식식각을 이용하여 식각하는 단계와, 상기 경사면을 AFM으로 측정하는 단계를 포함하는 AFM을 이용한 반도체 소자용 시편 측정방법을 제공한다. 본 발명을 이용하면, 종래의 STM과 같은 고가의 장비를 이용하지 않고도 원자스케일의 이미지를 얻을 수 있다.
확산제어 습식식각, 반도체 구조, AFM, 연마-
公开(公告)号:KR100481540B1
公开(公告)日:2005-04-07
申请号:KR1020020010139
申请日:2002-02-26
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 유화 중합 조건, 예를 들어, 단량체의 종류, 계면활성제의 종류 및 농도, 중합개시제, 중합시 교반 속도, 중합 온도 등을 변화시킴으로서 나노 입자의 크기의 제어가 가능하고, 그 내부에 특정 치료 약물을 균일하게 포함시켜 치료가 요구되는 기관에 대해 우수한 선택성으로 약물을 전달하여 우수한 치료적 효과를 얻을 수 있는 치료 약물을 함유한 스마트 나노 입자의 제조 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号:KR1020040043901A
公开(公告)日:2004-05-27
申请号:KR1020020072348
申请日:2002-11-20
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: Provided is a preparation method of nano-sized 2,3-bis(4'-methyl-biphenyl-4-yl) acrylonitrile(MBAN) particles having improved fluorescent efficiency by precipitation arising from the difference in solubility between MBAN and mixed solvent. CONSTITUTION: The nano-sized MBAN powder is prepared by the following steps of: dissolving MBAN in a first solvent such as tetrahydrofuran(THF), chloroform, toluene, acetone, benzene or 1-methyl-2-pyrrolidinone; adding a second solvent, such as water, methanol or ethanol which is mixed with the first solvent but is not mixed with MBAN, to the first solution; mixing the solution to get nano-sized precipitates, MBAN particles. In case that the first solvent is THF and the second solvent is H2O, the volume ratio of water is more the 60% based on the total amounts of solvent, the reaction temperature is 20-60deg.C and the mixing ratio is 200-600rpm. The fluorescent efficiency of MBAN particles formed in the mixed solvent is increased by 2-10times compared to that of MBAN in the single solvent.
Abstract translation: 目的:提供由MBAN和混合溶剂之间的溶解度差异引起的具有改善的荧光效率的纳米尺寸的2,3-双(4'-甲基 - 联苯-4-基)丙烯腈(MBAN)颗粒的制备方法 。 构成:通过以下步骤制备纳米尺寸的MBAN粉末:将MBAN溶解在第四溶剂如四氢呋喃(THF),氯仿,甲苯,丙酮,苯或1-甲基-2-吡咯烷酮中; 向第一溶液中加入与第一溶剂混合但不与MBAN混合的第二溶剂,例如水,甲醇或乙醇; 混合溶液得到纳米级沉淀物,MBAN颗粒。 在第一溶剂为THF并且第二溶剂为H 2 O的情况下,水的体积比基于溶剂的总量多60%,反应温度为20-60℃,混合比为200-600rpm 。 与单一溶剂中MBAN相比,在混合溶剂中形成的MBAN颗粒的荧光效率提高了2-10倍。
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公开(公告)号:KR100337642B1
公开(公告)日:2002-05-23
申请号:KR1019990027011
申请日:1999-07-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S5/30
CPC classification number: G01Q60/22
Abstract: 본발명은근접장탐침을이용한광혼합밀리미터파생성장치에관한것이다. 원리는제 1 및제 2 레이저에서나온레이저광을레이저빔 결합기를이용하여탐침직경이 0.05 내지 0.1㎛인근접장광혼합용광섬유탐침에주입한후, 탐침에서출력된레이저빔이주변으로산란되지않도록초고속반도체소자와광섬유간의거리를줄일수 있다. 또한, 레이저빔의직경이 0.1㎛정도이므로, 초고속반도체소자가최고로우수한특성영역을찾고, 두레이저광의파장차이에해당하는밀리미터파를생성하므로써, 밀리미터파신호의해상도및 잡음지수를개선할수 있는근접장탐침을이용한광혼합밀리미터파생성장치가개시된다.
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公开(公告)号:KR1020010008923A
公开(公告)日:2001-02-05
申请号:KR1019990027011
申请日:1999-07-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S5/30
CPC classification number: G01Q60/22
Abstract: PURPOSE: An apparatus for producing an optical heterodyne millimetric wave using a near-field probe is provided to improve the resolution of the heterodyne light and, to improve the noise factor. CONSTITUTION: An apparatus for producing an optical heterodyne millimetric wave using a near-field probe is used to measure the property of a micro device. A feedback controller(101) designate a reference point for adjusting a distance between an optical fiber probe for near-field optical heterodyne and a property measurement device(106). A photo-diode(107) senses a laser beam of a HeNe-laser(111) for adjusting the distance. The property of the micro device is accurately measured by connecting an electrode contact area of the property measurement device to a micro probe(110) for applying a DC voltage to the electrode. A laser beam coupler(113) couples two laser beams of different frequency of a fist laser(112A) and a second laser(112B). The coupled laser beam is injected to the optical fiber probe. Also, the laser beam coupler mixes a millimetric signal with an output signal of a local oscillator(109). A spectrum analyzer(104) measures an intermediate frequency conversion signal of the mixed signal, and a semiconductor parameter analyzer(105) measures a parameter of the millimetric signal produced by the light of the optical fiber.
Abstract translation: 目的:提供一种使用近场探针产生光学外差毫米波的装置,以提高外差光的分辨率,并提高噪声系数。 构成:使用近场探针制造光学外差毫米波的装置用于测量微器件的性质。 反馈控制器(101)表示用于调整用于近场光学外差的光纤探针与属性测量装置(106)之间的距离的参考点。 光电二极管(107)感测用于调整距离的HeNe激光器(111)的激光束。 通过将性能测量装置的电极接触面连接到用于向电极施加直流电压的微型探针(110)来精确测量微器件的性质。 激光束耦合器(113)耦合第一激光器(112A)和第二激光器(112B)的不同频率的两个激光束。 将耦合的激光束注入到光纤探针中。 此外,激光束耦合器将毫米信号与本地振荡器(109)的输出信号混合。 频谱分析器(104)测量混合信号的中频变换信号,半导体参数分析仪(105)测量由光纤产生的毫米信号的参数。
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公开(公告)号:KR100248392B1
公开(公告)日:2000-09-01
申请号:KR1019970018816
申请日:1997-05-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S3/00
CPC classification number: H01L27/3274 , H01L27/3248 , H01L51/0051 , H01L51/0078 , H01L51/0516 , H01L51/0545
Abstract: 본 발명은 유기물 전계효과 트랜지스터로 구동·조절되는 유기물 전기 발광소자에 관한 것으로서, 유기물 전기 발광소자와 그 소자를 구동하는 유기물 전계효과 소자가 하나의 소자로 결합함으로써, 유기물 트랜지스터를 유기물 전기 발광소자의 구동 및 조절에 응용할 경우, 무기물 트랜지스터를 사용하는 경우에 비하여, 첫째 기계적 구부림이 가능하고, 둘째 진공 증착 또는 스핀 코팅을 이용하여 무기물 트랜지스터 제작시에 비해 완화된 조건하에서 쉽게 박막을 형성할 수 있으므로 유기물 전기발광소자와의 결합을 통해 유기물 전기 발광 개별 화소의 구동 및 조절이 용이한 대면적 유기물 전기 발광 표시판을 제작할 수 있다. 또한, 박막 전기 발광소자에서 박막화에 따른 소자의 소형화에 있어서도 무기물 트랜지스터에 비해 간단한 공정과 저가로 구동 부분을 소형, 박막화함과 더불어 집적화를 통해 전체적인 발광소자의 크기를 소형화할 수 있는 소형 박막 표시 소자의 제작이 용이해지고, 발광소자의 구동 및 조절을 위한 부분인 박막 트랜지스터를 유기물로 제작할 수 있기 때문에 전체적인 구부림이 가능한 전기 발광소자의 제작을 실현할 수 있는 효과가 있다.
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