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41.发明授权
公开(公告)号：KR100486937B1
公开(公告)日：2005-05-03
申请号：KR1020020032558
申请日：2002-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B5/28
CPC classification number: G01Q20/02 , Y10S977/87
Abstract: 본 발명은 원자간력 현미경에 관한 것으로 광섬유에서 조사되어 외팔보에서 반사되는 빛의 세기가 외팔보의 변위에 민감하게 변하도록 패브리 페로 간섭계를 구성하여 광섬유와 외팔보와의 거리를 정확하게 측정할 수 있도록 한 것이다.
즉, 본 발명은 단면이 광원의 빔과 외팔보의 반사면에 반사된 빔을 투과 또는 반사할 수 있도록 오목곡면으로 가공된 광섬유와 외팔보의 반사면으로 패브리 페로 공진기를 형성하고 공진기에서 반사되는 신호를 검출하여 외팔보 탐침의 변위를 측정하고 더 나아가서는 외팔보 탐침의 변위변화에 대응하는 보정신호(feedback)를 생성하여 압전소자를 Z축 방향으로 구동시켜 외팔보 탐침의 변위가 일정하게 유지되도록 한 것이다.-
公开(公告)号：KR100473791B1
公开(公告)日：2005-03-08
申请号：KR1020020052591
申请日：2002-09-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 주사형 전자현미경 (scanning electron microscope; SEM) 나노니들 조작기 (nanoneedle manipulator)를 이용하여, 모체 팁의 형상에 상관없이, 상기 모체 팁에 고정되는 탄소나노튜브(canbon nanotube) 또는 나노와이어 (nanowire)와 같은 나노니들(nanoneedle) 의 방향 및 상기 모체 팁의 끝으로부터 도출되는 나노니들의 길이가 조절된, 주사형 탐침 현미경(scanning probe microscope; SPM)용 나노니들팁(nanoneedle tip)과 그 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치는, 모체 팁을 고정하고 자유도가 상대적으로 큰 모체 팁 스테이지와, 그 모체 팁에 부착될 나노니들을 고정하고, 자유도가 상대적으로 큰 나노니들 스테이지를 포함하고, 상기 스테이지들 및 상기 스테이지들을 구성하는 복수개의 요소들이 수동적으로 수평, 수 직 및 회전되면서 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁을 제조하는 데에 특징이 있다.
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43.发明授权2 주파수 레이저 간섭계에서의 길이 측정을 위한 위상각측정방법 및 비선형 오차 보상방법 그리고 이를 이용한길이 측정을 위한 위상각 측정방법 및 측정 시스템 失效2주파수레이저간섭계에서의길이측정을위한위상각측정방법및비선형오차보상방법그리고이를이용한길이측정을위한위상각측정방법및측정시스템
公开(公告)号：KR100431706B1
公开(公告)日：2004-05-17
申请号：KR1020010052030
申请日：2001-08-28
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B9/02
Abstract: PURPOSE: A method for measuring a phase angle for measuring length in a two-frequency laser interferometer, and a method for correcting a non-linear error, and a method and a system for measuring a phase angle for measuring length using the same are provided to improve the accuracy of length measurement by correcting periodical non-linear errors. CONSTITUTION: A system for measuring a phase angle includes a two-frequency laser interferometer(100) outputting a reference signal(Ir) generated by interference of two frequency laser flux and a measurement signal(Im) generated by interference of two frequency laser flux reflected from fixed and mobile mirrors(4a,4b); a 90 deg phase mixer(200) mixing the measurement signal with the reference signal and a 90 deg phase converted reference signal each, and filtering high frequency components for outputting output signals(Ix,Iy) for sensing phase; a non-linear error correcting part(300) receiving feedback of output signals(Ix',Iy')for obtaining the amplitudes, and offsets, and phase difference, calculating correction voltage for correcting the amplitudes, the offsets, and the phase difference, and correcting the offsets to become "0", the amplitudes to be equal, and the phase difference to become "0"; and a phase angle calculating part obtaining a phase angle(&thgr;) by applying the output signals to a formula &thgr;=arctan(Iy'/Ix').
Abstract translation: 目的：一种用于测量相位角在两频率激光干涉仪的测量长度的方法，和用于校正非线性误差的方法，和一种方法以及用于测量用于测量使用相同长度的相位角的系统中提供 通过校正周期性非线性误差来提高长度测量的准确度。 用于测量相位角的系统包括：双频激光干涉仪（100），输出由两个频率激光通量干涉产生的参考信号（Ir）和由反射的两个频率激光通量干涉产生的测量信号（Im） 来自固定镜和移动镜（4a，4b）; 将测量信号与参考信号和90度相位转换的参考信号各自混合的90度相位混合器（200），并且对输出用于感测相位的输出信号（Ix，Iy）的高频分量进行滤波; 非线性误差校正部分（300）接收输出信号的反馈（IX“ IY”），用于获得的振幅和偏移，和相位差，用于校正振幅，偏移，和所述相位差计算校正电压， 并校正偏移变为“0”，振幅相等，并且相位差变为“0”。 以及相位角计算部分，通过将输出信号应用于公式r = arctan（Iy'/ Ix'）来获得相位角（θ）。
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公开(公告)号：KR100394963B1
公开(公告)日：2003-08-19
申请号：KR1020010034572
申请日：2001-06-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B5/08
Abstract: PURPOSE: A reflection control apparatus using a planar reflective mirror having a prism constant of zero is provided to measure accurately a mechanical constant or a prism constant of electro-optical distance meter by installing the planar reflective mirror on a side passing a center of a sphere of a spheric housing. CONSTITUTION: A planar reflective mirror(220) is vertically installed in the inside of a spheric housing(100). An inserting portion(120) is formed in the inside of the housing(100). The housing(100) is formed with a resin material or a metallic material such as aluminum or stainless steel. The planar reflective mirror(220) is vertically installed in the inserting portion(120). A cover(240) is used for contacting closely the planar reflective mirror(220) with the inside of the housing(100). A lower end portion of the housing(100) is combined with an upper portion of a tripod(300). A plurality of support bars(320) are formed on a lower portion of the tripod(300). A circular rotation body(420) is formed on an outer circumference of the tripod(300). A plurality of fixing screw portions(440) are inserted into one side of a position fixing plate(460). The fixing screw portion(440) is formed with a micrometer screw(470) and a position fixing screw(480).
Abstract translation: 目的：提供一种使用棱镜常数为零的平面反射镜的反射控制装置，通过在通过球体中心的一侧安装平面反射镜，准确测量电光测距仪的机械常数或棱镜常数 的球形房屋。 组成：平面反射镜（220）垂直安装在球形壳体（100）的内部。 插入部分（120）形成在壳体（100）的内部。 壳体（100）由树脂材料或诸如铝或不锈钢的金属材料形成。 平面反射镜（220）垂直安装在插入部分（120）中。 盖（240）用于使平面反射镜（220）与壳体（100）的内部紧密接触。 外壳（100）的下端部分与三脚架（300）的上部分结合。 多个支撑杆（320）形成在三脚架（300）的下部。 圆形旋转体（420）形成在三脚架（300）的外周上。 多个固定螺钉部分（440）插入位置固定板（460）的一侧。 固定螺钉部分（440）形成有测微螺钉（470）和位置固定螺钉（480）。
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公开(公告)号：KR1020130138470A
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：KR1020120062074
申请日：2012-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01D5/2451 , G01D5/36 , H03M1/12
Abstract: The present invention provides a position measuring device and a position measuring method. The position measuring method includes a step of generating measurement signals by sensing lights reflected by or transmitted through an incremental scale while having phase difference of an angle of 60 degrees within one cycle of the incremental scale; a step of displaying the sensed measurement signals as the sum of first sine waves and third sine waves of a fundamental spatial frequency; and a step of extracting phases of the first sine waves based on the measurement signals.
Abstract translation: 本发明提供一种位置测量装置和位置测量方法。 位置测量方法包括以下步骤：通过在增量刻度的一个循环内具有60度角的相位差来感测由增量刻度反射或透射的光产生测量信号; 将感测的测量信号显示为基本空间频率的第一正弦波和第三正弦波的和的步骤; 以及基于测量信号提取第一正弦波的相位的步骤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101322782B1
公开(公告)日：2013-10-29
申请号：KR1020120027786
申请日：2012-03-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 3차원 위치를 측정하는 장치에 있어서: 선단의 팁(22) 상에 형광점(25)을 지니는 탐침자(20); 상기 탐침자(20)의 형광점(25)을 여기시키는 여기수단(30); 상기 여기된 발광빔을 집속하는 렌즈(44); 및 상기 집속된 발광빔을 검출기(55)로 입력하여 위치 정보를 생성하는 제어기(50);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 스타일러스의 볼에 형광점을 부여하여 볼 자체에 대한 변형 위치를 측정하므로 측정의 정확성이 향상되는 동시에 좁고 깊은 구멍의 측정이 가능하여 활용성을 증진하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020130109497A
公开(公告)日：2013-10-08
申请号：KR1020120031252
申请日：2012-03-27
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G02B26/12 , G02B5/04 , G02B5/30 , G02B26/105 , G02B26/108 , G02B27/0972
Abstract: PURPOSE: An image or polarized light rotating method and device can rotate a target image itself through rotating-control between optical devices. CONSTITUTION: An image and polarized light rotating device reflects incident light and combines two or more optical elements forming emitted light having 90° against incident light. A reflection surface of a rear side optical element is rotated based on an optical axis of light reflected and emitted from a front optical element in an optical path, entered into the rear side optical element. An optical element is composed of a prism or a mirror. The prism can be a rectangular prism in which length and a cross section form an isosceles right angle, a penta-prism, or an Amici prism. [Reference numerals] (AA,FF) Z-axis; (BB,GG) X-axis; (CC) Pentaprism-2; (DD) Pentaprism-1; (EE) Y-axis; (HH) Rectangular prism
Abstract translation: 目的：图像或偏振光旋转方法和装置可以通过光学装置之间的旋转控制旋转目标图像本身。 构成：图像和偏振光旋转装置反射入射光并且组合两个或更多个形成与入射光成90°的发射光的光学元件。 背面光学元件的反射面基于入射到后侧光学元件的光路中的前光学元件反射和发射的光的光轴旋转。 光学元件由棱镜或反射镜组成。 棱镜可以是其中长度和横截面形成等腰直角，五棱镜或Amici棱镜的矩形棱镜。 （标号）（AA，FF）Z轴; （BB，GG）X轴; （CC）Pentaprism-2; （DD）Pentaprism-1; （EE）Y轴; （HH）矩形棱镜
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公开(公告)号：KR101227125B1
公开(公告)日：2013-01-28
申请号：KR1020110057981
申请日：2011-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01D5/347
Abstract: 본 발명은 하나의 트랙으로 고분해능의 절대 각도를 측정할 수 있어 소형화가 가능하고 경제적인 광학식 엔코더 및 이를 이용한 변위 측정 방법에 관한 것으로, 광을 조사하는 발광부와, 발광부의 광을 반사시키는 반사 부재와, 발광부와 반사 부재의 사이에 광의 진행 방향을 가로지르는 방향으로 이동하도록 배치되며 이동 방향을 따라 일정한 피치로 배치되는 회절 격자를 구비하는 이동 부재와, 이동 부재에 대하여 발광부와 같은 방향에 배치되며 반사 부재에 의해 반사되어 회절 격자에 의해 회절된 광의 적어도 일부가 간섭하는 광을 수광하는 제1 수광부를 구비하는 광학식 엔코더 및 이를 이용한 변위 측정 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020110137955A
公开(公告)日：2011-12-26
申请号：KR1020100057993
申请日：2010-06-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A non-contact type three-dimensional coordinate measuring system is provided to ensure high resolution and precision as well as a compact structure and to enable position measurement from any distance within the range where the light of a light source can reach a light detecting part. CONSTITUTION: A non-contact type three-dimensional coordinate measuring system comprises a light source(1) which is installed in an object to be measured, a light detecting part(2) which is installed in a specified position and detects the light emitted from the light source, and a position calculating part(3) which measures the distance between the light source and the light detecting part using the light detected by the light detecting part and calculates the position of the light source form the measured distance.
Abstract translation: 目的：提供非接触式三维坐标测量系统，以确保高分辨率和精确度以及紧凑的结构，并且可以在光源的光达到光检测的范围内的任何距离内实现位置测量 部分。 构成：非接触型三维坐标测量系统包括安装在待测物体中的光源（1），安装在指定位置的光检测部（2），并检测从 光源，以及使用由光检测部检测出的光来测量光源与光检测部之间的距离的位置计算部（3），并计算出光源的距离。
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公开(公告)号：KR101088777B1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：KR1020090107607
申请日：2009-11-09
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 카메라와 렌즈 사이에 초점흐림수단을 설치하여 초점이 흐려진 영상을 카메라에서 인식하고 이를 분석하여 피사체의 형상을 측정할 수 있게 한 입체형상측정장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 입체형상측정장치는 반도체 모듈 등의 피사체를 촬영하는 카메라를 포함하여 구성되는 입체형상측정장치에 있어서, 상기 카메라의 전면에 카메라로 입사된 피사체 영상의 초점을 흐리기 위한 초점흐림수단을 설치하여 구성됨을 특징으로 한다.
입체형상, 초점흐림수단, 굴절률, 초점거리
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