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公开(公告)号：CN1029952C
公开(公告)日：1995-10-11
申请号：CN90103293.X
申请日：1990-06-29
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: C03B37/012 , C03B20/00 , G02B6/00
CPC classification number: C03B37/01446 , C03B37/0146 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , Y10S65/16 , Y10S65/90
Abstract: 一种通过加热来对用于拉制光学纤维的多孔玻璃初坯进行脱水和净化处理的方法，包括在高温下和在含有惰性气体和卤化硅气体的气氛中将初坯通过一个至少在其内表面有Sic覆层的套管，一种通过加热来对用于拉制光学纤维的多孔玻璃初坯进行掺氟处理的方法，包括在高温下和在含有氟化合物气体和惰性气体的气氛中将初坯通过一个至少在其内表面有Sic覆层的套管，及一种通过加热来对用于拉制光学纤维的多孔玻璃初坯进行玻璃化处理的方法，包括在高温下和在所需的气氛中将已预先脱水和净化的初坯通过一个至少在其内表面有Sic覆层的套管。
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公开(公告)号：CN1048372A
公开(公告)日：1991-01-09
申请号：CN90103293.X
申请日：1990-06-29
Applicant: 住友电气工业株式会社
CPC classification number: C03B37/01446 , C03B37/0146 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , Y10S65/16 , Y10S65/90
Abstract: 一种通过加热来对用于拉制光学纤维的多孔玻璃初坯进行脱水和净化处理的方法，包括在高温下和在含有惰性气体和卤化硅气体的气氛中将初坯通过一个至少在其内表面有SiO覆层的套管；一种通过加热来对用于拉制光学纤维的多孔玻璃初坯进行掺氟处理的方法，包括在高温下和在含有氟化合物气体和惰性气体的气氛中将初坯通过一个至少在其内表面有SiO覆层的套管；及一种通过加热来对用于拉制光学纤维的多孔玻璃初坯进行玻璃化处理的方法。
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公开(公告)号：CN105439441B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201510614780.3
申请日：2015-09-24
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。
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公开(公告)号：CN107250071A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201580075988.0
申请日：2015-12-09
Applicant: 康宁股份有限公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B25/02 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/14 , C03B2201/23 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03C3/112 , C03C4/00 , C03C2201/12 , C03C2201/14 , C03C2201/32 , C03C2201/40 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2201/54 , C03C2203/52
Abstract: 提供了掺杂的二氧化硅‑二氧化钛玻璃制品，其包括具有一种玻璃组合物的玻璃制品，所述玻璃组合物包含(i)二氧化硅‑二氧化钛基础玻璃、(ii)氟掺杂剂和(iii)第二掺杂剂。所述氟掺杂剂的氟浓度最高为5重量％，并且所述第二掺杂剂包含一种或多种氧化物，所述氧化物选自Al氧化物、Nb氧化物、Ta氧化物、B氧化物、Na氧化物、K氧化物、Mg氧化物、Ca氧化物和Li氧化物，总氧化物浓度为50ppm至6重量％。此外，所述玻璃制品的膨胀率斜率为在20℃下小于0.5ppb/K2。所述第二掺杂剂可以是任选的。所述玻璃制品的组成还可以含有小于100ppm的OH浓度。
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公开(公告)号：CN105278006B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201510360232.2
申请日：2015-06-26
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B23/04 , C03B19/066 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B2201/06 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/10 , C03C2203/50 , G03F1/24 , G03F7/70316 , G03F7/7095
Abstract: 本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件，其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA，在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线，其具有小于5ppb/K的被定义为CTE最大值和CTE最小值之间的差的最大不均匀性dCTE最大，其特征在于，dCTE最大为至少0.5ppb/K，并且CA形成具有所述区域的形心的非圆形区域，其中所述dCTE分布曲线不是旋转对称的并在CA上对其限定，使得被归一化至单位长度并穿过所述区域的形心延伸的直的曲线段产生形成具有小于0.5×dCTE最大带宽的曲线带的dCTE曲线簇。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105517965A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480050733.4
申请日：2014-09-11
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
Inventor： S.奥赫斯
IPC: C03B37/014
CPC classification number: C03B19/06 , C03B25/02 , C03B37/01413 , C03B37/01446 , C03B2201/075 , C03B2201/40 , C03C3/06 , C03C2203/00
Abstract: 本发明涉及由Fe掺杂的石英玻璃制造用作热防护玻璃的坯件的方法。在该方法中，朝倾向于Fe2+的方向影响Fe2+/Fe3+比。此外，可以省略其它掺杂剂。根据本发明，该方法包括下列步骤：(a) 通过含硅和含铁起始物质的火焰水解制造铁掺杂的SiO2烟灰体，(b)干燥所述烟灰体以获得小于10重量ppm的平均羟基含量，(c)在适用于将铁至少部分从第一氧化态Fe3+还原成较低的第二氧化态Fe2+的具有还原作用的气氛中，将含有第一氧化态Fe3+的铁的烟灰体玻璃化，以形成由铁掺杂的具有高的硅酸含量的玻璃制成的坯件。获得具有0.1至1重量%的铁含量的坯件，其在红外波长范围内展现最大40%的内透射率和在可见光谱范围内展现至少85%的内透射率。
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公开(公告)号：CN102791643B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201180013182.0
申请日：2011-03-10
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B37/012 , C03B37/027 , C03C13/04 , G02B6/036
CPC classification number: C03B37/02754 , C03B37/01211 , C03B37/01228 , C03B37/01242 , C03B37/018 , C03B37/027 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/30 , C03B2201/31 , C03B2203/22 , C03B2203/23 , C03B2205/30 , C03C13/045 , C03C2201/12 , G02B6/03633 , G02B6/0365 , Y10T428/2935
Abstract: 公开了一种用于通过拉伸一个石英玻璃预成型件或多个石英玻璃部件的共轴组合件来生产光纤的方法，借此获得了一种纤维，这种纤维具有一个芯区域、一个包裹该芯区域的内壳区域、一个围绕该内壳区域的环区域。对于由此出发的一种方法，其中该方法提供了一种管状半成品以及一种多部件的共轴组合件以便成本低廉地制造以芯和壳之间的高界面品质和较小的弯曲不敏感性而突出的光纤，根据本发明提出了，该环区域的石英玻璃是以一种由石英玻璃制成的、具有至少6000重量ppm的中等氟含量的环区域管的形式进行制备，该环区域管具有由一个管内表面和一个管外表面限定的一个壁，其中跨该环区域管壁设置了一种径向的氟浓度分布曲线，该分布曲线具有一个层厚度至少为1μm且最大为10μm的内部氟贫化层，在该层中氟含量朝向管内表面而下降并且在一个具有1μm厚度的、接近表面的区域中该氟含量为最大3000重量ppm。
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公开(公告)号：CN102471125B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201080030798.4
申请日：2010-06-25
Applicant: 信越石英株式会社
CPC classification number: C03B19/095 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/32 , C30B15/10 , C30B29/06 , C30B35/002 , Y10T428/131 , Y10T428/1317 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明是一种二氧化硅容器的制造方法，其用以制造具备二氧化硅基体而构成的二氧化硅容器，该二氧化硅基体具有旋转对称性，其中，所述二氧化硅容器的制造方法，包含：暂时成型为规定形状的工序，该工序一边使具有减压用孔的外模框旋转，一边导入基体用原料粉(二氧化硅粒子)至外模框的内壁，而暂时成型为规定形状；及形成二氧化硅基体的工序，该工序从暂时成型体的内侧，供给通过除湿而制成规定的露点温度以下且含有氧气与惰性气体的混合气体，以将外模框内的气体进行换气，并调整外模框内的湿度，且一边将暂时成型体从外周侧进行减压，一边通过利用碳电极所实施的放电加热熔融法从暂时成型体的内侧进行加热，来将暂时成型体的外周部分制成烧结体，并将内侧部分制成熔融玻璃体。由此，提供一种二氧化硅容器的制造方法及该种二氧化硅容器，该制造方法是以主成分为二氧化硅的粉体作为主原料，而能以低成本制造出具有高尺寸精确度且碳和OH基含量极少的二氧化硅容器。
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公开(公告)号：CN101959812B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN200980106891.6
申请日：2009-02-27
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F7/70958 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
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公开(公告)号：CN102411168B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110319912.1
申请日：2006-03-28
Applicant: OFS菲特尔有限责任公司
CPC classification number: G02B6/03683 , C03B37/01211 , C03B37/01228 , C03B37/014 , C03B37/018 , C03B2201/04 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/31 , C03B2203/22
Abstract: 本公开涉及低损耗光纤的设计及其制造方法。说明了一种借助混合VAD/MCVD处理过程生产的改进的光纤。光纤的纤芯用VAD生产，而内包层有凹陷的折射率并用MCVD生产。在优选的实施例中，光功率包络基本上全部包含在VAD生产的纤芯材料和MCVD生产的凹陷折射率包层材料中。借助把绝大部分光功率限制在低OH的VAD纤芯，以及借助使无掺杂石英区中的光功率最大化，使光损耗达到最小。MCVD衬底管材料中基本上没有光功率。
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