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公开(公告)号：KR1020110023535A
公开(公告)日：2011-03-08
申请号：KR1020090081487
申请日：2009-08-31
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04R17/00 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2440/07
Abstract: PURPOSE: A piezoelectric micro speaker with a piston diaphragm and a manufacturing method thereof are provided to arrange a piston diaphragm in a cavity, thereby transferring the maximum displacement of a vibration diaphragm. CONSTITUTION: A substrate(110) has a cavity(112) penetrated in a thickness direction. A vibration diaphragm(122) is formed on the substrate. The vibration diaphragm covers the center of the cavity. A piezoelectric driving unit(120) is formed on the vibration diaphragm to vibrate the vibration diaphragm. A piston diaphragm(130) is arranged in the cavity. The piston diaphragm performs a piston movement by vibration of the vibration diaphragm. A piston bar(132) is arranged in the central part of the cavity. The piston bar connects the piston diaphragm with the vibration diaphragm.
Abstract translation: 目的：提供具有活塞隔膜的压电微型扬声器及其制造方法，以将活塞隔膜设置在空腔中，从而传递振动膜片的最大位移。 构成：衬底（110）具有沿厚度方向穿透的空腔（112）。 振动膜（122）形成在基板上。 振动膜片覆盖空腔的中心。 压电驱动单元（120）形成在振动膜上以使振动膜振动。 活塞隔膜（130）布置在空腔中。 活塞隔膜通过振动膜片的振动进行活塞运动。 活塞杆（132）布置在空腔的中心部分。 活塞杆将活塞隔膜与振动隔膜连接起来。
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公开(公告)号：KR100818288B1
公开(公告)日：2008-03-31
申请号：KR1020070007239
申请日：2007-01-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: A coil manufacturing method for a micro actuator is provided to reduce a drive current applied to a coil and power consumption by covering the upper side of a wafer except for trenches formed with the coil. A coil manufacturing method for a micro actuator comprises the steps of: preparing a substrate(100); forming a plurality of trenches for forming a coil on the upper side of the substrate; covering the upper side of the substrate except for the trenches with shielding agents(120); electro-plating conductive material to the trenches; and forming a passivation layer on the substrate.
Abstract translation: 提供一种用于微型致动器的线圈制造方法，通过覆盖除了由线圈形成的沟槽之外的晶片的上侧，来减小施加到线圈的驱动电流和功率消耗。 微型致动器的线圈制造方法包括以下步骤：制备衬底（100）; 在所述基板的上侧形成用于形成线圈的多个沟槽; 用屏蔽剂（120）覆盖除了沟槽之外的衬底的上侧; 将导电材料电镀到沟槽; 以及在所述衬底上形成钝化层。
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公开(公告)号：KR1020070118881A
公开(公告)日：2007-12-18
申请号：KR1020060053141
申请日：2006-06-13
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B81C1/00166 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , G02B26/0841
Abstract: A method for etching a comb electrode having decoupled upper and lower structures by a self-alignment is provided to align an upper comb electrode and a lower comb electrode accurately on a substrate. A method for etching a comb electrode having decoupled upper and lower structures by a self-alignment includes a step of forming a first metal mask at a position on which an upper comb electrode(110) of a first silicon layer(201) is formed. A first PR mask is formed at a position corresponding to the first metal mask of the first silicon layer and a lower comb electrode(120). The first silicon layer is selectively etched by using the first PR mask as an etching diffusion barrier. An insulating layer(215) of the substrate is selectively etched by using the first PR mask as an etching diffusion barrier. The second silicon layer is selectively etched by using the first PR mask as an etching diffusion barrier.
Abstract translation: 提供了通过自对准来蚀刻具有去耦合的上下结构的梳状电极的方法，用于将上梳状电极和下梳状电极准确地对准衬底。 通过自对准蚀刻具有去耦合的上下结构的梳状电极的方法包括在形成第一硅层（201）的上梳状电极（110）的位置处形成第一金属掩模的步骤。 第一PR掩模形成在与第一硅层的第一金属掩模相对应的位置和下梳状电极（120）处。 通过使用第一PR掩模作为蚀刻扩散阻挡层来选择性地蚀刻第一硅层。 通过使用第一PR掩模作为蚀刻扩散阻挡层，选择性地蚀刻衬底的绝缘层（215）。 通过使用第一PR掩模作为蚀刻扩散阻挡层来选择性地蚀刻第二硅层。
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公开(公告)号：KR1020060060930A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：KR1020040099744
申请日：2004-12-01
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01L51/5281 , G02B1/11 , G02B5/3025 , H01L33/44
Abstract: 본 발명은 외부광을 효율적으로 차단하면서 내부광을 거의 그대로 통과시킬 수 있는 단방향 투명 광학계의 제조 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 단방향 투명 광학계의 제조 방법은, 투명 기판의 상면에 포토레지스트를 형성하는 단계; 상기 포토레지스트를 가열하여 탄화시킴으로서 흑체층을 형성하는 단계; 상기 흑체층을 패터닝함으로써 상기 투명 기판 위에 다수의 광흡수재료들을 형성하는 단계; 및 상기 광흡수재료들이 형성된 투명 기판 상에, 상기 광흡수재료들 중 대응하는 하나를 향하여 입사광을 굴절시키는 볼록 렌즈 형태의 돌출구조들을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明公开了一种制造单向透明光学系统的方法，该单向透明光学系统能够有效地通过内部光线，同时有效地屏蔽外部光线。 根据本发明的制造单向透明光学系统的方法包括：在透明基板的上表面上形成光刻胶; 加热光致抗蚀剂使其碳化以形成黑体层; 通过图案化黑体层在透明基板上形成多个光吸收材料; 并且在其上形成有光吸收材料的透明基板上形成用于使入射光朝向相应的一个光吸收材料折射的凸透镜形凸起结构。
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公开(公告)号：KR1020060034850A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020040083856
申请日：2004-10-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L23/48
CPC classification number: H05K1/115 , H01L23/04 , H01L23/49827 , H01L2924/0002 , H05K1/0306 , H05K2201/0179 , H05K2201/068 , H05K2201/09563 , H05K2201/09581 , Y10T428/24917 , Y10T428/24926 , H01L2924/00
Abstract: 개시된 배선 장치는 기판과, 기판에 관통 형성된 관통홀과, 관통홀의 내면에 형성된 완충층 및 완충층의 내부에 매립된 도금층을 포함하며, 이러한 배선 장치는 디바이스 패키지용 보호 캡에 적용되어 도금층 및 패키징 기판의 열 팽창 계수차를 완화시켜 열적 충격이 가해질 경우 패키징 기판이 파손되는 것이 해소된다. 배선 장치는 기판의 하면에 도금 시드층을 형성하는 단계와, 기판에 관통홀을 형성하는 단계와, 기판의 상면을 비롯하여 관통홀의 내주면에 소정 두께로 완충층을 형성하는 단계와, 완충층의 수평면을 제거하는 단계, 및 완충층의 내부에 도금층을 형성하는 단계에 의해 제조된다. 또한, 이러한 배선 제조 과정을 적용한 디바이스 패키지용 보호 캡 제조 방법이 제공된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100492105B1
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：KR1020020082983
申请日：2002-12-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B81B7/00
CPC classification number: G01C19/5762 , B81B3/0059 , B81B2201/0242 , B81B2203/051 , B81B2203/053
Abstract: 수평 가진 수직형 MEMS 자이로스코프 및 그 제작 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 수평 가진 수직형 MEMS 자이로스코프는, 기판, 기판 일영역의 상면에 고정되어 있는 지지대, 지지대 상면에 고정되어 기판에 평행하게 부상되어 있으며, 일영역이 기판에 평행한 소정의 방향으로 진동가능한 구동 구조물, 구동 구조물에 고정되어 구동 구조물과 동일 평면상에 위치하며, 일영역이 기판에 대해 수직방향으로 진동가능한 감지 구조물, 구동 구조물 및 감지 구조물의 상부에 위치하며 기판과 접합되어 있는 캡 웨이퍼, 및 캡 웨이퍼의 하단 소정영역에 형성되고, 감지 구조물의 수직방향 변위를 측정하는 수직변위 감지 고정전극을 포함한다. 본 발명에 의하면, 감지 질량체의 수직변위를 감지하기 위한 감지전극을 캡 웨이퍼에 구성함으로서, 공정 단계가 단축되고 신뢰성이 향상된 수직형 MEMS 자이로스코프를 제작할 수 있다. 또한, 수평형 자이로스코프와 동일한 공정으로 제작가능하므로, 수평형 1축과 수평형 2축을 동일 기판상에 구성하여 3축 MEMS 자이로스코프의 제작이 용이하다.
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公开(公告)号：KR1020040056494A
公开(公告)日：2004-07-01
申请号：KR1020020082983
申请日：2002-12-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B81B7/00
CPC classification number: G01C19/5762 , B81B3/0059 , B81B2201/0242 , B81B2203/051 , B81B2203/053
Abstract: PURPOSE: A MEMS(Micro Electro-Mechanical System) gyroscope and a production method thereof are provided to have the same production process as a horizontal type gyroscope by forming a detecting electrode in a cap wafer. CONSTITUTION: A horizontal seismic excitation vertical type MEMS gyroscope comprises a substrate(300), a support(310), a driving structure, a detecting structure, a cap wafer(350) and a detecting and fixing electrode of a vertical deviation. The support is fixed on the substrate. The driving structure is raised above the substrate in parallel by fixing on the support and vibrated in parallel with the substrate. The detecting structure is located in the same plane with the driving structure by fixing in the driving structure and vibrated in perpendicular to the substrate. The cap wafer is located in the upper parts of the driving structure and the detecting structure and joined with the substrate. The detecting and fixing electrode is formed in the lower part of the cap wafer. The detecting and fixing electrode measures the vertical deviation of the detecting structure. Thereby, the number of processes is reduced and the reliability is improved.
Abstract translation: 目的：通过在盖晶片中形成检测电极，提供了一种MEMS（微机电系统）陀螺仪及其制造方法，以与水平型陀螺仪具有相同的生产工艺。 构造：水平地震激励垂直型MEMS陀螺仪包括基板（300），支撑件（310），驱动结构，检测结构，盖晶片（350）和垂直偏差的检测和固定电极。 支撑体固定在基板上。 驱动结构通过固定在支撑件上而平行地升高到基板上方并与基板平行地振动。 检测结构通过固定在驱动结构中而与驱动结构位于同一平面中并垂直于基板振动。 盖晶片位于驱动结构的上部和检测结构中并与基板接合。 检测和固定电极形成在盖晶片的下部。 检测和固定电极测量检测结构的垂直偏差。 由此，能够减少处理次数，提高可靠性。
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公开(公告)号：KR100256052B1
公开(公告)日：2000-06-01
申请号：KR1019970035815
申请日：1997-07-29
Applicant: 삼성전자주식회사 , 페어차일드코리아반도체 주식회사
Inventor： 정석환
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/06
Abstract: PURPOSE: An inker testing device and a method for testing an inker by using the same are provided to automatically detect the error of the inker by detecting the error of the inker using sensors. CONSTITUTION: An inker testing device comprises a fixing section(21) for fixing an inker. A position adjusting section(34) is coupled to the fixing section(21) for allowing the fixing section(32) to move in horizontal and vertical directions. A power is applied to the inker from a power supplying section(36). A test controlling section(40) is provided to control the test of the inker using data inputted in a data input section(38). An operating section(42) operates the inker based on the signal of the test controlling section(40). A detecting section(44) detects the operating state of the inker and sends a signal to the test controlling section(40). The test result is displayed in a displaying section(48).
Abstract translation: 目的：提供一种墨水测试装置和使用该墨水测试装置的方法，以通过检测使用传感器的墨水器的误差来自动检测墨水器的误差。 构成：一个墨水检测装置包括一个用于固定着墨机的固定部分（21）。 位置调节部分（34）联接到固定部分（21），用于允许固定部分（32）在水平和垂直方向上移动。 从供电部分（36）向打墨机施加电力。 提供了测试控制部分（40），用于使用输入到数据输入部分（38）中的数据来控制着墨机的测试。 操作部（42）基于测试控制部（40）的信号来操作着墨机。 检测部（44）检测上墨机的运转状态，向测试控制部（40）发送信号。 测试结果显示在显示部分（48）中。
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公开(公告)号：KR102176584B1
公开(公告)日：2020-11-09
申请号：KR20130141587
申请日：2013-11-20
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 정전용량미세가공초음파변환기및 그제조방법이개시된다. 개시된초음파변환기는각 엘리먼트를복수의제1 부분으로구분하는제1 트렌치와, 상기제1 트렌치와이격되게형성된제2 트렌치를포함하는디바이스기판과, 상기디바이스기판상에서상기각 엘리먼트에대응되는복수의캐버티를한정하는지지대와, 상기지지대상에서상기복수의캐버티를덮는멤브레인과, 상기멤브레인상에서상기멤브레인및 상기지지대를관통하는홀을통해서상기제2 트렌치내의제2 부분과전기적으로연결된상부전극을포함한다.
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