Abstract:
RIE dry developing process for silylated photoresist using O2/H2 plasma comprises (A) depositing 1.6-1.8 m plasmask light- sensitive film (2) containing a pigment on substrate (1) at 4100 rpm, (B) soft baking the film (2) at 110 deg.C for 60 secs, followed by partially exposing, (C) presilylation baking exposed part (3) and non-exposed part (4) at 160 deg.C for 60 secs, (D) forming silylation agent diffusion layer (5) on exposed part (3) by silylating at 143 deg.C for 7 mins under the atmosphere of diluted silylation agent by air or N2, and (E) removing non-exposed part (4) by dry etching to form a mask layer of light-sensitive film.
Abstract translation:使用O 2 / H 2等离子体的硅烷化光刻胶的RIE干式显影工艺包括:(A)以4100rpm沉积在基片(1)上含有颜料的1.6-1.8μm等离子体掩模感光膜(2),(B)软烘烤薄膜 )在110℃持续60秒,然后在160℃部分暴露(C)预裂化焙烧露出部分(3)和未曝光部分(4)60秒,(D)形成甲硅烷基化剂扩散层 (5)在暴露部分(3)上,通过空气或N 2在稀释的甲硅烷基化剂的气氛下在143℃甲酰化7分钟,和(E)通过干蚀刻除去未曝光的部分(4)以形成掩模 感光层。
Abstract:
The DRAM cells having trench type storage capacitors are layerd and structured using separation by implanted oxygen (SIMOX) silicon on insulation (SOI) to improve layout efficiency and to reduce leakage current. The method includes: (A) depositing storage capacitors on a trench (22) formed inside of a substrate (31); (B) forming heavily doped polycrystal silicon plug (47) and P silicon layer (48) to form electrodes of the storage capacitor; (C) forming gate electrodes and word lines (24) on gate silicon dioxide layer (50) to form a translation transistor; (D) isolating activated regions using field dioxide layer (49); (E) forming contack (27) through silicon dioxide (53) to connect the drain (52) to metal lead wire or bit line (28).
Abstract:
The method for manufacturing a bipolar transistor having a high speed operation charactristic and a high integration or a high current switching device utilizes a polysilicon self aligning process. The method comprises the steps of evaporating a first amorphous silicon film (116) having a diffusion source function on a P type intrinsic base (104), ion-implanting impurities there into and diffusing them to the surface of the silicon film (116) to form an emitter junction (118); evaporating a titanium film (120) and a second amorphous silicon film (121); and ion- implanting impurities there into and heat-treating it to forming a titanium silicide film (122).
Abstract:
An apparatus for audio encoding and decoding using warped linear prediction coding, and a method thereof are provided to remove the redundancy of an original signal by using the warped linear prediction coding in an audio encoding process, provide an error signal to an audio encoder as an input signal, and transform a psychological sound model to be suitable for the error signal, thereby increasing the efficiency of audio signal compression and performing audio signal encoding. An error signal calculating unit(110) performs the warped linear prediction coding of an audio signal inputted from the outside in a temporal area to calculate an error signal. A frequency domain converting unit(120) converts the error signal obtained in the error signal calculating unit into a frequency domain signal. A masking threshold value calculating unit(131,132) calculates a masking threshold value used in the encoding of the error signal by using an original signal and encoding information used in the warped linear prediction coding of the original signal. A perceptual encoding unit(140) performs the perceptual encoding of the error signal converted in the frequency domain converting unit by using the calculated masking threshold value.
Abstract:
본 발명은 분산 음성 인식 시스템에서 블록제한된 트렐리스 부호화 양자화(Block Constrained Trellis Coded Quantization: BC-TCQ)를 이용하여 멜켑스트럼 계수를 양자화하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예에 따른 분산 음성 인식 시스템에서의 멜켑스트럼 계수 양자화 방법에 따르면, 입력되는 멜켑스트럼 계수 벡터로부터 멜켑스트럼 계수 벡터의 DC 성분을 제거한다. 그리고 DC 성분이 제거된 멜켑스트럼 벡터 계수에 대하여 프레임간 예측을 수행하여 예측에러벡터를 생성하고, 생성된 예측에러벡터를 BC-TCQ를 이용하여 양자화한다. 다음 양자화된 예측에러벡터에 프레임내 예측 보상을 수행하고 DC 성분을 더하여 양자화된 최종 멜켑스트럼 계수 벡터를 생성한다. 이와 같이 하면, 양자화 시에 요구되는 메모리 크기와 코드북 탐색 시에 계산량을 감소시킬 수 있으며, 향상된 양자화 성능을 얻을 수 있게 된다. 멜켑스트럼, 양자화, BC-TCQ, 분산음성인식시스템, 벡터, 트렐리스
Abstract:
본 발명은 정전구동 마이크로 릴레이 소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 본원 발명은 기판(10)상의 소정영역에 일부분이 단속되어 종방향으로 형성된 하부 접촉전극(12)과, 상기 하부 접촉전극(12)의 양측에 각각 형성되어 있는 하부 구동전극(13,14)과, 상기 하부 접촉전극(12)과 수직으로 대응하는 부분이 오목한 형상을 갖도록 아래로 굴곡진 제1오목부(17)가 형성되어 있고 상기 하부 구동전극(13,14)과 수직으로 대응하는 부분이 오목한 형상을 갖도록 각각 아래로 굴곡진 제2오목부(18,19)가 형성되어 있으며 하부 접촉전극(12)과 하부 구동전극(13,14)사이에 소정의 공간이 형성되도록 소정의 높이에 브릿지형상으로 형성되어 있는 브릿지 몸체(21)와, 상기 하부 접촉전극(12)과 대면하는 브릿지 몸체(21)의 제1오목부의 배면에 형성되어 있는 상부 접촉전극(20)� ��, 상기 브릿지 몸체(21)의 전면에 형성되어 있는 상부 구동전극(20)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
a field oxide(2) formed on a semiconductor substrate(1); a first electrode(3) formed and patterned on the field oxide(2); a first insulating film(4) formed on the field oxide(2) through the upper part of both ends of the first electrode(3); a second insulating film(5) used as an interfacial layer by being formed on the exposed surface of the first electrode(3); and a second electrode(6) formed on the second insulating film(5).