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公开(公告)号：KR1020050078252A
公开(公告)日：2005-08-04
申请号：KR1020050060919
申请日：2005-07-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H05B33/04
CPC classification number: H01L51/5237 , H01L21/02274 , H01L21/0229 , H01L21/02365 , H01L21/0262 , H01L51/5203 , H01L51/56 , H01L2924/12044
Abstract: PURPOSE: A flat panel display device and a method for forming a protective layer thereof are provided to maintain a lifetime and a characteristic by forming a protective layer in a low temperature process. CONSTITUTION: A flat panel display device is fabricated on a substrate(100). The flat panel display device formed on the substrate is transferred to a process chamber in order to form a protective layer(118). A plurality of precursors including elements of the protective layer are injected into the chamber. The protective layer of an inorganic insulating layer is formed under the temperature of 20 to 220°C by using an atomic layer deposition method using a surface reaction between the precursors. The flat panel display device is an organic electro-luminescent device including the first electrode(102), an electro-luminescent layer, and the second electrode(114). The protective layer is formed by stacking an organic insulating layer and a protective metal layer(116) to the inorganic insulating layer.
Abstract translation: 目的：提供一种平板显示装置及其保护层形成方法，以通过在低温工艺中形成保护层来保持寿命和特性。 构成：在基板（100）上制造平板显示装置。 形成在基板上的平板显示装置被转移到处理室以形成保护层（118）。 将包括保护层的元件的多个前体注入到腔室中。 通过使用前体之间的表面反应的原子层沉积法，在20〜220℃的温度下形成无机绝缘层的保护层。 平板显示装置是包括第一电极（102），电致发光层和第二电极（114）的有机电致发光器件。 通过将有机绝缘层和保护金属层（116）堆叠到无机绝缘层上形成保护层。
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52.发明公开유기 발광 소자의 산화물 애노드 전극 형성 방법 및산화물 애노드 전극 층을 포함하는 유기 발광 소자 失效用于形成有机电致发光器件的氧化物阳极的方法，包括通过原子层沉积工艺在氧化物电极层上形成氧化物电极层和在氧化物层上形成表面氧化物层的步骤，以及包括氧化物阳极层的有机电致发光器件
公开(公告)号：KR1020040103672A
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：KR1020030035290
申请日：2003-06-02
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H05B33/10
CPC classification number: H01L51/0021 , C23C16/45525 , H01L51/0008 , H01L51/5206
Abstract: PURPOSE: A method and an organic electroluminescence device are provided to control a work function and achieve improved characteristics even in a low temperature processing by forming a surface oxide layer on an oxide electrode through the use of an atomic layer deposition process. CONSTITUTION: A method comprises a first step of forming a doped oxide electrode layer on a substrate; and a second step of forming a surface oxide layer on the oxide electrode layer through an atomic layer deposition process. The first step includes a first sub-step of repeating, several times, a process of forming an oxide base layer by using a surface chemical reaction or a mixed deposition method of a surface chemical reaction and a vapor chemical reaction; a second sub-step of repeating, several times, a process of doping the oxide base layer with a dopant; and a third sub-step of repeating, several times, a total process including the first and second sub-steps.
Abstract translation: 目的：提供一种方法和有机电致发光器件，以通过使用原子层沉积工艺在氧化物电极上形成表面氧化物层，即使在低温处理中也可以控制功函数并获得改进的特性。 构成：一种方法包括在衬底上形成掺杂的氧化物电极层的第一步骤; 以及通过原子层沉积工艺在氧化物电极层上形成表面氧化物层的第二步骤。 第一步包括通过使用表面化学反应或表面化学反应和蒸汽化学反应的混合沉积方法重复几次形成氧化物基层的工艺的第一子步骤; 重复多次掺杂氧化物基层的工艺的第二子步骤; 以及重复多次包括第一和第二子步骤的总体处理的第三子步骤。
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公开(公告)号：KR100340687B1
公开(公告)日：2002-06-20
申请号：KR1019990055386
申请日：1999-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명은디스플레이소자기술에관한것으로, 특히박막전계발광소자(TFELD)에관한것이며, 더자세히는백색전계발광소자와천연색전계발광소자에적합한백색형광막에관한것이다. 다층구조백색형광막은청색영역의색도와휘도가증가된것으로서, 원자층증착법이나화학증착법으로형성된 CaS:Pb 박막이청색과녹색형광막으로작용하고스퍼터링, 전자빔증착법, 원자층증착법, 혹은화학증착법으로증착된 CaS:Eu이적색형광막으로작용한다. CaS 모재료에도핑된 Pb은조절된결정의크기에따라한층에서는청색발광체로, 다른층에서는녹색발광체로작용한다. 동일한모재료로구성된상기다층구조형광막은결정성이우수하게성장돨수 있어박막의질이높이지며결함이적어소자의안정성을높일수 있으며특히, 도핑된발광체들의감쇠시간과동작전압에따른휘도특성이서로유사하여구동주파수나구동전압의변화에따라백색광의색순도가영향을받지않음을특징으로한다. 상기다층구조의형광막으로부터색필터를사용하면넓은색영역에서원하는색을얻을수 있다.
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公开(公告)号：KR1020010064242A
公开(公告)日：2001-07-09
申请号：KR1019990062392
申请日：1999-12-27
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: A blue ELD(electroluminescent display) is provided to ensure low operating voltage, high efficiency and easy adjustment of luminance by using a uniform thin fluorescent film of Cas:Pb grown through atomic layer deposition or chemical deposition. CONSTITUTION: A DC blue ELD has a transparent glass substrate(1), a transparent electrode(2) on the transparent glass substrate(1), a CaS:Pb fluorescent film(3) on the transparent electrode(2), an insertion thin film(4) on the fluorescent film(3) and a metal electrode(6) on the insertion thin film(4). The CaS:Pb fluorescent film(3) has a thickness of 1000 to 10000 angstroms, and is doped with phosphor Pb 0.4 to 2.0mol%. A current barrier film is formed between the insertion thin film and the metal electrode, and made of a MnO2 layer.
Abstract translation: 目的：通过使用通过原子层沉积或化学沉积生长的均匀的Cas：Pb薄膜荧光膜，提供蓝色ELD（电致发光显示器）以确保低工作电压，高效率和容易调节亮度。 构成：DC蓝色ELD在透明玻璃基板（1）上具有透明玻璃基板（1），透明电极（2），透明电极（2）上的CaS：Pb荧光膜（3），插入薄片 荧光膜（3）上的膜（4）和插入薄膜（4）上的金属电极（6）。 CaS：Pb荧光膜（3）的厚度为1000〜10000埃，掺杂了0.4〜2.0摩尔％的磷光体Pb。 在插入薄膜和金属电极之间形成由MnO 2层制成的电流阻挡膜。
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公开(公告)号：KR1020150081026A
公开(公告)日：2015-07-13
申请号：KR1020140000574
申请日：2014-01-03
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/786 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/78618 , H01L29/78696
Abstract: 박막트랜지스터가제공된다. 박막트랜지스터는기판, 상기기판위에형성된활성층, 상기활성층위에형성된게이트절연막, 상기게이트절연막위에형성된게이트전극, 상기게이트전극양쪽의상기활성층에형성된도핑영역, 및상기게이트전극양측의상기기판상에서로이격되고상기도핑영역과직접접촉하는소스전극및 드레인전극을포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种薄膜晶体管。 薄晶体管包括衬底; 形成在所述基板上的有源层; 形成在有源层上的栅极绝缘膜; 形成在栅极绝缘膜上的栅电极; 形成在栅电极两侧的有源层上的掺杂区域; 以及源电极和漏电极在栅极两侧的衬底上彼此分离，并与掺杂区域直接接触。 因此，本发明能够提供没有接触工艺的自配置型半导体薄膜晶体管结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140135588A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：KR1020130127995
申请日：2013-10-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/417
CPC classification number: H01L27/1288 , H01L27/1225 , H01L29/45 , H01L29/7869
Abstract: 본 발명은 박막 트랜지스터의 제조방법을 제공한다. 이 박막 트랜지스터의 제조방법은 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 것, 게이트 전극이 형성된 상기 기판 상에 게이트 절연막을 형성하는 것, 상기 게이트 절연막 상에 제 1 도전층을 형성하는 것, 상기 제 1 도전층 상에 제 2 도전층을 형성하는 것, 상기 제 2 도전층 상에 상기 게이트 전극 일측의 소스 영역에서 제 1 두께를 갖는 제 1 영역, 상기 게이트 전극 및 상기 게이트 전극 타측의 드레인 영역에서 상기 제 1 두께보다 얇은 제 2 두께를 갖는 제 2 영역을 포함하는 제 1 포토 레지스트 패턴을 형성하는 것, 상기 제 1 포토 레지스트 패턴을 사용하며 상기 제 1 도전층 및 상기 제 2 도전층을 식각하는 것, 상기 제 1 영역의 상기 레지스트는 남기면서 상기 제 2 영역의 상기 레지스트는 제거하여 제 2 포토 레지스트 패턴을 형성하는 것, 상기 제 2 포토 레지� �트 패턴을 사용하여 상기 제 2 도전층을 식각하는 것, 상기 기판 상에 네가티브형의 레지스트를 도포하는 것, 배면 노광하여 상기 게이트 전극 상의 상기 네가티브형의 레지스트를 제거하는 것, 상기 게이트 전극 상의 상기 제 1 도전층을 식각하는 것, 상기 게이트 전극 상의 상기 게이트 절연막 상에 산화물 반도체층을 형성하는 것, 상기 산화물 반도체층이 형성된 상기 기판 상에 보호층을 형성하는 것, 상기 보호층 상에 평탄층을 형성하는 것 을 포함한다.
Abstract translation: 提供一种制造薄膜晶体管的方法。 制造薄膜的方法包括以下步骤：在衬底上形成栅电极; 在其上形成有栅电极的基板上形成栅极绝缘体; 在所述栅极绝缘体上形成第一导电层; 在所述第一导电层上形成第二导电层; 在所述第二导电层上形成包括第一区域和第二区域的第一光致抗蚀剂图案，其中所述第一区域在所述栅极电极的一侧的源极区域上具有第一厚度，并且所述第二区域具有小于 栅电极上的第一厚度和栅电极另一侧的漏区; 使用第一光致抗蚀剂图案蚀刻第一导电层和第二导电层; 通过在第一区域上留下抗蚀剂并除去第二区域上的抗蚀剂来形成第二光致抗蚀剂图案; 使用第二光致抗蚀剂图案蚀刻第二导电层; 在衬底上施加负性抗蚀剂; 通过背面曝光从栅电极去除负光刻胶; 蚀刻栅电极上的第一导电层; 在栅电极上的栅极绝缘体上形成氧化物半导体层; 在形成有氧化物半导体层的基板上形成保护层; 并在保护层上形成平坦化层。
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公开(公告)号：KR1020140066878A
公开(公告)日：2014-06-03
申请号：KR1020120133471
申请日：2012-11-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/786 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/78696 , H01L29/24 , H01L29/45 , H01L29/4908 , H01L29/66742 , H01L29/66969 , H01L29/7869 , H01L29/66757 , H01L29/41733
Abstract: Provided are a self-aligned thin film transistor capable of improving the operation speed and stability, and minimize the size at the same time by forming self-aligned source and drain electrodes and a manufacturing method thereof. According to an embodiment of the present invention, the thin film transistor manufacturing method comprises: a step of successively forming an active layer, a gate insulating film, and a gate layer on a substrate; a step of forming a photosensitive pattern to define the shape of a gate electrode on the gate layer; a step of successively etching the gate layer, the gate insulating film, and the active layer using the photosensitive pattern; a step of depositing source and drain layers on the etched substrate in a deposition method with directivity; and a step of forming the gate electrode and self-aligned source and drain electrodes by removing the photosensitive pattern.
Abstract translation: 本发明提供一种能够提高操作速度和稳定性的自对准薄膜晶体管，并且通过形成自对准源极和漏极同时使尺寸最小化及其制造方法。 根据本发明的实施例，薄膜晶体管的制造方法包括：在衬底上依次形成有源层，栅极绝缘膜和栅极层的步骤; 形成感光图案以限定栅极层上的栅电极的形状的步骤; 使用感光图案连续地蚀刻栅极层，栅极绝缘膜和有源层的步骤; 以具有指向性的沉积方法在蚀刻的衬底上沉积源极和漏极层的步骤; 以及通过去除感光图案形成栅电极和自对准源电极和漏电极的步骤。
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公开(公告)号：KR1020130082637A
公开(公告)日：2013-07-22
申请号：KR1020110133210
申请日：2011-12-12
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: A transparent display-using medical service providing device is provided to allow a doctor to effectively treat parents and perform operations with precision by displaying an augmented medical images combining several three-dimensional images collected by medical sensors and real-world images shot by a medical camera on a transparent display. CONSTITUTION: A medical camera (10) shoots real-world medical images. A group of terminals (30) generates AR (Augmented Reality) medical images by combining the real-world images shot by the medical camera and several medical images collected by medical sensors. A transparent display (20) displays the generated AR medical images. [Reference numerals] (30) Terminal; (40) Network; (50) Web server; (AA) Member information; (BB) Community information; (CC) Medical information
Abstract translation: 目的：提供一种透明的显示使用医疗服务提供装置，以允许医生有效地对待父母并且通过显示组合由医疗传感器收集的几个三维图像的增强的医学图像和通过 医疗相机在透明显示屏上。 规定：医疗相机（10）拍摄现实世界的医学图像。 一组终端（30）通过组合由医疗摄像机拍摄的真实世界图像和由医疗传感器收集的几个医疗图像来生成AR（增强现实）医学图像。 透明显示器（20）显示生成的AR医学图像。 （附图标记）（30）端子; （40）网络; （50）Web服务器; （AA）会员信息; （BB）社区信息; （CC）医疗信息
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公开(公告)号：KR1020130038722A
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：KR1020110103231
申请日：2011-10-10
Applicant: 한국전자통신연구원 , 건국대학교 산학협력단
CPC classification number: H02M3/073 , G09G3/3696 , H02M2003/077
Abstract: PURPOSE: A direct current voltage conversion circuit of a liquid crystal display device is provided to correspond to the dispersion of broad threshold voltage by applying positive gate source voltage when turning on a TFT(Thin Film Transistor), and applying negative gate source voltage when turning off the TFT. CONSTITUTION: A main pumping circuit part(710) comprises multiple TFTs(M1-M8). The multiple TFTs are turned on and off by turns. A main pumping circuit part outputs voltage for driving a liquid crystal display device. A switch control signal generating part(720) controls the voltage applied to the gate of multiple thin film transistors with a clock signal inversion.
Abstract translation: 目的：提供液晶显示装置的直流电压转换电路，以便在开启TFT（薄膜晶体管）时施加正栅极源电压，并在转动时施加负栅极源电压，以对应于宽阈值电压的偏差 关掉TFT。 构成：主泵电路部分（710）包括多个TFT（M1-M8）。 多个TFT轮流打开和关闭。 主泵电路部分输出用于驱动液晶显示装置的电压。 开关控制信号生成部（720）通过时钟信号反转来控制施加到多个薄膜晶体管的栅极的电压。
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公开(公告)号：KR101252294B1
公开(公告)日：2013-04-05
申请号：KR1020090061100
申请日：2009-07-06
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명에 따른 투명 정보 전달 윈도우는 투명한 상태에서 정보의 디스플레이가 가능하므로, 시야를 방해하지 않으면서도 다양한 정보를 공간적 제약 없이 디스플레이 할 수 있다. 또한, 사람들의 휴대 단말기로 디스플레이 정보를 무선으로 전송할 수 있으며, 이에 따라 해당 디스플레이 장소를 벗어나게 되더라도 사람들은 자신의 휴대 단말기를 통해 상품에 대한 자세한 정보를 제공받을 수 있다.
투명, 디스플레이, 무선, 윈도우, 정보
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