Abstract:
PURPOSE: A memory cell and a memory device using the same are provided to improve integrity of the memory cell by reducing the number of wires for one memory cell. CONSTITUTION: A reference voltage is applied to a drain of a ferroelectric transistor. A first switch connects a source of the ferroelectric transistor to a first line(L1) in response to a scan signal. A second switch(TB) connects a gate of the ferroelectric transistor to a second line(L2) in response to the scan signal. The scan line is connected to the gate of the first switch and the second switch and applies the scan signal. A reference line is connected to the drain of the ferroelectric transistor.
Abstract:
본 발명은 비휘발성 메모리 소자에 관한 것으로, 상 변화 메모리 소자의 제조 방법은, (a) 기판 상에 제 1 반응층을 형성하는 단계; (b) 상기 제 1 반응층 상부의 일부를 노출시키는 컨택 홀이 형성되도록 상기 제 1 반응층을 덮는 절연층을 형성하는 단계; (c) 상기 컨택 홀을 매립하는 제 2 반응층을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 제 1 반응층 및 상기 제 2 반응층을 이루는 물질 간의 고상 반응을 일으킴으로써 상기 제 1 반응층 및 상기 제 2 반응층 사이에 상 변화층을 생성하는 단계를 포함한다. 따라서, 낮은 전력 소모를 가지며 동작 속도가 빠른 상 변화 메모리 소자를 제공할 수 있다. 상 변화, 메모리, 비휘발성, 고상 반응, chalcogenide, germanium-antimony(GeSb)
Abstract:
PURPOSE: An electric component and a phase change memory device thereof are provided to offer a phase change electronic device with low power consumption by reducing a programmable volume. CONSTITUTION: A second reactive layer(210) is formed on a first reactive layer(208). A phase-change layer(215) is formed between a first reactive layer and a second reactive layer. The phase-change layer is formed with a solid-state reaction of a material comprising the first reactive layer and the second reactive layer. An insulation layer covers the first reactive layer in order to form a contact hole which exposes a part of the upper part of the first reactive layer.
Abstract:
PURPOSE: A nonvolatile programmable device including a phase change layer and a manufacturing method thereof are provided to improve and increase the speed of a repeating record operating property using a phase transition phenomenon. CONSTITUTION: A first threshold switching layer(111) is connected to a first terminal. A phase change layer(121) is connected to the first threshold switching layer. A second threshold switching layer(123) is connected to the phase change layer. A second terminal is connected to the second threshold switching layer. A third terminal is connected to one-side part of the phase change layer. A fourth terminal is connected to the other side part of the phase change layer.
Abstract:
본 발명의 고체 전해질 메모리 소자는 기판 상에 형성된 제1 전극층과, 제1 전극층 상에 은(Ag)-안티몬(Sb)-텔레륨(Te) 합금 또는 구리--안티몬-텔레륨 합금으로 구성된 고체 전해질층과, 고체 전해질층 상에 형성된 제2 전극층을 포함하여 이루어진다. 고체 전해질층을 구성하는 은-안티몬-텔레륨 합금은 은 40-90 원자(atomic)%, 안티몬 5-30 원자(atomic)%, 텔레륨 5-30 원자(atomic)%의 조성을 갖고, 고체 전해질층을 구성하는 구리-안티몬-텔레륨 합금은 구리 40-90 원자(atomic)%, 안티몬 5-30 원자(atomic)% 및 텔레륨 5-30 원자(atomic)%의 조성을 갖는다. 고체 전해질층은 고체 전해질층을 구성하는 은 또는 구리로 이루어진 금속 이온이 포함되어 있고, 제2 전극층의 양 및 음의 인가 전압에 따라 각각 고체 전해질층 내에 금속 이온의 도움으로 인해 도전 링크가 형성되거나 소멸되어 고체 전해질층의 저항이 변화한다.
Abstract:
본발명은 금속 클러스터를 나노와이어의 성장 촉매로 이용하는 VLS(Vapor-Liquid-Solid) 공정을 이용하는 GeTe 나노와이어 제조 방법을 제공한다. 본발명에 따른 VLS법을 이용한 GeTe 나노와이어의 제조방법은, GeTe 원료와 기판을 반응로 내에 이격시켜 배치하는 단계와, 상기 GeTe 원료가 휘발하여 GeTe 가스 상태가 되도록 상기 GeTe 원료를 소스 온도로 가열시키고 상기 기판을 기판 온도로 가열시키는 단계와, 형성 시간 동안, 상기 반응로 내에 반응 가스를 흘려보내어 상기 GeTe 가스를 상기 기판상에 흡착시키고 확산 및 석출반응을 수행하여 GeTe 나노와이어를 성장시키는 단계를 포함한다. GeTe 나노와이어, VLS(Vapor-Liquid-Solid)법
Abstract:
본 발명은 상변화 메모리 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 상변화 메모리 소자의 상변화 재료층으로 게르마늄(Ge)-안티몬(Sb)-텔레륨(Te)계 Ge 2 Sb 2+x Te 5 (0.12≤x≤0.32)를 사용함으로써, 상변화 재료의 결정 및 비정질 상태 사이의 상전이 과정에 있어서 그 결정 상태가 준안정상과 안정상의 복합상이 아닌 안정상의 단일상으로 확정되고, 온도 상승에 따른 상전이가 비정질 상태로부터 안정상의 단일상 결정 상태로 직접 전이하게 되므로, 상변화 메모리 소자의 셋 동작 안정성 및 셋 상태 저항값의 분포 특성을 크게 개선시킬 수 있다. 또한, 상변화 메모리 소자의 상변화 재료층으로 Ge 2 Sb 2 + x Te 5 (0.12≤x≤0.32)를 사용함으로써, 비정질 상태의 저항값이 결정화 온도 부근의 고온에서 장시간 동안 유지될 수 있으므로, 상변화 메모리 소자의 리셋 동작 안정성 및 반복 기록 동작 과정에서의 안정성을 크게 개선시킬 수 있다. 상변화, 비휘발성 메모리, 게르마늄-안티몬-텔레륨, 동작신뢰성
Abstract:
A method for manufacturing GeTe nanowire using a vapor liquid solid method is provided to properly select source temperature, substrate temperature, gas volume and growth time in order to grow nanowire with desired length and thickness. A method for manufacturing GeTe nanowire using a vapor liquid solid method comprises the following steps of: arranging a GeTe raw material at some distance from a substrate within a furnace(3); heating the GeTe raw material up to the source temperature in order to volatilize the GeTe raw material and heating the substrate up to the substrate temperature; and flowing reaction gas into the furnace during formation time to adsorb the GeTe gas on the substrate and performing diffusion and eduction in order to grow nanowire.
Abstract:
A solid electrolyte memory device and a manufacturing method thereof are provided to perform nonvolatile, a high speed operation, and a high integration by using a silver-antimony-tellurium alloy or a copper-antimony-tellurium alloy as a solid electrolyte. In a solid electrolyte memory device, a first electrode layer(106) is formed on a substrate(100). A solid electrolyte layer(128) made of a silver-antimony-tellurium alloy or a copper-antimony-tellurium alloy is included on the first electrode layer. A second electrode layer(132) is formed on the solid electrolyte layer. The silver-antimony-tellurium alloy is made of silver 40~90 atomic%, antimony 5~30 atomic%, and tellurium 5~30 atomic%. The copper-antimony-tellurium alloy is made of copper 40~90 atomic%, antimony 5~30 atomic%, and tellurium 5~30 atomic%.