公开(公告)号：JP5794598B2

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：JP2014523691

申请日：2013-06-26

Applicant: 国立研究開発法人物質・材料研究機構

Inventor： ザン ハン ,  唐 捷 ,  秦 禄昌 ,  ユエン ジンシ ,  新谷 紀雄 ,  山内 泰

IPC: H01J37/073 ,  H01J9/02 ,  H01J1/304

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J1/3044 ,  H01J37/073 ,  H01J37/285 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30411 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2237/06341

公开(公告)号：JP2011014529A

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：JP2010097291

申请日：2010-04-20

Applicant: National Institute For Materials Science ,  独立行政法人物質・材料研究機構

Inventor： TO SHO ,  CHO HAN ,  QIN LU-CHANG ,  SHINTANI NORIO

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J1/3044 ,  H01J37/065 ,  H01J37/073 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/26

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron source capable of enhancing a brightness and a life of the electron source, and capable of restraining energy from being spread, by applying a rare-earth hexaboride to the cold-cathode field-emission electron source.SOLUTION: The problem is solved by attaching a rare-earth hexaboride single crystal nanofiber onto a surface of an electron source support needle, in the cold cathode field emission electron source for emitting electrons by a high electric field.

Abstract translation: 要解决的问题：通过向冷阴极场致发射电子源施加稀土六硼化物，能够提供能够提高电子源的亮度和寿命并且能够抑制能量扩散的电子源。 解决方案：通过在用于通过高电场发射电子的冷阴极场发射电子源中将稀土六硼化物单晶纳米纤维附着到电子源支撑针的表面上来解决问题。

公开(公告)号：JP2010157490A

公开(公告)日：2010-07-15

申请号：JP2009233503

申请日：2009-10-07

Applicant: Canon Inc ,  キヤノン株式会社

Inventor： AOKI NAOFUMI ,  NISHIDA AKIYUKI

IPC: H01J1/304 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J1/3044 ,  H01J1/304 ,  H01J1/3046 ,  H01J9/025 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/30446 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2329/0439 ,  H01J2329/0471 ,  H01J2329/0473

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stably operating electron emitting element. SOLUTION: The electron emitting element 10 includes at least a structure 3 constituted of a conductive member, and a lanthanum boride layer 5 formed on the structure 3. An oxide layer 4 is formed between the structure 3 and the lanthanum boride layer 5. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供稳定操作的电子发射元件。 解决方案：电子发射元件10至少包括由导电构件和形成在结构3上的硼化镧层5构成的结构3.在结构3和硼化镧层5之间形成氧化物层4 。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2010157489A

公开(公告)日：2010-07-15

申请号：JP2009217330

申请日：2009-09-18

Applicant: Canon Inc ,  キヤノン株式会社

Inventor： AOKI NAOFUMI ,  NISHIDA AKIYUKI

IPC: H01J9/02 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J1/304 ,  H01J1/3044 ,  H01J1/3046 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/30423 ,  H01J2201/30426 ,  H01J2201/30446 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2329/0423 ,  H01J2329/0439 ,  H01J2329/0471 ,  H01J2329/0473

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of easily manufacturing an electron emitting element coated with a low work function material and having a favorable electron emitting characteristic to suppress a variation in electron emitting characteristic among the elements with high reproducibility. SOLUTION: In the method of manufacturing the electron emitting element, a metal oxide layer is formed on a surface of a structure before coating the underlying structure with the low work function material. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种容易地制造涂覆有低功函数材料并具有良好的电子发射特性的电子发射元件的制造方法，以抑制重复性高的元件之间的电子发射特性的变化。 解决方案：在制造电子发射元件的方法中，在用低功函数材料涂覆下面的结构之前，在结构的表面上形成金属氧化物层。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：TW201214495A

公开(公告)日：2012-04-01

申请号：TW100111874

申请日：2011-04-06

Applicant: 光學實驗室公司

Inventor： 胡魁鴻

IPC: H01J

CPC classification number: H01J1/3044 ,  B82Y20/00 ,  H01J1/304 ,  H01J31/123 ,  H01J63/02 ,  H01J63/04 ,  H01J2201/3043 ,  H01J2201/30446 ,  H01J2201/30484 ,  H01J2201/30488 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2329/0428 ,  H01J2329/0439 ,  H01J2329/0465 ,  H01J2329/0468 ,  H01J2329/0471 ,  H01J2329/0473

Abstract: 本發明係關於一種場發射陰極，該場發射陰極包含至少部分導電基底結構，及空間上分佈於該基底結構處之複數個導電微米大小區段，其中該複數個微米大小區段之至少一部分各自具備複數個導電奈米結構。本發明之優點包括較低功率消耗，以及(例如)包含該場發射陰極之場發射照明配置之光輸出增加。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种场发射阴极，该场发射阴极包含至少部分导电基底结构，及空间上分布于该基底结构处之复数个导电微米大小区段，其中该复数个微米大小区段之至少一部分各自具备复数个导电奈米结构。本发明之优点包括较低功率消耗，以及(例如)包含该场发射阴极之场发射照明配置之光输出增加。

公开(公告)号：TW201810343A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：TW106126688

申请日：2017-08-08

Applicant: 漢民微測科技股份有限公司 ,  HERMES MICROVISION, INC. ,  荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 竇 菊英 ,  DOU, JUYING ,  樊征 ,  FAN, ZHENG ,  郭子毅 ,  KUO, TZU YI ,  陳 仲瑋 ,  CHEN, ZHONGWEI

IPC: H01J37/075 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J1/14 ,  H01J1/304 ,  H01J37/06 ,  H01J37/065 ,  H01J37/073 ,  H01J37/3178 ,  H01J2201/196 ,  H01J2201/30403 ,  H01J2201/30426 ,  H01J2201/30449 ,  H01J2201/30484 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2209/0223 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/06325

Abstract: 本發明揭示電子發射器及製造該等電子發射器之方法。根據某些實施例，一電子發射器包括具有一平坦區之一頂端，該平坦區具有在大約(0.05至10)微米範圍內之一直徑。該電子發射器頂端經組態以釋放場發射電子。該電子發射器進一步包括塗佈於該頂端上之一功函數降低材料。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示电子发射器及制造该等电子发射器之方法。根据某些实施例，一电子发射器包括具有一平坦区之一顶端，该平坦区具有在大约(0.05至10)微米范围内之一直径。该电子发射器顶端经组态以释放场发射电子。该电子发射器进一步包括涂布于该顶端上之一功函数降低材料。

公开(公告)号：TW201810340A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：TW106121916

申请日：2017-06-30

Applicant: 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： 史庫茲 威廉 G ,  SCHULTZ, WILLIAM G. ,  德爾加多 吉爾達多 R ,  DELGADO, GILDARDO R. ,  希爾 法蘭斯 ,  HILL, FRANCES ,  葛爾夏 貝里歐斯 艾德葛爾朵 ,  GARCIA BERRIOS, EDGARDO ,  葛爾夏 盧蒂 ,  GARCIA, RUDY

IPC: H01J33/04 ,  G21K5/02

CPC classification number: H01J1/3044 ,  H01J1/34 ,  H01J9/025 ,  H01J19/24 ,  H01J19/82 ,  H01J2201/30411 ,  H01J2201/30449 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2209/0223

Abstract: 本發明揭示一種發射器，其含有一金屬硼化物材料，該發射器具有擁有1 µm或更小之一半徑之一至少部分圓形尖端。可施加一電場至該發射器，且從該發射器產生一電子束。為形成該發射器，從一單晶棒移除材料以形成含有一金屬硼化物材料之一發射器，其具有擁有1 µm或更小之一半徑之一圓形尖端。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种发射器，其含有一金属硼化物材料，该发射器具有拥有1 µm或更小之一半径之一至少部分圆形尖端。可施加一电场至该发射器，且从该发射器产生一电子束。为形成该发射器，从一单晶棒移除材料以形成含有一金属硼化物材料之一发射器，其具有拥有1 µm或更小之一半径之一圆形尖端。

公开(公告)号：TWI483279B

公开(公告)日：2015-05-01

申请号：TW100111874

申请日：2011-04-06

Applicant: 光學實驗室公司 ,  LIGHTLAB SWEDEN AB

Inventor： 胡魁鴻 ,  HU, QIU-HONG

IPC: H01J1/304 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J1/3044 ,  B82Y20/00 ,  H01J1/304 ,  H01J31/123 ,  H01J63/02 ,  H01J63/04 ,  H01J2201/3043 ,  H01J2201/30446 ,  H01J2201/30484 ,  H01J2201/30488 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2329/0428 ,  H01J2329/0439 ,  H01J2329/0465 ,  H01J2329/0468 ,  H01J2329/0471 ,  H01J2329/0473