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    プラズマ生成方法及びプラズマ源
    63.
    发明专利
    プラズマ生成方法及びプラズマ源 有权
    等离子体生成方法和等离子体源

    公开(公告)号：JP2015122325A

    公开(公告)日：2015-07-02

    申请号：JP2015018335

    申请日：2015-02-02

    Applicant: エフ イー アイ カンパニ ,  FEI COMPANY

    Inventor： ショーン ケロッグ ,  トム ミラー ,  ショウイン チャン ,  アンソニー グラウペラ ,  ジェイムス ビー マギン ,  トム デリワッチャー

    IPC: H01J37/08 ,  H01J27/16

    CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/16 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/0815 ,  H01J2237/31749

    Abstract: 【課題】誘導結合型プラズマイオン源において、ガス導入部のアーク気層放電を防ぎ、さらに冷却源を備えることにより、小型で強力なプラズマイオン源を提供する。 【解決手段】集束荷電粒子ビームシステムのための誘導結合型プラズマ源100が、プラズマ室102を絶縁し冷却する誘電体の冷却流体126を含んでいる。また、ガスを導入する導管154端部にある流量制限器158には、比較的高い圧力のところでガス中の電圧降下を主に発生させることによってアーク放電を低減できるように、プラズマ電位に近い電位を持たせる。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题：通过防止气体导入部分的电弧气体层放电并且在感应耦合型等离子体离子源中进一步包括冷却源来提供紧凑的强等离子体离子源。解决方案：一种感应耦合型等离子体离子源100，用于 收敛粒子束系统包括用于绝缘和冷却等离子体室102的电介质冷却流体126.位于导管154的引导气体的端部的流量限制器158具有接近等离子体电位的电位，使得能够 通过主要在较高压力下产生气体中的电压降来减小电弧放电。

    Sample carrier for electron microscope
    65.
    发明专利
    Sample carrier for electron microscope 有权
    电子显微镜样品载体

    公开(公告)号：JP2014137995A

    公开(公告)日：2014-07-28

    申请号：JP2014003083

    申请日：2014-01-10

    Applicant: Fei Co ,  エフ イー アイ カンパニFei Company

    Inventor： NEDERLOF FRANK

    IPC: H01J37/20

    CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/2204 ,  G01N23/2251 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/26

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sample carrier (10) for a transmission electron microscope, capable of solving a problem of shadowing that occurs when sample carriers according to a conventional art, such as a half-moon grid in combination with a detector detecting, for example, X rays emitted at a large emittance angle, are used, while similar problems also occur when tomography in which a sample is rotated over a large angle is performed.SOLUTION: The present invention provides a solution to shadowing by forming a part (16) of a grid into a tapering shape, the grid bordering the interface between a sample and the grid.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于透射电子显微镜的样品载体（10），其能够解决当根据常规技术的样品载体（例如半月格栅）与检测器检测结合时发生的阴影问题 例如，使用以大的发射角发射的X射线，而进行样品在大角度旋转的断层摄影时也发生类似的问题。解决方案：本发明通过形成部分 （16）形成渐缩形状，栅格与样本和网格之间的界面接近。

    Method of performing tomographic imaging of sample in charged-particle microscope
    67.
    发明专利
    Method of performing tomographic imaging of sample in charged-particle microscope 审中-公开
    在充电微粒中进行样品成像的方法

    公开(公告)号：JP2014107274A

    公开(公告)日：2014-06-09

    申请号：JP2013246482

    申请日：2013-11-28

    Applicant: Fei Co ,  エフ イー アイ カンパニFei Company

    Inventor： REMCO SCHOENMAKERS ,  UWE LUECKEN ,  ERIK MICHIEL FRANKEN

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/26

    CPC classification number: H01J37/22 ,  G01N23/046 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/419 ,  H01J37/21 ,  H01J37/222 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2802

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method capable of more satisfactorily performing translucent charged-particle microscope observation of a sample including a relatively fine volume structure.SOLUTION: In order to perform tomographic imaging of a sample by means of a charged-particle microscope, the method includes the steps of: irradiating a sample on a tilted sample holder with a beam of charged particles, detecting the translucent beam at an image detector, and generating and capturing an image of the sample; repeating this procedure at each of a series of sample tilts so as to acquire a corresponding set of images; and mathematically processing the images included in the set in a reconfiguration step to construct a composite image of the sample. In the imaging step, a sequence of component images can be acquired at a corresponding sequence of focus settings regarding the given sample tilt. In the reconfiguration step, a plurality of component images in the sequence of component images are used with at least one tilt of the series of sample tilts in the step of mathematically processing the images. As a result, a 3D imaging cube rather than a 2D imaging sheet is rendered at the given sample tilt.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够更令人满意地进行包含较细体积结构的样品的半透明带电粒子显微镜观察的方法。解决方案：为了通过带电粒子显微镜对样品进行断层成像， 该方法包括以下步骤：用带有粒子束的倾斜的样品保持器照射样品，检测图像检测器上的半透明束，并产生并捕获样品的图像; 在一系列样品倾斜的每一个处重复该过程，以获得相应的图像组; 并且在重新配置步骤中数学地处理包括在所述集合中的图像以构建样本的合成图像。 在成像步骤中，可以以关于给定样品倾斜的对应的焦点设置顺序获取分量图像序列。 在重新配置步骤中，在数学处理图像的步骤中，使用分量图像序列中的多个分量图像与一系列样本倾斜的至少一个倾斜。 因此，在给定的样品倾斜下渲染3D成像立方体而不是2D成像片材。

    Configurable charged-particle apparatus
    68.
    发明专利
    Configurable charged-particle apparatus 有权
    可配置充电颗粒装置

    公开(公告)号：JP2014086419A

    公开(公告)日：2014-05-12

    申请号：JP2013214316

    申请日：2013-10-15

    Applicant: Fei Co ,  エフ イー アイ カンパニFei Company

    Inventor： LUBOMIR TUMA ,  JOSEF SESTAK

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/141 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/317

    CPC classification number: G21K5/08 ,  H01J37/1413 ,  H01J37/20 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/1035 ,  H01J2237/1415 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2813

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged-particle apparatus capable of being configured as a scanning electron microscope and a scanning transmission electron microscope.SOLUTION: A configurable charged-particle apparatus 100 comprises: a charged particle column 102 that includes a charged particle source 104 and a magnetic immersion lens 107 including a first lens pole 108; an excitation coil 110 surrounding the first lens pole 108; a first stage 112 on which a sample 114 can be mounted; and one or more detectors 116, 118 for detecting radiation emanating from the sample. The immersion lens 107 has a magnetic circuit capable of at least a first configuration and a second configuration. The first configuration has a second lens pole 120 far removed so as not to influence the sample image while the sample is mounted on the first stage 112. The second configuration has the second lens pole 120 mounted on the first stage 112 and has a second stage 130 to position the sample 114 between the first lens pole 108 and the second lens pole 120.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够被构造为扫描电子显微镜和扫描透射电子显微镜的带电粒子装置。解决方案：可配置的带电粒子装置100包括：带电粒子塔102，其包括带电粒子源 104和包括第一透镜柱108的磁浸透镜107; 围绕第一透镜柱108的激励线圈110; 可以安装样品114的第一级112; 以及用于检测从样品发出的辐射的一个或多个检测器116,118。 浸没透镜107具有能够至少具有第一构造和第二构造的磁路。 第一配置具有远离去除的第二透镜杆120，以便在将样品安装在第一平台112上时不影响样本图像。第二配置具有安装在第一平台112上的第二透镜杆120并具有第二平台 130将样品114定位在第一透镜柱108和第二透镜杆120之间。

    Application method of composite particle optical lens
    69.
    发明专利
    Application method of composite particle optical lens 有权
    复合颗粒光学透镜的应用方法

    公开(公告)号：JP2014053306A

    公开(公告)日：2014-03-20

    申请号：JP2013185068

    申请日：2013-09-06

    Applicant: Fei Co ,  エフ イー アイ カンパニFei Company

    Inventor： PETR SYTAR ,  PETR HLAVENKA ,  LUBOMIR TUMA

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/145 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244

    CPC classification number: H01J37/14 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1035 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/248

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composite lens comprising an electron detector for giving information on energy and/or angle distribution of back scattering electrons.SOLUTION: A composite objective lens for a scanning electron microscope comprises: a conventional magnetic lens which is excited by a first lens coil; an immersion magnetic lens which is excited by a second lens coil; and an immersion electrostatic lens which is excited by a potential difference between a specimen 100 and an electrode 114. An electron beam 102 is converged on the specimen 100 by combining excitation of the first lens coil and the second lens coil. An excitation ratio of the first lens coil and the second lens coil is adjusted, thereby changing a distance from an optical axis in the case where back scattering electrons collide with an electron detector. Thus, a composite lens comprising a pixelated electron detector or an electron detector formed from annular bodies 205, 206, 207 for detecting back scattering electrons 202, 203, 204 is functioned as an energy selection detector.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种复合透镜，其包括用于提供关于背散射电子的能量和/或角度分布的信息的电子检测器。解决方案：用于扫描电子显微镜的复合物镜包括：常规磁性透镜，其由 第一透镜线圈; 由第二透镜线圈激励的浸没式磁透镜; 以及由试样100和电极114之间的电位差激发的浸没静电透镜。电子束102通过组合第一透镜线圈和第二透镜线圈的激发而会聚在样本100上。 调整第一透镜线圈和第二透镜线圈的激励比，从而在背散射电子与电子检测器碰撞的情况下，改变与光轴的距离。 因此，包括由用于检测反向散射电子202,203,204的环形体205,206,207形成的像素化电子检测器或电子检测器的复合透镜用作能量选择检测器。

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