公开(公告)号：KR1020130013779A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：KR1020110075575

申请日：2011-07-29

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 허종곤 ,  김영조 ,  우종창 ,  전동환 ,  박원규 ,  고철기

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/288

Abstract: PURPOSE: An auxiliary device of a wafer holder for semiconductor electroplating is provided to easily perform electroplating on a small or large wafer by using a metal electrode for various wafers. CONSTITUTION: A metal electrode(301) fixes a wafer. The metal electrode has a length which is different according to wafer size. An electrode tip(304) is positioned in the end part of the metal electrode. A holder substrate(302) includes the wafer, a wafer holding groove(302a) and a metal electrode holding groove(302b). An electrode combination member(303) combines the metal electrode with the holder substrate.

Abstract translation: 目的：提供用于半导体电镀的晶片保持器的辅助装置，通过使用用于各种晶片的金属电极容易地在小或大晶片上进行电镀。 构成：金属电极（301）固定晶片。 金属电极具有根据晶片尺寸不同的长度。 电极头（304）位于金属电极的端部。 保持基板（302）包括晶片，晶片保持槽（302a）和金属电极保持槽（302b）。 电极组合构件（303）将金属电极与保持器基板结合。

公开(公告)号：KR1020120063716A

公开(公告)日：2012-06-18

申请号：KR1020100124812

申请日：2010-12-08

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 전동환 ,  김창주 ,  양창재 ,  성호근 ,  강호관 ,  신찬수 ,  박원규 ,  고철기

IPC: H01L21/20 ,  H01L33/00

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a semiconductor device for substrate reuse is provided to improve productivity of the semiconductor device by securing two thin film structures with one separation process. CONSTITUTION: A first device layer(320) is formed at one side of a substrate(300). The first device layer comprises a transparent electrode layer and a p-type electrode. A second device layer(340) is formed at the other side of the substrate. A first carrier substrate(360) is welded to the first device layer. A second carrier substrate(380) is welded to the second device layer. The first device layer and the substrate are separated and the second device layer and the second device layer are separated through a laser lift off method.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造用于衬底再利用的半导体器件的方法，以通过用一个分离工艺固定两个薄膜结构来提高半导体器件的生产率。 构成：第一器件层（320）形成在衬底（300）的一侧。 第一器件层包括透明电极层和p型电极。 第二器件层（​​340）形成在衬底的另一侧。 第一载体衬底（360）焊接到第一器件层。 第二载体衬底（380）焊接到第二器件层。 分离第一器件层和衬底，并通过激光剥离法分离第二器件层和第二器件层。

公开(公告)号：KR101105247B1

公开(公告)日：2012-01-13

申请号：KR1020100048025

申请日：2010-05-24

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 전동환 ,  최재원 ,  김민호 ,  이근우 ,  박대영 ,  유승환 ,  박원규 ,  고철기

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/054

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본 발명은 태양광이 입사되는 부분과 다른 부분에 전극이 형성되도록 하여, 효율을 증가시킬 수 있는 측면 노광형 태양전지에 관한 것이다. 본 발명에 따른 태양전지는 제1면에 외부의 빛이 입사되는 수광부가 형성되어 있고 수광부를 통해 입사된 빛으로부터 전류를 발생시키는 태양전지 셀과, 태양전지 셀의 제2면에 형성되어 있는 제1전극과, 태양전지 셀의 제2면과 대향되는 제3면에 형성되어 있는 제2전극을 구비한다. 이때, 태양전지 셀의 제1면은 태양전지 셀의 제2면 및 태양전지 셀의 제3면과 서로 다르게 되도록 한다.