Abstract:
forming a high density n-type impurity epitaxial layer, n-type impurity epitaxial layer of collector and P+-type impurity epitaxial layer of base one after another; forming a mask layer of predetermined pattern on the P+-type impurity epitaxial layer; forming n-type impurity epitaxial layer of emitter and high density n-type impurity epitaxial layer for emitter contact on after another; eliminating the mask layer after forming an emitter ohmic electrode on the epitaxial layer; forming a base ohmic electrode at the part where the base electrode of the epitaxial layer is formed on the emitter ohmic electrode; forming a collector ohmic electrode after eliminating the exposed part of the epitaxial layer and the epitaxial layer.
Abstract:
본 발명은 반도체소자의 몰성분방법중에서 반도체소자의 몰성분용 슬릿의 제조방법 및 슬릿을 이용한 미소부위 엑스선 회절분석방법에 관한 것이다. 종래의 엑스선 회절분석방법은 분석하고자 하는 시료가 작거나 분석영역이 미소부위일 경우 사용되는 엑스선빔외 크기를 감안한다면 회절피크를 통해 소재의 결정성이나 결정구조를 파악한다는 것은 거의 불능하였다. 본 발명은 이러한 문제점을 극복하기 위한 것으로 엑스선 회절분석시 시료로 전달되는 빔의 크기를 조절할 수 있는 반도체소자의 몰성분석용 슬릿의 제조방법과 이 슬릿을 이용해서 시료의 미소부위까지 분석할 수 있는 슬릿을 이용한 엑스선 회절분석방법이다.
Abstract:
본 발명은 고체의 표면에 수 내지 수십 nm크기의 미세패턴을 형성하는 것에 관한 것으로서, 특히 결정격자를 통과한 전자선의 위상차이에 의해서 격자상이 형성되는 현상을 이용하여 일정한 크기와 간격을 가지는 규칙적인 미세구조 가공장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명은 전자광학 장치를 사용하여 기준단결정의 격자상을 형성하는 방법과 표면개질후 선택적 화학증착반응, 초 박막의 감광재표를 이용한 현상-식각공정 및 표면산화막의 부분 분해방법등의 표면가공 공정을 결합함으로써, 단파장 실리콘 발광소자의 제작, 자외선 단색화장치 및 초 미세필터등의 제작에 필요한 수 내지 수 nm크기의 균일한 크기와 형상을 가지는 표면미세구조를 형성할 수 있다.
Abstract:
The method manufactures a GaAs recessed gate field effect transistor. The method comprises the steps of: (A) injecting n-type impurity on a channel layer and a source and drain region of a GaAs substrate (1); (B) covering a substrate by a dielectric layer (2) and activating by thermal process; (C) masking a photosensitive layer on a dielectric layer (2) and etching a layer (2) to form a gate region; (D) forming an oxide layer (4) of a certain thickness on a substrate; and (E) etching an oxide layer (4), vaporizing a gate metal (5) and forming an ohmic electrode (6).
Abstract:
본 발명에 따른 레벨 시프터와 스캔 구동회로는 단일형의 산화물 박막 트랜지스터들로만 구성되어 디스플레이 패널에 내장이 가능하므로 디스플레이 구동 장치의 소형화 및 제조 비용의 감소를 도모할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 레벨 시프터와 스캔 구동회로는 풀업 트랜지스터들이 래치 구조로 연결되어 풀스윙이 가능하므로 단일형 구조의 한계를 극복할 수 있으며, 대기 상태에서 산화물 박막 트랜지스터가 확실히 턴오프되므로 불필요한 전력 소모를 줄일 수 있다. 레벨 시프터, 스캔 구동회로, 산화물 박막 트랜지스터, 전력소모, 래치