-
公开(公告)号：KR100802593B1
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：KR1020060093757
申请日：2006-09-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/205 , H01L21/203
CPC classification number: H01L21/0228 , C23C16/45536 , H01L21/02178 , H01L21/02181 , H01L21/02183 , H01L21/02186 , H01L21/02189
Abstract: A method for controlling element concentration and preventing impurities into a thin film during a deposition process by light exposure in a thin film forming process is provided to prevent a physical damage of a thin film and to reduce generation of particles by improving a reactive characteristic without using plasma. A reactant attaching process is performed to attach a first reactant onto a substrate by implanting a metal element for forming a thin film and the first reactant including an organic ligand into a reaction chamber including the substrate. An activation process is performed to activate the first reactant by performing an exposure process. An oxide layer or a nitride layer is formed by implanting a second reactant including oxygen atoms or nitrogen atoms into the reaction chamber. The oxide layer or the nitride layer is formed by reaction between the first reactant and the second reactant.
Abstract translation: 提供了一种在薄膜形成过程中通过曝光在沉积过程中控制元素浓度并防止杂质进入薄膜的方法，以防止薄膜的物理损伤并通过改善反应特性来减少颗粒的产生而不使用 等离子体。 通过将用于形成薄膜的金属元素和包含有机配体的第一反应物注入到包括该基底的反应室中，进行反应物附着过程以将第一反应物附着到基底上。 执行激活过程以通过执行曝光过程来激活第一反应物。 通过将包含氧原子或氮原子的第二反应物注入到反应室中来形成氧化物层或氮化物层。 通过第一反应物和第二反应物之间的反应形成氧化物层或氮化物层。
-
公开(公告)号：KR1020010081260A
公开(公告)日：2001-08-29
申请号：KR1020000006469
申请日：2000-02-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N33/00
Abstract: PURPOSE: A calorimeter by using a phase shifting temperature and a constant temperature maintaining method are provided to improve precision in measurement of calorie though unifying a base temperature of the calorimeter by using phase shifting temperature of a pure material. CONSTITUTION: A constant temperature is maintained by using phase shifting temperature of a pure material(15). Herein, a device is formed by a constant temperature measuring chamber(11), a pure material store container(14), a heater(16), and an insulating unit(17). Power is supplied to the heater for heating the pure material. Then, the material is molten for maintaining temperature until completing melting performance. Then, a sample is placed on a sample container(12) of the constant temperature measuring chamber. Herein, a heat flow meter(18) in the constant temperature measuring chamber measures temperature of the chamber while using the temperature of the store container as a base temperature. Therefore, a small amount of calorie in the sample is measured.
Abstract translation: 目的：提供使用相变温度和恒温保持方法的量热计，以通过使用纯物质的相移温度来统一量热计的基础温度来提高热量测量的精度。 构成：通过使用纯材料（15）的相移温度来保持恒定的温度。 这里，装置由恒温测量室（11），纯材料储存容器（14），加热器（16）和绝缘单元（17）形成。 电源被供应到加热器以加热纯材料。 然后，材料熔化以保持温度直到完成熔融性能。 然后，将样品放置在恒温测量室的样品容器（12）上。 这里，恒温测量室中的热流计（18）在使用储存容器的温度作为基础温度的同时测量室的温度。 因此，测量样品中少量卡路里。
-
公开(公告)号：KR102011456B1
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：KR1020180010245
申请日：2018-01-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/02 , H01J37/32 , H01L21/67 , C23C16/455 , C23C16/448
-
公开(公告)号：KR1020160020110A
公开(公告)日：2016-02-23
申请号：KR1020140105020
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N25/18
Abstract: 본발명의열확산도측정장치및 열확산도측정방법을제공한다. 이열확산도측정장치는평판형상의시료를국부적으로가열하도록주기적으로단속되는빛을제공하는광원; 상기시료와상기광원사이에배치되어상기시료의상부면일부를빛에노출하고상기시료의상부면잔부를빛으로부터차단하는빛 가리개; 상기시료의하부면에서상기시료의길이방향으로이격되어배치되어상기시료의온도를각각측정하는한 쌍의온도측정부; 및상기온도측정부로부터측정된온도를제공받아열확산도를산출하는제어부를포함한다.
Abstract translation: 提供了测量热扩散率的装置和方法。 测量热扩散率的装置包括：提供周期性地阻挡以平面形状样品加热的光的光源; 设置在所述样品和所述光源之间的灯罩，以将光暴露于所述样品的上表面的一部分，并且将所述样品的上表面的剩余部分从所述光中截取; 一对温度测量单元，其布置成在样品的底表面上沿样品的纵向方向间隔开。 分别测量样品的温度; 以及控制单元，其通过从所述温度测量单元接收测量温度来计算热扩散率。
-
公开(公告)号：KR101567845B1
公开(公告)日：2015-11-10
申请号：KR1020140105022
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은기체투과도측정장치및 기체투과도측정방법을제공한다. 이기체투과도측정장치는중간에오리피스를가지는측정챔버; 상기측정챔버에연결되고판형의측정하고자하는금속시료를금속가스켓양면접속피팅으로결합한시료챔버; 상기금속시료의주위를감싸도록배치되고유전체로형성된보조챔버; 및상기보조챔버를감싸도록배치된유도가열코일을포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种透气性测定装置和透气性测定方法。 气体渗透性测量装置包括：测量室，其中部具有孔口; 与测量室连接并将要测量的板状金属试样与金属垫圈双面连接配件结合的试样室; 辅助室由电介质材料制成并设置成覆盖金属试样的周围; 以及设置成覆盖辅助室的感应加热线圈。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101507383B1
公开(公告)日：2015-03-31
申请号：KR1020130117199
申请日：2013-10-01
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: B01J19/087 , B01J19/247 , C01B32/184
Abstract: 본 발명은 유도 가열 그래핀 형성 장치 및 유도 가열 그래핀 형성 방법을 제공한다. 이 유도 가열 그래핀 형성 장치는 유전체 튜브, 상기 유전체 튜브의 주위에 배치된 유도 가열 코일, 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공하는 교류 전원, 상기 유도 가열 코일에 의하여 유도 가열되고 상기 유전체 튜브 내에 배치된 가열 블록, 및 상기 유도 가열 코일에 의하여 가열되어 액상으로 유지되고 상기 가열 블록 상에 배치된 금속 촉매를 포함한다. 상기 가열 블록에서 형성된 와류(eddy current)는 폐루프(closed loop)를 형성하고, 상기 유전체 튜브 내에 제공되는 탄소함유가스는 상기 금속 촉매 상에 그래핀(graphene)을 형성한다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于形成感应加热石墨烯的装置和方法。 用于形成感应加热石墨烯的装置包括介电管; 布置在电介质管周围的感应加热线圈; 向所述感应加热线圈提供交流电力的交流电源; 由感应加热线圈感应加热并布置在电介质管中的加热块; 以及由感应加热线圈加热而保持液相的金属催化剂，并配置在加热块上。 在加热块中形成的涡流形成闭环，并且设置在电介质管中的含碳气体在金属催化剂上形成石墨烯。
-
公开(公告)号：KR1020140132050A
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：KR1020130051027
申请日：2013-05-07
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H01J37/3211 , H01J37/32183 , H01Q1/366 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2001/4682
Abstract: 본 발명은 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체를 제공한다. 이 안테나 구조체는 접지 전극판, 접지 전극판의 측면에 연결되고 접지 전극판의 주위에 배치된 유도 결합 안테나, 및 유도 결합 안테나에 전력을 분배하는 전력 분배부를 포함한다. 유도 결합 안테나는 접지 전극판에 각각 연결되고 접지 전극판의 중심을 기준으로 제1 사분면 내지 제4 사분면에 각각 배치된 제1 내지 제4 보조 안테나들을 포함한다. 제2 보조 안테나는 제1 보조 안테나가 시계방향으로 90도 회전한 형상으로 배치된다. 보조 안테나는 홀수 개의 안테나 브랜치들 및 안테나 브랜치들을 서로 연결하는 안테나 연결부들을 포함한다. 이웃한 안테나 브랜치들의 전류는 서로 반대 방향으로 흐른다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于产生电感耦合等离子体的天线结构。 天线结构包括：接地电极板，与接地电极板侧连接并且设置在接地电极板周围的电感耦合天线;以及将电力分配给电感耦合天线的配电单元。 电感耦合天线包括连接到接地电极板的第一至第四辅助天线，并且基于接地电极板的中心布置在第一至第四象限上。 第二辅助天线布置成使得第一辅助天线顺时针旋转90度的形状。 辅助天线包括连接天线分支的奇数天线分支和天线连接部分。 相邻天线分支的电流沿相反的方向流动。
-
公开(公告)号：KR101456549B1
公开(公告)日：2014-10-31
申请号：KR1020120099710
申请日：2012-09-10
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 플라즈마 도움 화학 기상 증착 장치 및 방법을 제공한다. 이 장치는 기판을 장착하는 기판 홀더를 포함하는 진공 챔버, 일단은 진공 챔버의 상부면에 형성된 관통홀에 장착되는 유전체 튜브, 유전체 튜브를 감싸도록 배치되고 RF 전력을 제공받아 유전체 튜브의 내부에 플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생부, 및 유전체 튜브에 금속 증기를 제공하는 증발원을 포함한다. 금속 증기는 플라즈마를 통과하여 기판에 제공되어 금속-질화막 또는 금속-산화막을 형성한다.
-
公开(公告)号：KR1020140033641A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：KR1020120099710
申请日：2012-09-10
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: The present invention relates to a plasma enhanced chemical vapor deposition apparatus and a method thereof. The apparatus includes a vacuum chamber including a substrate holder for mounting a substrate, a dielectric tube of which end is mounted in a through hole formed on the upper surface of the vacuum chamber, a plasma generation part surrounding the dielectric tube and generating plasma in the dielectric tube by receiving RF power, and a vapor source supplying metallic vapor to the dielectric tube. A metal-nitride layer or a metal-oxide layer is formed by supplying the metallic vapor passing through the plasma to the substrate. [Reference numerals] (AA) First gas; (BB) Second gas
Abstract translation: 等离子体增强化学气相沉积装置及其方法技术领域本发明涉及一种等离子体增强化学气相沉积装置及其方法。 该装置包括：真空室，包括用于安装基板的基板保持器，其端部安装在形成在真空室的上表面上的通孔中的电介质管;围绕电介质管的等离子体产生部件， 通过接收RF功率的介质管，以及向介质管提供金属蒸气的蒸汽源。 通过将通过等离子体的金属蒸气供给到基板来形成金属氮化物层或金属氧化物层。 （附图标记）（AA）第一气体; （BB）第二气体
-
公开(公告)号：KR1020140020045A
公开(公告)日：2014-02-18
申请号：KR1020120086404
申请日：2012-08-07
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01L23/145 , H01L2224/76171 , H01L2924/12044 , Y02B20/36
Abstract: Provided is an evaporation deposition apparatus comprising: a vacuum chamber including a substrate; a crucible which is arranged outside the vacuum chamber and which stores an evaporation substance; a first induction coil for induction-heating the crucible; a first AC power source for applying AC power to the first induction coil; a conductive guide pipe for connecting a first opening formed on the first crucible to a second opening formed on the vacuum chamber; a second induction coil for wrapping and inducting-heating the guide pipe; and a second AC power source for applying AC power to the second induction coil.
Abstract translation: 提供一种蒸发沉积设备，包括：真空室，其包括基板; 坩埚，其布置在真空室的外部并储存蒸发物质; 用于感应加热坩埚的第一感应线圈; 用于向所述第一感应线圈施加AC电力的第一AC电源; 用于将形成在第一坩埚上的第一开口连接到形成在真空室上的第二开口的导电引导管; 第二感应线圈，用于对引导管进行包裹和感应加热; 以及用于向第二感应线圈施加AC电力的第二AC电源。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
117
records
(took 0.023 seconds)
