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公开(公告)号：CN105745736B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201480058745.1
申请日：2014-10-08
Applicant: 劳伦斯·利弗莫尔国家安全有限责任公司
Inventor： 布赖恩·W·里德
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/222 , H01J37/265 , H01J2237/226 , H01J2237/2802
Abstract: 公开了一种扫描透射电子显微术(STEM)系统。该系统利用电子束扫描系统，该电子束扫描系统被配置为在基本上整个样本之上产生多次电子束扫描，其中每次扫描都在扫描行程中改变电子照明强度。信号采集系统可以被用来从扫描中获得图像、衍射图案或光谱中至少之一，图像、衍射图案或光谱仅表示来自包括图像的所有像素位置的选定子集或线性组合中至少之一的信息。可以根据信息生成数据集。子系统可以被用来对数据集进行数学分析以预测实际信息，该实际信息是图像的每个像素位置会产生的信息。
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公开(公告)号：CN103578901B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201310325911.7
申请日：2013-07-30
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/302 , H01J37/305 , H01L21/67
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/31749
Abstract: 一种用于通过全自动化工序和人工辅助工序两者通过使用至少一个带电粒子束使具有纳米级特征的工件成像和加工该工件的装置。该装置包括：用户接口，该用户接口包括调度输入入口装置和可以被置于第一状态或第二状态的人工操作员就绪输入端；以及工序调度器，该工序调度器接收来自该调度输入入口装置的工序的调度，包括全自动化工序和人工辅助工序。此外还包括一个工序定序器，当该人工操作员就绪输入端在第二状态时，对于正在执行的全自动化工序，在到达安全终止点后，该工序定序器对所有全自动化工序进行定序直到该人工操作员就绪输入端被置于第一状态下，此时，该定序器开始对人工辅助工序进行定序。
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公开(公告)号：CN103137418B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201210595867.7
申请日：2012-11-29
Applicant: FEI公司
Inventor： B·R·小劳思
CPC classification number: H01J37/285 , G01T1/28 , H01J27/16 , H01J37/05 , H01J37/077 , H01J37/08 , H01J37/10 , H01J37/1471 , H01J37/265 , H01J37/30 , H01J37/304 , H01J37/305 , H01J37/3056 , H01J2237/0817 , H01J2237/24415 , H01J2237/2445 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及作为用于光谱分析的电子束源的感应耦合等离子体源。一种具有用户可选择配置的单镜筒感应耦合等离子体源操作在用于FIB操作的离子模式或用于SEM操作的电子模式下。装备有x射线探测器，能量色散x射线光谱分析是可能的。用户能够选择性地配置ICP以在离子模式或FIB模式下制备样品，接着实质上扳动选择电子模式或SEM模式的开关并且使用EDS或其它类型的分析来分析样品。
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公开(公告)号：CN106645219A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610817787.X
申请日：2016-09-12
Applicant: 湖南大学
CPC classification number: G01N23/04 , G01N2223/03 , H01J37/26 , H01J37/265
Abstract: 本发明公开了一种测量透射电子显微镜中照明电子束偏离光轴(倾转)的大小和方向的方法。该方法是通过测量高分辨像的功率谱中特定非线性反射斑点的相位随欠焦量的变化实现的。本发明解决了长久以来没有精确方法定量测量该物理参数的问题，为定量测定分析材料的三维结构和成分建立了基础，也为透射电子显微镜的精确测试和运行状态的科学评估提供了一种定量评价照明电子束偏离光轴的大小与方向的技术方法。
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公开(公告)号：CN103839743B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201310610534.1
申请日：2013-11-27
Inventor： P.波托塞克 , M.P.M.比尔霍夫 , T.维斯塔维 , L.德赖卡克
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/22 , G01N23/223
CPC classification number: H04N7/18 , G01N23/2251 , H01J37/265 , H01J37/28
Abstract: 采样样本和在显示器上显示获得的信息的方法包括：用N个重叠子帧的系列在样本上方扫描例如电子的射束，每个子帧的扫描位置不与其它子帧的扫描位置重叠；使用检测器检测响应于由射束对样本的照射而从样本发出的信号；以及在显示器上显示子帧，使得在N个扫描的系列之后，每个像素显示从来自扫描位置的信号得出的信息；特征在于其中在对第一子帧的扫描之后每个像素显示从第一子帧的扫描位置得出的信息；以及其中在对第二子帧的扫描之后每个像素显示在对第一子帧、第二子帧或这两个子帧的扫描期间得出的信息。这导致在样本上方示出更均匀电荷分布的扫描方法，导致例如更少的充电效应，同时即使在扫描第一子帧之后也供给良好可解析图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105340051B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201480036932.X
申请日：2014-07-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0475 , H01J2237/103 , H01J2237/1534 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448
Abstract: 本发明的扫描电子显微镜具备：在电子束配置于上述电子源与上述物镜之间且具有相对于上述电子束的光轴而轴对称的形状的感受面的第一检测器(8)以及第二检测器(7)。上述第一检测器设置在比上述第二检测器靠试样侧，专门对通过减速电场型能量过滤器(9A)后的高能量的信号电子进行检测。若将上述物镜的试样侧的前端部(13)与上述第一检测器的感受面之间的距离设为L1，并将上述物镜的上述试样侧的前端部与上述第二检测器的感受面之间的距离设为L2，则L1/L2≤5/9。由此，扫描式电子显微镜中，当应用减速法而进行低加速观察时，能够在几百倍程度的低倍率至十万倍以上的高倍率的大倍率范围内无阴影的影响地检测信号电子。并且，能够高效率地检测与二次电子相比产生量少的(5)通过物镜时使上述电子束减速的减速机构；(56)对比文件US 2003127604 A1,2003.07.10,US 2005279937 A1,2005.12.22,
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公开(公告)号：CN105359250B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN103065917B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210399492.7
申请日：2012-10-19
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/22 , G01N23/20 , H01J37/153 , H01J37/20 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J2237/216 , H01J2237/221 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及用于调整配备有像差校正器的STEM的方法。本发明涉及一种用于使用晶体样品调整STEM中的Cs校正器的方法。该方法包括记录离焦系列，将所获得的图像转换到傅立叶空间，因此形成如同衍射图像的图像集合。通过随后确定傅立叶图像的对称，可以对校正器进行调谐以获得更好的对称，并且通过确定斑点距中心的最大距离，可以确定转移极限。通过重复地执行这些步骤，可以将校正器调谐到其最优性能。
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公开(公告)号：CN102543640B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201110418980.3
申请日：2011-09-29
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/28 , G01N23/225
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/265 , H01J2237/184 , H01J2237/20285 , H01J2237/20292 , H01J2237/216 , H01J2237/22 , H01J2237/221 , H01J2237/2482
Abstract: 本发明涉及一种操作粒子束显微镜的方法，其中所述方法包括：探测从结构发出的光线和/或从结构发出的粒子的至少之一，其中所述结构包括至少下述之一：物体的表面的至少一部分和粒子束显微镜的载物台的表面的至少一部分；根据探测到的光线和粒子的至少之一生成所述结构的表面模型；相对于目标区域确定所述结构的表面模型的位置和定向；相对于所述结构的表面模型确定测量部位；以及，根据生成的所述结构的表面模型、确定的所述结构的表面模型的位置和定向以及确定的测量部位定位物体。
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公开(公告)号：CN105745736A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201480058745.1
申请日：2014-10-08
Applicant: 劳伦斯·利弗莫尔国家安全有限责任公司
Inventor： 布赖恩·W·里德
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/222 , H01J37/265 , H01J2237/226 , H01J2237/2802
Abstract: 公开了一种扫描透射电子显微术(STEM)系统。该系统利用电子束扫描系统，该电子束扫描系统被配置为在基本上整个样本之上产生多次电子束扫描，其中每次扫描都在扫描行程中改变电子照明强度。信号采集系统可以被用来从扫描中获得图像、衍射图案或光谱中至少之一，图像、衍射图案或光谱仅表示来自包括图像的所有像素位置的选定子集或线性组合中至少之一的信息。可以根据信息生成数据集。子系统可以被用来对数据集进行数学分析以预测实际信息，该实际信息是图像的每个像素位置会产生的信息。
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