公开(公告)号：CN101197241A

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200710152074.7

申请日：2003-03-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿德里安·默雷尔 ,  伯纳德·哈里森 ,  彼得·爱德华兹 ,  彼得·金德斯利 ,  逆濑卓郎 ,  马文·法利 ,  佐藤修 ,  杰弗里·吕丁

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20278 ,  H01L21/682 ,  H01L21/6835

Abstract: 注入器提供对衬底的相对于注入射束的二维扫描，使得射束在衬底上画出扫描线的栅格。在离开衬底的转折点对射束电流进行测量，并且电流值被用来控制随后的快速扫描速度，以补偿射束电流的任何变化对慢速扫描方向上的剂量均匀性的影响。该扫描可以产生不相交的、均匀间隔的平行扫描线的栅格，并且线之间的间距被选择以确保适当的剂量均匀性。

公开(公告)号：CN101075545A

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN200710005560.6

申请日：2007-02-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 文景泰

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2007 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/6833

Abstract: 本发明提供了一种用于清洁离子注入机中的静电吸盘的装置。该装置包括：电源，用于产生热丝电压；静电吸盘，用于吸入晶片；热丝，安装在静电吸盘的内部，通过由电源提供的热丝电压驱动热丝，用于从静电吸盘发热。

公开(公告)号：CN100343942C

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN03808120.2

申请日：2003-03-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 西奥多·H·斯米奇克 ,  逆濑卓郎 ,  弗兰克·D·罗伯茨 ,  杰弗里·吕丁 ,  马文·法利 ,  阿德里安·默雷尔 ,  彼得·爱德华兹 ,  伯纳德·哈里森

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20278 ,  H01L21/682 ,  H01L21/6835

Abstract: 本发明公开一种半导体处理装置，该装置提供衬底或晶片夹持器(180)的扫描臂(60)在至少两个通常正交方向(所谓X-Y扫描)上的移动。在第一方向上的扫描是纵向穿过在真空室壁上开口(55)。臂(60)通过一个或多个直线式电动机(90A、90B)往复运动。臂(60)使用万向空气轴承相对于滑片(100)支撑，以便于为臂相对于滑片(100)提供悬臂支撑。用于臂(60)的进入真空室的适应性穿通装置(130)然后作为真空密封和导引，但其自身不需要提供轴承支撑。法拉第(450)被连接到邻近衬底夹持器(180)的臂(60)，以允许在注入之前和过程中实现射束分布的确定。法拉第(450)可以替代地或另外地被安装邻近所述衬底夹持器的后部或与其成90°，并且所述衬底支撑被颠倒或水平并脱离射束线，以允许在注入之前实现射束分布的确定。

公开(公告)号：CN1871684A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200480031107.7

申请日：2004-09-23

Applicant: 塞威公司

Inventor： 乔治·斯基德莫尔 ,  马修·D.·艾里斯 ,  阿隆·吉思博格 ,  肯尼思·布雷 ,  金博利·塔克 ,  罗伯特·弗拉隆

IPC: H01J37/20 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G02B21/32

CPC classification number: H01J37/185 ,  G01N1/28 ,  G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  G01N2001/2886 ,  G02B21/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 在一个实施例中，一种方法包括通过利用聚焦离子束(FIB)切割衬底来从衬底上至少部分地切断样本；通过激活抓取元件(155)捕捉衬底样本；以及使被捕捉的样本与衬底分离。被捕捉的样本被与衬底相分离，并且被输送到电子显微镜(190)以便检查。

公开(公告)号：CN107851592A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680045771.X

申请日：2016-06-06

Applicant: 沃特洛电气制造公司

Inventor： 鲍里斯·艾特兰斯 ,  穆罕默德·诺斯拉蒂 ,  凯文·R·史密斯 ,  肯恩·艾姆斯 ,  凯文·帕塔斯恩斯基

IPC: H01L21/67 ,  F26B25/00 ,  H02H1/00 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01J37/32724 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32697 ,  H01J37/32715 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/332 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/67 ,  H02N13/00

Abstract: 一种用于静电卡盘的支撑基座装置包括底座壳体，所述底座壳体限定内部腔，以及底座插入件，所述底座插入件被布置成接近所述底座壳体的内部腔。在所述内部腔中形成流体路径并且所述流体路径包括多个线性平行的冷却通道、流体供应通道和流体返回通道，所述多个线性平行的冷却通道由对应的多个线性平行的散热片隔开。冷却流体流经所述流体供应通道，通过所述多个线性平行的冷却通道，并且通过所述流体返回通道返回，以冷却所述支撑基座装置。

公开(公告)号：CN107808811A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201610809005.8

申请日：2016-09-08

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 李红赛

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/67011 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明公开了一种自动传片位置校正方法，硬件包括：机械手臂(1)、中心校正工具(2)、定位校正工具(3)、定位销(4)、台阶销(5)。中心校正工具(2)通过3个台阶销(5)固定在机械手臂(1)上，当机械手臂(1)伸向某一个工位时，利用定位校正工具(3)和定位销(4)就能找到该工位的旋转中心。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

公开(公告)号：CN105405734B

公开(公告)日：2018-03-02

申请号：CN201510554068.9

申请日：2015-09-02

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： E.F.德荣格 ,  S.拉扎 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  R.格尔恩克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：‑样本夹持器，用于夹持样本；‑源，用于产生带电粒子的射束；‑照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；‑成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：‑使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；‑在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；‑使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；‑使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。

公开(公告)号：CN105143846B

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201480023150.2

申请日：2014-04-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 土谷美树 ,  长久保康平 ,  富松聪

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  B25J7/00 ,  G01N1/42 ,  G01N2001/2873 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/302 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/30461 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 在用于观察耐热性弱的材料的试样制作中，能够观察刚刚制作出最终观察面后的纯净的状态。本发明的试样制作方法使用带电粒子束装置制作试样，该带电粒子束装置具备：具有冷却机构的微型探针、具备将试样保持为冷却的状态的机构的第一试样保持器、能够导入上述微型探针和第一试样保持器的工作台，该试样制作方法具备：从冷却保持的第一试样保持器上的试样切出块状的试样片的步骤；使该试样片与被冷却为一定温度的上述微型探针的前端粘连，并在上述带电粒子束装置的真空室内将该试样片转移到与第一试样保持器不同的冷却保持的薄膜观察用的第二试样保持器的步骤；在从微型探针切离了被转移到薄膜观察用试样保持器的该试样片后，将该试样片薄膜加工为比切出时的厚度薄的厚度的步骤；以及观察薄膜加工后的该试样片的步骤。

公开(公告)号：CN107249731A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201680006995.X

申请日：2016-01-29

Applicant: 约翰-沃尔福冈-歌德大学 ,  马克斯-普朗克科学促进学会

Inventor： 安德烈亚斯·特佛特 ,  丹尼尔·里诺夫 ,  安德烈·图尔恰尼

IPC: B01J20/32 ,  B01J20/28

CPC classification number: G01N33/56911 ,  B01J20/28033 ,  B01J20/3242 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明公开了官能化纳米膜及其制备方法和用途。该官能化纳米膜包括：a)包括纳米材料的第一层；b)包括生物排斥性材料的第二层，该第二层被附着在该第一层的至少一个面上；以及c)亲和基团，其附着在该第二层。

公开(公告)号：CN107068526A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201610792406.7

申请日：2016-08-31

Applicant: 中航西安飞行自动控制技术有限公司

Inventor： 司超阳 ,  霍登平 ,  谌祖辉 ,  范恽 ,  杨兵

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201

Abstract: 本发明公开了一种用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置，包括外框(1)、台体(2)、盖板(3)和紧固螺钉(4)，其中，台体(2)嵌套在外框(1)内，外框(1)和台体(2)的厚度相同，两者嵌套安装后，两侧结合部位形成可以放置微挠性零件的沉槽，通过紧固螺钉(4)将盖板(3)固定在台体(2)上，从而夹持微挠性零件，将外框(1)从台体(2)上取下，所述微挠性零件的中部关键部位露出。