-
公开(公告)号：KR100210623B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940016333
申请日：1994-07-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/324
CPC classification number: C23C16/455 , C23C16/4404 , C23C16/4412 , C30B25/14
Abstract: 피처리체가 재치된 피처리체 수용보트를 로드하는 내관의 외측에 이것과 도심 형상으로 외관을 배치하여 처리용기를 형성하고, 이 처리용기의 하부에 가스도입포트와 가스 배기포트를 가지는 통체 형상의 매니홀드를 설치하며, 이 매니홀드의 구멍부를 밀폐하는 캡부를 설치하여 열처리부를 구성한다. 그리고, 내관과 외관과 매니홀드를 내열내식성 재료로 형성함과 동시에, 이들을 일체적으로 형성한다. 또, 캡부의 표면(처리용기측)에도 내열내식성 재료로 구성되는 보호층을 형성한다. 또, 캡부와 매니홀드의 접합부에 고온내열시일수단을 형성한다. 이것에 의하여 1대의 열처리 장치에 의하여 부식성 가스 등을 처리가스로서 사용하는 상압고온 열처리와 감압열처리를 할 수 있는 열처리 장치(합체로)가 제공된다.
-
公开(公告)号：KR1019960015802A
公开(公告)日：1996-05-22
申请号：KR1019940016333
申请日：1994-07-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/324
-
公开(公告)号：KR1019950001932A
公开(公告)日：1995-01-04
申请号：KR1019940013531
申请日：1994-06-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/304
CPC classification number: C30B31/12 , C23C16/46 , C30B25/10 , G05D23/1934
Abstract: 고속열처리장치의온도에서방법은, 프로세스튜브내에더미기판을모의적으로히터로가열하여, 더미기판이목표온도에도달할때까지기판승온패턴과가열수단이목표온도에도달할때까지의히터승온패턴을프로세스튜브내의각 영역마다공도검출수단에의하여각각미리검출하여파악하여놓고, 처리할기판을면접촉(face to face) 배열로되도록프로세스튜브내에수용하고, 웨이퍼를가열할때에, 상기온도센서에의하여각 영역의온도및 히터엘레멘트의온도를각각검출하며, 각영역의기판의온도가목표온도로도달하여안정할때까지의사이에서, 상기각 검출온도와상기기판승온패턴및 히터승온패턴에의거하여각 히터를콘트롤러에의하여제어하고, 신속하고도균일하게기판을승온시킨다. 선택도 : 제2도
Abstract translation: 在高速热处理系统的温度的方法是用模拟到加热器中，当基板温度上升模式和加热工序中的加热器的温度上升图案kkajiui装置直到它到达到伪基片的目标温度达到目标温度来加热堆板在管的方法 到管内的每个区域，放置由每个预先检测由公路检测装置识别，如果要被处理的基板收容在接触（面对面）处理管以阵列和加热晶片，由温度传感器 感测每个区域中，温度和每一个和跨度的每个区域的衬底温度之间的加热器元件的温度是稳定的，以达到目标温度时，每个所述检测到的温度中的每个驻留和所述基片温度的升高图案和所述加热器温度升高图案 由加热器控制器来控制，快速hagodo基板均匀地加热。 选择性：图2
-
公开(公告)号：KR100241293B1
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：KR1019940013531
申请日：1994-06-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
IPC: H01L21/304
CPC classification number: C30B31/12 , C23C16/46 , C30B25/10 , G05D23/1934
Abstract: 고속열처리 장치의 온도제어 방법은, 프로세스 튜브 내에 더미 기판을 모의적으로 히터로 가열하여, 더미기판이 목표온도에 도달할 때까지의 기판 승온 패턴과 가열수단이 목표온도에 도달할 때까지의 히터승온 패턴을 프로세스 튜브 내의 각 영역마다 공도검출 수단에 의하여 각각 미리 검출하여 파악하여 놓고, 처리할 기판을 면접촉(face to face) 배열로 되도록 프로세스 튜브 내에 수용하고, 웨이퍼를 가열할 때에, 상기 온도센서에 의하여 각 영역의 온도 및 히터 엘레멘트의 온도를 각각 검출하며, 각 영역의 기판의 온도가 목표온도로 도달하여 안정할 때까지의 사이에서, 상기 각 검출온도와 상기 기판 승온 패턴 및 히터 승온패턴에 의거하여 각 히터를 콘트롤러에 의하여 제어하고, 신속하고도 균일하게 기판을 승온시킨다.
-
公开(公告)号：KR3001591110000S
公开(公告)日：1995-02-09
申请号：KR3019930020095
申请日：1993-09-27
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 도오교오에레구토론도오호쿠가부시끼가이샤
Designer： 야마가겐이치
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019980087424A
公开(公告)日：1998-12-05
申请号：KR1019980019358
申请日：1998-05-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명에 있어서는, 작업영역과 로딩영역을 구획하는 벽부의 개구부에 클로우즈형 카세트가 작업영역의 카세트 탑재대상에 탑재된다. 카세트 탑재대상에 카세트가 탑재되면, 스위치로부터 콘트롤러로 신호가 출력되고, 개폐밸브가 닫혀 로딩영역으로의 질소가스의 공급이 정지된다. 20~30초 후 카세트의 덮개가 열리고, 이어서 질소가스의 공급이 개시된다. 질소가스의 공급을 정지함으로써, 로딩영역내와 카세트내의 차압이 작아져서 용이하게 덮개를 열 수 있다.
-
公开(公告)号：KR100432440B1
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：KR1019970014372
申请日：1997-04-18
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C30B35/005
Abstract: A vertical heat treating apparatus includes a first boat elevator for carrying a first wafer boat between a wafer transfer region and a predetermined position in a heat treating furnace, and a second boat elevator for carrying a second wafer boat between the wafer transfer region and the predetermined position in the heat treating furnace. With this construction, it is possible to eliminate the problems of causing the position shift of the wafer boat, so that and it is possible to prevent the wafer boat from overturning. The apparatus also has cutouts formed in the lower end portion of the wafer boat, and guide members formed on the upper surface of a wafer transfer stage so as to be engageable with the cutouts. With this construction, if the positioning is forcibly carried out when the wafer boat is loaded on the wafer transfer stage, it is possible to correct the position shift to prevent the shift from accumulating, so that it is possible to prevent the wafer boat from overturning.
Abstract translation: 一种立式热处理设备包括：第一舟皿升降机，用于在晶片传送区域与热处理炉中的预定位置之间运送第一晶舟;以及第二舟皿升降机，用于在晶片传送区域与预定位置之间运送第二晶舟， 在热处理炉中的位置。 利用这种结构，可以消除引起晶舟的位置偏移的问题，从而可以防止晶舟发生翻倒。 该设备还具有形成在晶舟的下端部分中的切口，以及形成在晶片传送台的上表面上以便可与切口啮合的导向构件。 根据该结构，在将晶圆舟装载于晶圆输送台时强制地进行定位的情况下，能够修正位置偏移，防止偏移的积累，能够防止晶舟发生翻倒 。
-
公开(公告)号：KR100280689B1
公开(公告)日：2001-03-02
申请号：KR1019930009835
申请日：1993-06-01
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 야마가겐이치
IPC: H01L21/205
Abstract: 소정의 가스 분위 또는 감압 분위기로된 처리용기 밀봉부의 대향면에 각각 고리형상 홈부를 형성함과 동시에 이들의 고리형상 홈부의 개구부 전체주위에 흡착되도록 고리형상 박판을 배치한다. 그리고, 이들의 고리형상 홈부에 각각 배기수단을 접속하고, 고리형상부에 감압으로 배기하는 것에 의하여 고리형상 홈부의 개구부 모든 주위에 고리형상 박판을 흡착하여 대향면을 기밀하게 밀봉한다. 이 구성에 의하여 처리용기내에 불필요한 대기중에 산소나 수분이 혼입되지않고, 또 고온에 의하여 가스나 수분의 방출이 없는 밀봉부를 가진 열처리장치가 제안된다.
-
公开(公告)号：KR101743318B1
公开(公告)日：2017-06-02
申请号：KR1020130119066
申请日：2013-10-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: F16L59/024 , B32B1/08 , F27D1/04 , H01L21/67103 , Y10T428/13 , Y10T428/24479
Abstract: 본발명은경제적으로단열벽체를제조하는것이가능한단열벽체의제조방법을제공하는것을목적으로한다. 본발명은, 제1 측벽, 제2 측벽및 홈바닥으로형성되는홈부를갖는단열벽체의제조방법으로서, 단열재재료를수계매체중에분산시키고혼합하여, 슬러리상으로만드는공정과, 얻어진슬러리상의상기단열재재료에, 통기공을가지며, 상기홈부의형상에대응하는표면을갖는성형용다이를접촉시키고, 상기통기공을통해슬러리상의상기단열재재료를탈수하는공정과, 상기성형용다이를상기단열재재료로부터이형함으로써, 상기홈부의깊이가일정하고, 상기홈 바닥의폭이, 상기홈부의길이방향으로변화하는단열벽체를제조하는공정을포함하는단열벽체제조방법을제공한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种能够经济地制造绝热壁的绝热壁的制造方法。 本发明提供一种制造具有由第一侧壁，第二侧壁和槽底形成的槽部的隔热壁体的方法，包括以下步骤：将隔热材料分散并混合在水性介质中以形成浆液相， 使具有通气孔的成型模具与具有与所述槽的形状对应的表面的成型模具接触，并使所述浆料上的所述隔热材料通过所述通气孔脱水的工序; 以及制造绝热壁的步骤，其中凹槽部分的深度是恒定的，并且凹槽底部的宽度在凹槽部分的纵向上变化。
-
公开(公告)号：KR101569561B1
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：KR1020120146075
申请日：2012-12-14
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 본발명은열부하및 진동, 충격에의한부하에강한열처리장치용열교환기및 이것을구비한열처리장치를제공한다. 열교환기(25)는, 박판을적층해서교대로공기통로와냉각수통로를형성한코어(251)와, 코어(251)를수용하는케이스(252)와, 코어(251)에삽입되고, 코어(251) 내에형성된각 층의냉각수통로에냉각수를분배공급하는복수의수냉배관(257)과, 복수의수냉배관(257)이하나의연결된배관으로되도록용접되는배관용접부(257a)를구비하고, 배관용접부(257a)는케이스(252) 외부에설치되어있다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
20
records
(took 0.02 seconds)
