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    기판반송장치
    1.
    发明公开
    기판반송장치 失效
    底板输送机和加工机

    公开(公告)号：KR1020010020943A

    公开(公告)日：2001-03-15

    申请号：KR1020000030315

    申请日：2000-06-02

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 이와사키다쓰야 ,  아나이노리유키 ,  다테야마기요히사 ,  오타요시하루 ,  아라키신이치로 ,  이와쓰하루오

    IPC: H01L21/68

    Abstract: PURPOSE: Provided is a substrate conveyor that can accommodate to both so to say transverse-feed and longitudinal-feel processors. CONSTITUTION: A substrate holding member has a first or wide holding part(55,56) that has opposite side walls(55a,56a) spaced at an interval corresponding to the length of the long sides of substrates and that can hold the substrates when their long sides extend in the direction of opposition of the side walls(55a,56a) and a second holding part(57,58) narrower than the first holding part(55,56), which has opposite side walls or steps(53a,54a) spaced at an interval according to the length of the shorter side of the substrates and that can hold the substrates when their shorter sides extend in the direction of opposition of the steps(53a,54a). For a conveyance-associated processor of a transverse-food type, substrate orientation control means position a glass substrate over the holding member and turn it to set one of its long sides in opposition to the inlet or outlet opening of the processor and lowers it.

    Abstract translation: 目的：提供可以适应于横向进给和纵向处理器的基底输送机。 构成：衬底保持构件具有第一或宽保持部分（55,56），其具有以对应于衬底的长边长度的间隔隔开的相对侧壁（55a，56a），并且当它们 长边相对于侧壁（55a，56a）相对的方向延伸，第二保持部（57,58）比第一保持部（55,56）窄，其具有相对的侧壁或台阶（53a，54a） ），其间隔根据基板的短边的长度间隔开，并且当基板的短边在台阶（53a，54a）的相反方向上延伸时可以保持基板。 对于横向食品类型的与输送相关的处理器，基板取向控制装置将玻璃基板定位在保持构件上方并将其设置成与处理器的入口或出口相对设置的一个长边并将其降低。

    기판반송장치, 처리장치, 기판의 처리시스템, 반송방법, 수납장치 및 수용박스
    4.
    发明公开
    기판반송장치, 처리장치, 기판의 처리시스템, 반송방법, 수납장치 및 수용박스 失效
    基板，转移方法，住房装置和外壳

    公开(公告)号：KR1020010021000A

    公开(公告)日：2001-03-15

    申请号：KR1020000033210

    申请日：2000-06-16

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 오타요시하루 ,  다테야마기요히사 ,  아라키신이치로 ,  이와사키다쓰야 ,  아나이노리유키 ,  이와쓰하루오

    IPC: H01L21/68

    Abstract: PURPOSE: A substrate transfer device is provided to reduce as little as possible the space needed for cleaning of the transfer area of a glass substrate in the substrate transfer device. CONSTITUTION: With a glass substrate, which is provided as a treatment object and supported in the interior of a housing box(50) formed into a box type, air flow to flow from the sides of the surfaces, which is opposed to the formed surface of a substrate gateway(51) of the gateway(51) to the outside through the gateway(51) is formed by blast fans(49). Because of this, even though the gateway(51) is always open, particles floating outside of the box(50) will not infiltrate into the box(50). Accordingly, the need for keeping the transfer area of the glass substrate in a clean environment is eliminated, and the forming cost of the clean environment can be reduced. Moreover, since the gateway(51) is always open and an opening and shutting mechanism for opening and shutting the gateway(51) is not provided, delivery of the substrate can be performed rapidly.

    Abstract translation: 目的：提供一种衬底转移装置，以尽可能少地减少用于清洁衬底转移装置中的玻璃衬底的转移区域所需的空间。 构成：作为处理对象而设置并被支撑在形成为箱型的容纳箱（50）的内部的玻璃基板，从与形成表面相对的表面侧流动的空气流 通过网关（51）将网关（51）的基板网关（51）连接到外部，由鼓风扇（49）形成。 因此，即使网关（51）总是打开，浮动在箱体（50）外面的颗粒将不会渗透到箱体（50）中。 因此，消除了将玻璃基板的转印面保持在清洁环境中的需要，能够降低清洁环境的成形成本。 此外，因为网关51始终是打开的，并且不设置用于打开和关闭网关51的打开和关闭机构，所以可以快速地执行基板的传送。

    기판도포장치
    5.
    发明公开
    기판도포장치 失效
    基板应用设备

    公开(公告)号：KR1019930006859A

    公开(公告)日：1993-04-22

    申请号：KR1019920017074

    申请日：1992-09-18

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

    Inventor： 아키모토마사미 ,  후지모토아키히로 ,  이와쓰하루오

    IPC: H01L21/31

    Abstract: 피도포체를 유지하여 회전하는 회전유지수단과, 이 회전유지수단을 둘러싸도록 설치되고 상기 피도포체에 공급된 도포액(L2)의 흩날림을 방지하기 위한 용기를 가지는 도포장치에 있어서, 회전유지수단에 설치되고, 또 상기 용기에 부착한 도포액을 세정하기 위한 세정액이 공급되는 세정용 치구를 구비하며, 이 세정용 치구는 상기 세정액을 저유할 수 있는 저유부를 가짐과 동시에, 상기 회전유지수단의 회전에 의하여 상기 저유부에 저유한 세정액을 상기 용기를 향하여 토출하는 토출구멍(36)을 가지는 것을 특징으로 하는 도포장치에 관한 것이다. 이것에 의하여 소량의 세정액으로 균일하고 단시간에 효율좋게 용기의 내부에 부착한 도포액의 세정을 행할 수 있게 된다.

    기판반송장치
    6.
    发明授权
    기판반송장치 失效
    基板运输装置

    公开(公告)号：KR100706381B1

    公开(公告)日：2007-04-10

    申请号：KR1020000030315

    申请日：2000-06-02

    Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    Inventor： 이와사키다쓰야 ,  아나이노리유키 ,  다테야마기요히사 ,  오타요시하루 ,  아라키신이치로 ,  이와쓰하루오

    IPC: H01L21/68

    Abstract: 기판의 보유·유지부재가, 대향하는 측벽부의 폭이 기판 장변의 길이에 상당하는 길이를 가지고, 이 측벽부들의 대향방향으로 장변방향을 맞춘 상태에서 보유·유지할 수 있는 넓은 폭의 제 1의 보유·유지부와, 대향하는 측벽{단차부} 사이의 폭이 기판의 단변방향의 길이에 상당하는 길이를 갖추고, 이 단차부들의 대향방향으로 단변방향을 맞춘 상태에서 보유·유지부를 갖춘다. 따라서, 반입반출대상인 처리장치가 장변을 쥐는 경우에는, 기판방향 조정수단에 의해, 이 보유·유지부재보다도 상방으로 유리기판을 위치시킨 후, 당해 기판의 장변이 당해 처리장치의 반입반출부를 향하여 마주보도록 회전시켜 하강시킨다. 이에 의해, 제 1의 보유·유지부에 기판이 재치되어, 장변을 쥐는 당해 처리장치와의 사이에서 기판의 반입반출이 가능하게 된다. 마찬가지의 조작에 의해 제 2의 보유·유지부 상에 기판을 재치하면, 단변을 쥐는 처리장치와의 사이에서 기판의 반입반출이 가능하게 된다.

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