公开(公告)号：KR100490508B1

公开(公告)日：2005-08-04

申请号：KR1019970019236

申请日：1997-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 혼다요시유키 ,  구마가이요시오

IPC: H01L21/68

Abstract: 원심분리에 의해 복수의 기판으로부터 부착액을 제거하는 스핀 드라이어는 주축을 하부에 구비하고 있는 회전체와, 이 회전체의 주축에 대향해서 기판의 면이 직교하도록 복수의 기판을 지지하고, 또한 상기 회전체의 주축에 대칭으로 설치된 회전체와 함께 회전하는 기판 지지 수단과, 회전체 및 기판 지지 수단을 둘러싸는 처리 용기와, 이 처리 용기내에 공기를 집어넣기 위해서 처리 용기의 상부에 형성된 공기 유입구와, 처리 용기의 측부에 형성되고, 처리 용기의 저부로부터 적어도 회전체의 높은 위치까지 개방되는 배기구를 구비한다.

公开(公告)号：KR1019930020597A

公开(公告)日：1993-10-20

申请号：KR1019930003345

申请日：1993-03-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 혼다요시유키 ,  무카이에이이치 ,  가미카와유우지 ,  구로다고오키 ,  니시미쓰오

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정장치는, 반도체 웨이퍼를 약액으로 세정하고, 물로 씻고, 건조하는 웨이퍼 세정처리부와, 웨이퍼 수납용의 카세트를 물로 씻고, 건조하는 카세트 세정처리부와, 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부에 로드하는 로더부와, 카세트 웨이퍼를 수용하고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부로부터 언로드하는 언로드부와, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부내에서 반송하는 웨이퍼 반송기구와, 카세트를 로더부로부터 카세트 세정처리부에 반송하는 카세트 리프트와, 카세트 카세트 세정 처리부내에서 반송하는 와이어 구동기구를 가진다.

公开(公告)号：KR1019970077475A

公开(公告)日：1997-12-12

申请号：KR1019970019236

申请日：1997-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 혼다요시유키 ,  구마가이요시오

IPC: H01L21/68

Abstract: 원심분리에 의해 복수의 기판으로부터 부착액을 제거하는 스핀 드라이어는 주축을 하부에 구비하고 있는 회전체와, 이 회전체의 주축에 대향해서 기판의 면이 직교하도록 복수의 기판을 지지하고, 동시에 상기 회전체의 주축에 대칭으로 설칭된 회전체와 함께 회전하는 기판지지 수단과, 회전체 및 기판지지 수단을 포위하는 처리 용기와, 이 처리용기내에 공기를 집어넣기 위해서 처리 용기의 상부에 형성된 공기 취입부와, 처리 용기의 측부에 형성되고, 처리 용기의 저부로부터 적어도 회전체의 높은 위치까지 개방되는 배기구를 구비한다.

公开(公告)号：KR1019940006202A

公开(公告)日：1994-03-23

申请号：KR1019930006453

申请日：1993-04-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 시라이시히로후미 ,  혼다요시유키

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명의 스핀 드라이어는 복수의 웨이퍼를 둘러쌓인 케이싱체와, 케이싱체 중에서 복수의 웨이퍼를 유지하여 모우터에 의하여 회전되는 로터와, 로터의 회전축에 대하여 웨이퍼면이 실질적으로 직교하도록 또한 면 대 면의 자세로 되도록 웨이퍼의 각각을 유지하는 상하클램프바를 가진다. 하클램프바는 회전축부재의 각각에 연결고정 되어있고, 기판세트시에 기판하부를 유지하는 것이며, 상크램프는 한편의 회전축부재에 대하여 기도가능하게 축고정된 그 기초부와, 전도상태인때에 다른쪽의 회전축 부재에 계합로크 되도록한 선단부를 가진다. 상크램프바를 미끄럼운퐁 시키는 미끄럼 운동기구와, 상 크램프바의 선단부를 다른쪽의 회전축 부재에 계합하는 로크기구와, 상클램프바의 선단부를 다른쪽의 회전축 부재로부터 해제하는 언로크기구를 가진다.

公开(公告)号：KR100292649B1

公开(公告)日：2001-10-24

申请号：KR1019960032968

申请日：1996-08-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 혼다요시유키

IPC: H01L21/68

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
반도체 제조장치
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
웨이퍼등의 피처리체를 반송하는 반송장치에 있어서의 유지장치나, 처리조내의 유지구에 있어서의 유지홈의 형상에 개량을 가함.
3. 발명의 해결방법의 요지
둘레가장자리가 소정의 간격을 두고 배열된 다수개의 피처리체를 유지하도록 상호간에 대향하여 마련된 한쌍의 유지부재와; 유지부재에 의한 피처리체의 유지및 해제를 선택적으로 실행하기 위하여 유지부재를 상호간에 향하여 접근및 분리하도록 선택적으로 구동하기 위한 구동기구와; 피처리체를 처리조내에서 처리하기 위하여 피처리체의 하중이 지지된 상태로 처리조내로 유지부재및 피처리체를 반송하기 위한 반송기구를 포함하여 구성되는 반송장치에 있어서, 유지부재는 피처리체의 둘레 가장자리를 유지하기 위한 다수의 유지홈을 가지며 상호간에 평행하게 배열되는 상부및 하부 유지체를 가지며, 상부유지체의 유지홈의 각각은 개구측에 위치하는 제 1 테이퍼부와 홈바닥측에 위치하며 제 1 테이퍼부로 계속되는 제 2 테이퍼부를 가지며, 제 1 테이퍼부는 제 2 테이퍼부의 개구각보다 큰 개구각을 가지도록 함.
4. 발명의 중요한 용도.
상부 유지체의 유지홈의 단면이 2단계로 테이퍼지도록 형성되어 피처리체의 경사를 방지함.

公开(公告)号：KR1019990066686A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017968

申请日：1998-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다시마지하야 ,  무카이에이이치 ,  혼다요시유키 ,  하마무라나오히코 ,  무라카미신야 ,  쵸노야스히로

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정처리장치는, 하부에 세정액의 액공급구를 가지는 세정탱크와, 이 세정탱크내에 수용되어 세정액중에 침적되는 피처리체와 상기 액공급구 사이에 배치되는 정류수단을 구비하며, 상기 정류수단은, 상기 세정탱크를 상하로 구획하기 위해 수평으로 배치됨과 동시에 복수의 세정액의 정류구멍을 형성한 정류판과, 상기 액공급구의 상부에 위치하는 분산판으로 구성하고, 상기 정류판으로부터 아래로 향하여 늘어뜨린 세정액의 저류벽을 형성하며, 상기 분산판의 가장자리부로부터 아래로 향하여 늘어뜨린 세정액의 저류벽을 형성함과 동시에 분산판에 세정액의 분산구멍을 형성하여 이루어진다.

公开(公告)号：KR1019970013176A

公开(公告)日：1997-03-29

申请号：KR1019960032968

申请日：1996-08-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 혼다요시유키

IPC: H01L21/68

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 반도체 제조장치 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 웨이퍼등의 피처리체를 반송하는 반송장치에 있어서의 유지장치나, 처리조내의 유지구에 있어서의 유지홈의 형상에 개량을 가함. 3. 발명의 해결방법의 요지 둘레가장자리가 소정의 간격을 두고 배열된 다수개의 피처리체를 유지하도록 상호간에 대향하여 마련된 한쌍의 유지부재와; 유지부재에 의한 피처리체의 유지 및 해제를 선택적으로 실행하기 위하여 유지부재를 상호간에 향하여 접근 및 분리하도록 선택적으로 구동하기 위한 구동기구와; 피처리체를 처리조내에서 처리하기 위하여 피치리체의 하중이 지지된 상태로 처리조내로 유지부재 및 피치러체를 반송하기 위한 반송기구를 포함하여 구성되는 반송장치에 있어서, 유지부재는 피처리체의 둘레 가장자리를 유지하기 위한 다수의 유지홈을 가지며 상호간에 평행하게 배열되는 상부 및 유지체를 가지며, 상부유지체의 유지홈의 각각은 개구측에 위치하는 제1데이터부와 홈바닥측에 위치하며 제1테이퍼부로 계속되는 제2테이퍼부를 가지며, 제1테이퍼부는 제2테이퍼부의 개구각 보다 큰 개구각을 가지도록 함. 4. 발명의 중요한 용도 상부 유지체의 유지홈의 단면이 2단계로 테이퍼지도록 형성되어 피처리체의 경사를 방지함.

公开(公告)号：KR1019990066687A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980017969

申请日：1998-05-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 요코미조겐지 ,  다시마지하야 ,  무카이에이이치 ,  혼다요시유키 ,  하마무라나오히코 ,  무라카미신야 ,  쵸노야스히로

IPC: H01L21/304

Abstract: 기판 세정 장치는, 바닥부에 세정액을 도입하는 액공급구를 가지고 세정할 피처리체를 수용하는 세정탱크와, 상기 세정탱크의 바닥부로부터 이격시켜 설치함과 동시에 상기 세정액이 통과하는 다수의 정류구멍을 가지며, 상기 액공급구로부터 도입된 세정액을 정류하면서 상기 피처리체쪽으로 흐르게 하는 정류판을 구비하며, 상기 세정탱크의 바닥부의 양쪽은, 비스듬하게 경사진 바닥 경사부를 가지고, 상기 정류판은 상기 바닥부의 중심부에 대응하여 수평으로 이루어진 수평정류부와, 이 수평정류부의 양측에 형성되어 상기 바닥 경사부에 대응하여 비스듬하게 경사진 경사정류부를 가지고, 상기 액공급구의 상부에는, 상기 액공급구로부터 도입되는 상기 세정액을 상기 정류판 하부의 전면을 향하여 분산시키는 분산판이 설치되어 있다.

公开(公告)号：KR1019990045367A

公开(公告)日：1999-06-25

申请号：KR1019980049378

申请日：1998-11-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 혼다요시유키 ,  코구치아키라 ,  마수다에이지

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 예를 들어 반도체 웨이퍼나 LCD용 유리기판 등의 건조처리장치 및 건조처리방법에 관한 것이다.
본 발명은 기판반송장치(19)가 웨이퍼(W)를 직립정렬상태로 앞 공정 즉 세정공정에서 반송하여 오고, 기판홀더(40)는 건조실(20)의 외부에 설치된 기판홀더 반송장치(50)에 보지되어 있으며, 기판홀더(40)는 기판의 자세를 바꾸지 않고 기판반송장치(19)로부터 웨이퍼(W)를 넘겨 받는다. 기판홀더 반송장치(50)는 기판홀더(40)를 하강시켜 건조실 상부의 반입출구(21)를 거쳐 건조실(20)내로 이동시킨 후, 기판홀더(40)가 로터(30)에 고정되고, 덮개(25)에 의해 반입출구(21)가 닫히면, 로터(30)가 회전하고, 웨이퍼(W)의 표면에 부착된 수분이 제거되는 기판건조처리장치 및 기판건조처리방법이다.
본 발명에 의하면 건조처리실의 용적을 가급적 작게 하여 장치의 소형화 및 건조효율의 향상을 도모할 수 있음과 동시에, 기판의 인수인도 횟수를 저감시켜 파티클 부착의 기회를 저감할 수 있다.

公开(公告)号：KR100163361B1

公开(公告)日：1999-02-01

申请号：KR1019930003345

申请日：1993-03-05

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤

Inventor： 혼다요시유키 ,  무카이에이이치 ,  가미카와유우지 ,  구로다고오키 ,  니시미쓰오

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정장치는, 반도체 웨이퍼를 약액으로 세정하고, 물로 씻고, 건조하는 웨이퍼 세정처리부와, 웨이퍼 수납용의 카세트를 물로 씻고, 건조하는 카세트 세정처리부와, 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부에 로드하는 로더부와, 카세트에 웨이퍼를 수용하고, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부로부터 언로드하는 언로더부와, 웨이퍼를 웨이퍼 세정처리부내에서 반송하는 웨이퍼 반송기구와, 카세트를 로더부로부터 카세트 세정처리부에 반송하는 카세트 리프터와, 카세트를 카세트 세정처리부내에서 와이어 구동기구를 가진다.