반도체 소자 및 금속 산화물을 이용한 반도체 소자 제조 방법
    4.
    发明公开
    반도체 소자 및 금속 산화물을 이용한 반도체 소자 제조 방법 审中-实审
    使用金属氧化物的半导体器件的半导体器件和制造方法

    公开(公告)号:KR1020140052785A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:KR1020120120623

    申请日:2012-10-29

    CPC classification number: H01L21/02667 H01L29/66765 H01L29/78678

    Abstract: A semiconductor device and a manufacturing method of the semiconductor device using a metal oxide are disclosed. The disclosed manufacturing method of the semiconductor device comprises forming a metal oxide layer on a substrate; forming an amorphous semiconductor layer on the metal oxide layer; and crystallizing the amorphous semiconductor layer into a polycrystalline semiconductor layer by using the metal oxide layer. Therefore, metal contamination can be reduced in a crystallization process.

    Abstract translation: 公开了使用金属氧化物的半导体器件和半导体器件的制造方法。 所公开的半导体器件的制造方法包括在衬底上形成金属氧化物层; 在所述金属氧化物层上形成非晶半导体层; 以及通过使用所述金属氧化物层将所述非晶半导体层结晶成多晶半导体层。 因此,在结晶过程中可以减少金属污染。

    그래핀 소자 및 그 제조방법
    6.
    发明公开
    그래핀 소자 및 그 제조방법 审中-实审
    石墨装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020130073712A

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:KR1020110141706

    申请日:2011-12-23

    Abstract: PURPOSE: A graphene device and a manufacturing method thereof are provided to facilitate handling by forming the graphene device on a metal thin film and transferring the graphene device to an insulator. CONSTITUTION: A channel layer (C1) includes graphene. A source electrode is formed on the first area of the channel layer. A drain electrode is formed on the second part of the channel layer. A gate insulating layer (GI1) is formed on a capping layer. A gate (G1) is formed on the gate insulating layer.

    Abstract translation: 目的:提供石墨烯装置及其制造方法,以通过在金属薄膜上形成石墨烯装置并将石墨烯装置转移到绝缘体来促进处理。 构成:通道层(C1)包括石墨烯。 源极电极形成在沟道层的第一区域上。 漏电极形成在沟道层的第二部分上。 在封盖层上形成栅极绝缘层(GI1)。 栅极(G1)形成在栅极绝缘层上。

    마이크로 렌즈의 형성방법과 마이크로 렌즈를 포함한이미지 센서 및 그의 제조방법
    8.
    发明授权
    마이크로 렌즈의 형성방법과 마이크로 렌즈를 포함한이미지 센서 및 그의 제조방법 失效
    用于形成微透镜的微型透镜和图像传感器的方法及其制造方法

    公开(公告)号:KR101176545B1

    公开(公告)日:2012-08-28

    申请号:KR1020060070296

    申请日:2006-07-26

    Abstract: 본 발명은 마이크로 렌즈의 형성방법과 마이크로 렌즈를 포함한 이미지 센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 개시된 본 발명의 마이크로 렌즈의 형성방법은 하부 구조물이 구비된 반도체 기판 상에 실리콘 패턴을 형성하는 단계; 상기 실리콘 패턴을 덮도록 상기 기판 상에 캡핑막을 형성하는 단계; 상기 실리콘 패턴 및 상기 캡핑막을 어닐링하여 상기 실리콘 패턴을 지주(pole) 형상의 폴리실리콘 패턴으로 변형시키고 상기 캡핑막을 라운드형 마이크로 렌즈용 껍질부로 변형시키는 단계; 및 상기 캡핑막이 껍질부로 변형되면서 유발된 상기 껍질부 가장자리와 상기 기판 사이의 개구부를 통해 상기 껍질부 내에 렌즈 물질을 채우는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 이미지 센서는 상기 방법 또는 그와 유사한 방법으로 형성된 마이크로 렌즈를 포함하고, 마이크로 렌즈의 중앙 하부에 폴리실리콘으로 이루어진 지주(pole) 형상의 포토 다이오드 부분을 갖는 것을 특징으로 한다.

    Abstract translation: 提供微透镜,包括微透镜的图像传感器,形成微透镜的方法和制造图像传感器的方法。 微透镜包括形成在基板上的具有圆柱形状的多晶硅图案和包围多晶硅图案的圆形外壳部分。 微透镜还可以包括填充壳体部分的内部的填充材料或覆盖第一壳体部分的第二壳体部分。 形成微透镜的方法包括在具有较低结构的半导体衬底上形成硅图案,在硅图案上的半导体衬底上形成覆盖膜,使硅图案和覆盖膜退火,将硅图案改变为具有 圆筒形,并且封盖膜用于圆形微透镜的外壳部分,并且通过半导体基板和外壳部分的边缘之间的开口用透镜材料填充外壳部分的内部。 图像传感器包括通过类似方法形成的微透镜和具有圆柱形状的光电二极管。

    저항성 메모리 소자
    9.
    发明公开
    저항성 메모리 소자 无效
    电阻随机访问存储器件

    公开(公告)号:KR1020080105979A

    公开(公告)日:2008-12-04

    申请号:KR1020080020589

    申请日:2008-03-05

    CPC classification number: H01L45/04 G11C13/0004 H01L27/2409 H01L45/16

    Abstract: A resistivity memory device is provided to lower the manufacturing cost and increase the adhesion property with other films. A resistivity memory device comprises the first electrode(E1), the second electrode(E2), the first structure(S1), and the first switching device. The first electrode is at least one. The second electrode is arranged apart from the first electrode. The first structure is equipped between the first and the second electrode. The second structure comprises the first resistance alteration layer(R1). The first switching device is electrically connected to the first resistance alteration layer. At least one of the first and the second electrode comprises the alloy layer of the non-precious metals and noble metals.

    Abstract translation: 提供电阻率记忆装置以降低制造成本并增加与其它膜的粘附性。 电阻率存储器件包括第一电极(E1),第二电极(E2),第一结构(S1)和第一开关器件。 第一电极是至少一个。 第二电极与第一电极分开设置。 第一结构装备在第一和第二电极之间。 第二结构包括第一电阻改变层(R1)。 第一开关装置电连接到第一电阻改变层。 第一和第二电极中的至少一个包括非贵金属和贵金属的合金层。

    폴리 실리콘을 포함하는 반도체 소자 및 그 제조 방법
    10.
    发明公开
    폴리 실리콘을 포함하는 반도체 소자 및 그 제조 방법 有权
    包含POLY SI和其制造方法的半导体器件

    公开(公告)号:KR1020080064613A

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:KR1020070001704

    申请日:2007-01-05

    CPC classification number: H01L21/28537 H01L27/1021 H01L29/861

    Abstract: A semiconductor device including polysilicon and a method for fabricating the same are provided to grow easily a stable polysilicon by implementing a TaNx material layer having good adhesion characteristics with the polysilicon. A semiconductor device including polysilicon includes a TaNx material layer and a polysilicon layer formed on the TaNx material layer. A range of X of the TaNx material layer is in 0.5 to 1.5. The polysilicon layer, which is a P-type polysilicon layer(22), includes an N-type polysilicon layer on which the P-type polysilicon layer is formed. The polysilicon layer, which is an N-type polysilicon layer, includes a silicide for forming a Schottky barrier on the N-type polysilicon layer.

    Abstract translation: 提供包括多晶硅的半导体器件及其制造方法,通过实施与多晶硅具有良好粘合特性的TaNx材料层,容易地生长稳定的多晶硅。 包括多晶硅的半导体器件包括形成在TaNx材料层上的TaNx材料层和多晶硅层。 TaNx材料层的X的范围为0.5〜1.5。 作为P型多晶硅层(22)的多晶硅层包括形成P型多晶硅层的N型多晶硅层。 作为N型多晶硅层的多晶硅层包括在N型多晶硅层上形成肖特基势垒的硅化物。

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