증착 시스템 및 공정 시스템
    1.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022025588A1

    公开(公告)日:2022-02-03

    申请号:PCT/KR2021/009700

    申请日:2021-07-27

    Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 증착 시스템은, 반응 챔버, 반응 챔버에 기체 상태의 전구체를 공급하는 가스 공급부, 반응 챔버에 전구체와 반응하는 반응물을 공급하는 반응물 공급부, 및 반응 챔버에서 나온 배기물을 배출하는 배기부를 포함하고, 가스 공급부는 순차적으로 연결되는 서브 탱크, 액체 유량 컨트롤러, 및 기화기를 포함하고, 전구체는 자동 충진 시스템에 의해 가스 공급부의 서브 탱크에 액체 상태로 충진되고, 서브 탱크, 액체 유량 컨트롤러, 및 기화기를 순차적으로 경유하여 반응 챔버로 공급되며, 배기부는 플라즈마 전처리 시스템이 적용되는 처리 공정 챔버, 펌프, 및 스크러버를 포함함으로써, 캐니스터의 교체 없이 안정적으로 전구체를 공급할 수 있고, 펌프의 수명을 향상시키며, 스크러버의 효율을 증가시킬 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 시스템을 이용하여 대량 생산 관점에서 설비의 유지 관리의 용이성을 개선할 수 있다.

    신호 변환기 및 신호 변환 방법
    2.
    发明授权
    신호 변환기 및 신호 변환 방법 有权
    信号转换器和信号转换方法

    公开(公告)号:KR100888262B1

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:KR1020070049166

    申请日:2007-05-21

    Abstract: 신호 변환기가 개시된다. 상기 신호 변환기는 항상 활성화 상태를 유지하는 제1증폭기, 제1페이즈에서만 활성화 상태를 유지하는 제3증폭기, 및 제2페이즈에서만 활성화 상태를 유지하는 제2증폭기를 포함한다. 상기 제1페이즈에서 복수의 제1커패시터들 각각이 입력신호를 샘플링하는 동안 직렬로 접속된 상기 제1증폭기와 상기 제3증폭기는 제1전압 세트에 의하여 발생한 전압을 증폭한다. 상기 제2페이즈에서 복수의 제2커패시터들 각각이 상기 제2증폭기의 출력전압을 샘플링하는 동안 직렬로 접속된 상기 제1증폭기와 상기 제2증폭기는 제2전압 세트에 의하여 발생한 전압을 증폭한다.

    신호 변환기 및 신호 변환 방법
    3.
    发明公开
    신호 변환기 및 신호 변환 방법 有权
    信号转换器和信号转换方法

    公开(公告)号:KR1020080102561A

    公开(公告)日:2008-11-26

    申请号:KR1020070049166

    申请日:2007-05-21

    Abstract: A signal converter and a method for converting a signal reduce power consumption and a layout area by applying a sharing technique and a switching technique together. A signal converter(100) includes a first amplifier always maintaining the active state, and a third amplifier maintaining the active state in a first phase and a second amplifier maintaining the active state in a second phase. While a plurality of first capacitors(C1) sample the input signal in the first phase, the serially connected first amplifier and the third amplifier amplify the voltage generated by the first voltage set. While a plurality of second capacitors(C2) sample the output voltage of the second amplifier in the second phase, the serially connected first amplifier and the second amplifier amplify the voltage generated by the second voltage set.

    Abstract translation: 信号转换器和用于转换信号的方法通过共享技术和切换技术共同地降低功耗和布局面积。 信号转换器(100)包括总是维持有效状态的第一放大器和保持第一相位中的有效状态的第三放大器和保持第二阶段的激活状态的第二放大器。 当多个第一电容器(C1)在第一相中对输入信号进行采样时,串联的第一放大器和第三放大器放大由第一电压组产生的电压。 当多个第二电容器(C2)在第二相中对第二放大器的输出电压进行采样时,串联的第一放大器和第二放大器放大由第二电压组产生的电压。

    멀티-채널 파이프라인드 신호 변환기
    5.
    发明公开
    멀티-채널 파이프라인드 신호 변환기 有权
    多信道管道信号转换器

    公开(公告)号:KR1020080020154A

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:KR1020060083209

    申请日:2006-08-31

    CPC classification number: H03M1/0617 H03M1/004 H03M1/1215 H03M1/168 H03M1/44

    Abstract: A multi-channel pipelined signal converter is provided to improve a signal conversion performance by selecting an optimum signal path for an input signal. A multi-channel pipelined signal converter includes a plurality of pipelined signal converters. The pipelined signal converters have N pipelined stage cells which are connected in series. A k-th pipelined stage cell of N pipelined stage cells receives an analog signal outputted from a k-1th pipelined stage cell implemented in each of the pipelined signal converters. The k-th pipelined stage cell selects any one of the received analog signals in response to at least one first selection signal. The k-th pipelined stage cell generates a first analog signal in response to the selected analog signal.

    Abstract translation: 提供多通道流水线信号转换器以通过为输入信号选择最佳信号路径来改善信号转换性能。 多通道流水线信号转换器包括多个流水线信号转换器。 流水线信号转换器具有串联连接的N个流水线级单元。 N个流水线级单元的第k个流水线级单元接收从在每个流水线信号转换器中实现的第k-1个流水线级单元输出的模拟信号。 响应于至少一个第一选择信号,第k个流水线级小区选择所接收的模拟信号中的任何一个。 第k个流水线级单元响应于所选择的模拟信号产生第一模拟信号。

    반도체 집적 회로 장치 및 그것의 전력 제어 방법
    6.
    发明公开
    반도체 집적 회로 장치 및 그것의 전력 제어 방법 有权
    半导体集成电路设备及其功率控制方法

    公开(公告)号:KR1020080071819A

    公开(公告)日:2008-08-05

    申请号:KR1020070010156

    申请日:2007-01-31

    Inventor: 김수환 최창준

    Abstract: A semiconductor integrated circuit device and a power control method are provided to prevent a noise due to an abrupt change of current by increasing gradually external power applied to a logic block. A semiconductor integrated circuit device includes a logic block(200) and a voltage control circuit for controlling an operational voltage applied to the logic block. The voltage control circuit controls the operational voltage in order to increase gradually the operational voltage at an initial operation of the logic block. The voltage control circuit includes a power gate circuit(110) for supplying the operational voltage to the logic block and a control unit for controlling the power gate circuit in response to the operational voltage and an external command. The control unit controls the power gate circuit in order to increase gradually the operational voltage.

    Abstract translation: 提供半导体集成电路器件和功率控制方法,以通过逐渐增加施加到逻辑块的外部功率来防止由于电流突然变化引起的噪声。 半导体集成电路器件包括逻辑块(200)和用于控制施加到逻辑块的工作电压的电压控制电路。 电压控制电路控制操作电压,以便在逻辑块的初始操作期间逐渐增加操作电压。 电压控制电路包括用于向逻辑块提供工作电压的电源门电路(110)和用于响应于工作电压和外部命令控制电源门电路的控制单元。 控制单元控制电源门电路,以便逐渐增加工作电压。

    데이터 저장 입자 및 데이터 전송 시스템
    8.
    发明授权
    데이터 저장 입자 및 데이터 전송 시스템 有权
    数据存储粒子和数据传输系统

    公开(公告)号:KR100968489B1

    公开(公告)日:2010-07-07

    申请号:KR1020080064927

    申请日:2008-07-04

    Abstract: 본 발명은 데이터 저장 입자 및 데이터 저장 입자를 포함하는 데이터 전송 시스템에 관한 것으로, 데이터 저장 입자는 수신 신호로부터 인코딩된(encoded) 데이터를 구하는 수신부, 수신부로부터 전달된 인코딩된 데이터를 비휘발성 메모리에 쓰고 비휘발성 메모리에 써진 인코딩된 데이터를 읽는 제어부 및 비휘발성 메모리로부터 읽어진 인코딩된 데이터에 대응하는 송신 신호를 전송하는 송신부를 구비함으로써 데이터 저장 입자의 구성을 단순하게 구현할 수 있으며, 데이터 저장 입자에서 소비되는 전력을 줄일 수 있다.

    데이터 저장 입자 및 데이터 전송 시스템
    9.
    发明公开
    데이터 저장 입자 및 데이터 전송 시스템 有权
    数据存储粒子和数据传输系统

    公开(公告)号:KR1020090131233A

    公开(公告)日:2009-12-28

    申请号:KR1020080064927

    申请日:2008-07-04

    CPC classification number: G06K17/0022 G06F12/0238 G06K19/0704 G06K19/0728

    Abstract: PURPOSE: A data storing particle and a data transmission system are provided to write encoded data on a nonvolatile memory and to read the encoded data, thereby simply realizing a configuration of the data storing particle. CONSTITUTION: A receiving unit(120) obtains encoded data from a received signal. A control unit(140) writes the encoded data delivered from the receiving unit on a nonvolatile memory(150). The control unit reads the encoded data written on the nonvolatile memory. A transmitting unit(160) transmits a transmission signal corresponding to the encoded data read from the nonvolatile memory. The receiving signal is wirelessly received, and the transmission signal is wirelessly transmitted.

    Abstract translation: 目的:提供数据存储粒子和数据传输系统,以将编码数据写入非易失性存储器并读取编码数据,从而简单地实现数据存储粒子的配置。 构成:接收单元(120)从接收到的信号中获得编码数据。 控制单元(140)将从接收单元发送的编码数据写入非易失性存储器(150)。 控制单元读取写在非易失性存储器上的编码数据。 发送单元(160)发送与从非易失性存储器读取的编码数据相对应的发送信号。 无线地接收接收信号,无线发送发送信号。

    멀티플라잉 디지털-아날로그 컨버터 및 이를 포함하는파이프라인 아날로그-디지털 컨버터
    10.
    发明公开
    멀티플라잉 디지털-아날로그 컨버터 및 이를 포함하는파이프라인 아날로그-디지털 컨버터 有权
    将数字转换为模拟转换器和管线模拟到具有相同转换器的数字转换器

    公开(公告)号:KR1020090093145A

    公开(公告)日:2009-09-02

    申请号:KR1020080018503

    申请日:2008-02-28

    Inventor: 김수환 우종관

    Abstract: A multiplying digital to analog converter and pipelined analog to a digital converter having the same are provided to obtain a desired value in a first timing by making the pipeline analog digital convertor have high gain in second timing. In a multiplying digital to analog converter and pipelined analog to a digital converter having the same, a sample/hold part(110) receives an analog signal. The sample/hold part produces an analog input signal by performing the sampling and holding calculation. A stage unit(120) receives analog input signal, and the stage part outputs a digital stage output power signal consisting of 1.5 bit or 2 bit. The stage part is divided into a first stage including a multiplying digital to analog converter and a second stage(122b) not including the multiplying digital to analog converter.

    Abstract translation: 提供一个乘法数模转换器和流水线模拟到具有该数字转换器的数字转换器,以通过使得流水线模拟数字转换器在第二定时具有高增益来在第一定时中获得期望值。 在乘法数模转换器和具有相同数字转换器的流水线模拟转换器中,采样/保持部分(110)接收模拟信号。 采样/保持部分通过执行采样和保持计算产生模拟输入信号。 舞台单元(120)接收模拟输入信号,舞台部分输出由1.5位或2位组成的数字级输出功率信号。 舞台部分被分为包括乘法数模转换器的第一级和不包括乘法数模转换器的第二级(122b)。

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