반도체 소자와 그의 제조 및 동작방법
    1.
    发明公开
    반도체 소자와 그의 제조 및 동작방법 有权
    半导体器件及其制造和操作方法

    公开(公告)号:KR1020090039610A

    公开(公告)日:2009-04-22

    申请号:KR1020080097406

    申请日:2008-10-02

    Abstract: A semiconductor device and an operation method thereof are provided to apply different nanostructures to one element and to arrange the predetermined nano structure on a required region of a substrate accurately. A channel layer(C1) includes a first nanostructure(n1). A source and a drain are contacted with both ends of the channel layer. A first tunnel insulating layer(TL1) is equipped on the channel layer. A first charge trapping layer(CT1) is equipped on the first tunnel insulating layer. The first charge trapping layer includes a first nano structure and a second nano structure(n2). A first blocking insulating layer(BL1) is equipped on the first charge trapping layer. A first control gate is equipped on the first block insulating layer.

    Abstract translation: 提供半导体器件及其操作方法以将不同的纳米结构应用于一个元件并且将预定的纳米结构精确地布置在基板的所需区域上。 沟道层(C1)包括第一纳米结构(n1)。 源极和漏极与沟道层的两端接触。 沟道层上装有第一隧道绝缘层(TL1)。 在第一隧道绝缘层上装有第一电荷俘获层(CT1)。 第一电荷俘获层包括第一纳米结构和第二纳米结构(n2)。 在第一电荷俘获层上装有第一阻挡绝缘层(BL1)。 第一控制门装在第一块绝缘层上。

    반도체 소자와 그의 제조 및 동작방법
    2.
    发明授权
    반도체 소자와 그의 제조 및 동작방법 有权
    半导体器件及其制造和操作方法

    公开(公告)号:KR101490109B1

    公开(公告)日:2015-02-12

    申请号:KR1020080097406

    申请日:2008-10-02

    Abstract: 반도체 소자와 그의 제조 및 동작방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 반도체 소자는 서로 다른 나노구조체들을 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 반도체 소자는 나노와이어(nanowire)로 형성된 제1구성요소와 나노파티클(nanoparticle)로 형성된 제2구성요소를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 나노와이어는 양극성(ambipolar)의 탄소나노튜브(carbon nanotube)일 수 있다. 상기 제1구성요소는 채널층일 수 있고, 제2구성요소는 전하트랩층일 수 있는데, 이 경우, 상기 반도체 소자는 트랜지스터나 메모리 소자일 수 있다.

    고선택성 생체전자코로 유용한 후각 수용체로 기능화된 트랜지스터 및 이를 이용하는 바이오센서
    3.
    发明授权
    고선택성 생체전자코로 유용한 후각 수용체로 기능화된 트랜지스터 및 이를 이용하는 바이오센서 有权
    用于高选择性生物电子密度和生物传感器的OLFACTORY受体功能化晶体管

    公开(公告)号:KR101110805B1

    公开(公告)日:2012-02-24

    申请号:KR1020090039471

    申请日:2009-05-06

    CPC classification number: G01N33/5438 G01N27/4145 G01N33/5432 G01N2333/726

    Abstract: 본 발명은 고선택성 생체전자코(bioelectronic nose)로 이용될 수 있는 후각 수용체(olfactory receptor)로 기능화된 트랜지스터, 그의 제조방법 및 이를 이용하는 바이오센서에 관한 것이다. 상기 트랜지스터는 기판; 상기 기판 상에 서로 이격되어 형성된 소스 전극 및 드레인 전극; 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 전기적으로 접촉하며 그 사이에 형성된 나노구조체; 및 상기 소스 전극 및 드레인 전극의 표면 및 상기 나노구조체 표면을 덮도록 형성된 후각 수용체 단백질을 갖는 지질막을 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 트랜지스터의 제조방법은 ⅰ) 기판 상에 나노구조체를 형성하는 단계; ⅱ) 상기 기판 상에 상기 나노구조체를 사이에 두고 서로 이격되어 배치되며, 각각 상기 나노구조체와 전기적으로 접촉하도록 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계; 및 ⅲ) 후각 수용체 단백질을 갖는 지질막을 상기 나노구조체 표면 및 상기 소스 전극 및 드레인 전극의 표면을 덮도록 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 후각 수용체 기능화된 트랜지스터는 실시간으로 펨토 몰 범위의 감도까지 냄새물질의 고특이적 검출이 가능한 생체전자코로 활용될 수 있는 바이오센서로서 특정 냄새물질의 신속한 검출이 요구되는 분야, 예를 들어 반-생물테러, 질병 진단, 식품 안전 등의 다양한 분야에 유용하게 적용될 수 있다.
    트랜지스터, 후각 수용체, 바이오센서, 나노구조체, 기능화, 냄새물질

    나노 구조체의 배치 방법 및 이를 이용한 나노 소자의 제조방법
    4.
    发明授权
    나노 구조체의 배치 방법 및 이를 이용한 나노 소자의 제조방법 有权
    安装纳米结构的方法和使用该纳米结构制造纳米器件的方法

    公开(公告)号:KR101027517B1

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:KR1020080116785

    申请日:2008-11-24

    Inventor: 홍승훈 이병양

    Abstract: 본 발명은 나노 구조체의 배치 방법 및 이를 이용한 나노 소자의 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 나노 구조체의 배치 방법은, 소정 방향으로 나노 구조체를 배치하는 방법에 있어서, 기판상에 상기 소정 방향의 면을 갖는 희생 구조물을 형성하는 단계; 적어도 상기 희생 구조물의 상기 소정 방향의 면 상에 상기 나노 구조체를 형성하는 단계; 및 상기 희생 구조물을 제거하는 단계를 포함하고, 상술한 본 발명에 의한 나노 구조체의 배치 방법 및 이를 이용한 나노 소자의 제조 방법은, 희생 구조물을 이용하여 원하는 방향으로 나노 구조체를 배치함으로써 종래 기술에 비하여 공정을 용이하게 할 수 있다.
    나노 구조체, 나노 튜브, 나노 와이어, 나노 소자, 희생 구조물

    표면유체 원리를 이용한 잉크의 형성방법 및 이를 이용하여패터닝하는 방법
    6.
    发明授权
    표면유체 원리를 이용한 잉크의 형성방법 및 이를 이용하여패터닝하는 방법 失效
    通过使用表面流体的原理形成油墨的方法和使用其的图案化方法

    公开(公告)号:KR100913997B1

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:KR1020070034311

    申请日:2007-04-06

    Abstract: 본 발명은 표면유체 원리를 이용한 잉크의 형성방법 및 그 응용에 관한 것으로, 나노미터 두께의 얇은 가동층의 분자들이 표면유체가 되도록 잉크를 형성하고, 이를 이용하여 나노 스케일의 프린팅에 응용할 수 있는 표면유체 원리를 이용한 잉크의 형성방법 및 이를 이용하여 패터닝하는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
    본 발명은 리저버 역할을 하는 고체부와 상기 고체부 내부의 벌크 부분으로부터 잉크 분자의 역할을 하는 얇은 가동층으로 이루어지고 상기 잉크 분자의 용융으로 가동층의 분자들이 표면유체가 되어 확산되는 잉크 형성방법을 제공한다.
    표면유체 원리, 잉크, 나노, 프린팅, 패터닝

    나노선을 이용한 바이오센서 및 이의 제조 방법
    7.
    发明授权
    나노선을 이용한 바이오센서 및 이의 제조 방법 有权
    使用纳米线的生物传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR100874026B1

    公开(公告)日:2008-12-17

    申请号:KR1020070032579

    申请日:2007-04-02

    Abstract: 본 발명은 전기적 특성이 우수한 나노선을 이용하면서 나노선 주변의 기판 표면에 검출하고자 하는 목표 물질에 대한 리셉터를 고정화함으로써 목표 물질의 검출 민감성을 증가시킨 바이오센서 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 바이오센서는 나노선이 선택적으로 고체 표면에 행렬로 정렬된 배열로 제조될 수 있으므로, 여러 가지 물질을 동시에 검출할 수 있다. 특히, 본 발명에서는 나노선의 전기적 특성 저하를 막을 수 있으므로, 소량의 물질 만으로도 매우 민감하게 목표 물질을 검출할 수 있다. 또한, 나노선을 선택적으로 고체 기판 표면에 행렬로 정렬된 배열로 조립할 수 있으므로, 다양한 처리를 통한 여러 가지 물질을 동시에 검출할 수 있는 센서 어레이로서 응용될 수 있다. 이러한 바이오센서는 암진단, 혈당측정, 유해 바이러스 검지, 환경 유해 물질 검지 등에 유용하게 사용될 수 있다.
    나노선, 탄소나노튜브, 바이오센서, 리셉터

    Abstract translation: 本发明涉及一种生物传感器和周围,同时利用纳米线优良电特性的纳米线在基板的表面上被检测到,通过固定在所述目标物质的受体增加目标物质的检测灵敏度的方法。 根据本发明的生物传感器可以同时检测各种物质,因为纳米线可以选择性地排列在固体表面上的基质中。 特别是,由于本发明能够防止线劣化的纳米电特性,所以能够检测到单独的目标物质敏感的非常小的量的材料。 另外,由于我可以任选设置在排列成一行固体基底表面上的矩阵被组装,也可以作为传感器阵列能够通过各种方法同时检测多种物质施加。 这样的生物传感器可以有效地用于癌症诊断,血糖测量,有害病毒检测以及环境有害物质的检测。

    미끄러운 분자막을 이용하여 고체표면에 나노구조를 위치 및 정렬시키는 방법, 및 그 응용
    8.
    发明授权
    미끄러운 분자막을 이용하여 고체표면에 나노구조를 위치 및 정렬시키는 방법, 및 그 응용 有权
    在固体表面上对准和组装纳米结构的方法及其应用

    公开(公告)号:KR100736361B1

    公开(公告)日:2007-07-06

    申请号:KR1020050106975

    申请日:2005-11-09

    Abstract: 본 발명은 고체표면에 나노구조를 선택적으로 정렬하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고체 표면을 미끄러운 분자막으로 패터닝한 후, 흡착시키고자 하는 나노구조가 미끄러운 분자막에서 고체표면으로 슬라이딩되면서, 고체표면에 직접 흡착되는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 나노구조를 고체 표면에 선택적으로 위치 및 정렬시킬 수 있다. 또한 나노구조가 고체 표면에 직접 접촉하므로, 나노구조 및 고체 표면의 오염을 방지할 수 있다. 그리고 본 발명에 의한 다중 나노구조를 만들어 센서 등으로 활용할 수 있다. 나아가 DNA, 단백질, 셀 등의 바이오 구조를 원하는 모양으로 배양할 수 있다.
    나노구조, 미끄러운 분자막, 슬라이딩, 선택적 정렬, 패터닝

    고선택성 생체전자코로 유용한 후각 수용체로 기능화된 트랜지스터 및 이를 이용하는 바이오센서
    9.
    发明公开
    고선택성 생체전자코로 유용한 후각 수용체로 기능화된 트랜지스터 및 이를 이용하는 바이오센서 有权
    用于高选择性生物电子密度和生物传感器的OLFACTORY受体功能化晶体管

    公开(公告)号:KR1020090116652A

    公开(公告)日:2009-11-11

    申请号:KR1020090039471

    申请日:2009-05-06

    Abstract: PURPOSE: An olfactory receptor-functionalized transistors for a highly selective bioelectronic nose and a biosensor using the same are provided to implement remarkably improved selectivity and sensitivity by using a nanostructure transistor as an odorant receptor. CONSTITUTION: In a olfactory receptor-functionalized transistors for a highly selective bioelectronic nose and a biosensor using the same, a source electrode and a drain electrode are separated from each other on a substrate. A nanostructure electrically is contacted with the source electrode and drain electrode, and a thin film having an olfactory receptor protein covers the surface of the source electrode and the drain electrode and nanostructure surface. The olfactory receptor protein includes a cysteine residue, and the olfactory receptor protein is changed from a neutral acid form to a negatively-charged base form when being combined with a specific odor material(17).

    Abstract translation: 目的:提供用于高选择性生物电子鼻的嗅觉受体官能化晶体管和使用其的生物传感器,以通过使用纳米结构晶体管作为气味受体来实现显着改善的选择性和灵敏度。 构成:在用于高选择性生物电子鼻的嗅觉受体官能化晶体管和使用其的生物传感器中,源电极和漏电极在衬底上彼此分离。 电化学纳米结构与源电极和漏极接触,具有嗅觉受体蛋白的薄膜覆盖源电极和漏电极和纳米结构表面。 嗅觉受体蛋白质包括半胱氨酸残基,当与特定气味物质(17)组合时,嗅觉受体蛋白质从中性酸形式改变为带负电荷的基体形式。

    고체 박막 마스크를 이용한 나노 구조물 및 흡착물질의흡착방법
    10.
    发明公开
    고체 박막 마스크를 이용한 나노 구조물 및 흡착물질의흡착방법 无效
    使用纳米颗粒和吸附材料的固体薄膜掩模进行吸附的方法

    公开(公告)号:KR1020090015779A

    公开(公告)日:2009-02-12

    申请号:KR1020070127849

    申请日:2007-12-10

    Inventor: 홍승훈 김태경

    CPC classification number: G01Q70/18

    Abstract: An adsorption method of adsorbate and nanostructures using a thin solid film mask is provided to prevent deformation of property of tip and to absorb all adsorbed materials to end part of the tip using sputtering or evaporator without limit of adsorbate and nanostructures. An adsorption method of adsorbate and nanostructures using a thin solid film mask comprises steps of: evaporating a thin solid film mask(100) at a surface of a probe microscope tip(T); frictionizing end part of the probe microscope tip in which the thin solid film mask is evaporated to the solid surface; removing only the thin solid film mask evaporated in the end part of the probe microscope tip of the evaporated thin solid film mask; evaporating a linker molecule film(30) to an entire surface of the probe microscope tip in which the thin solid film mask is removed; dipping probe microscope tip in which the linker molecule film is evaporated in nanostructures solution; absorbing the nanostructures(N) to the linker molecule; and removing the thin solid film mask evaporated in the probe microscope tip.

    Abstract translation: 提供使用薄的固体膜掩模的吸附物和纳米结构的吸附方法,以防止尖端的变形,并且使用溅射或蒸发器吸收所有吸附的材料到端部的末端,而不受吸附物和纳米结构的限制。 使用薄固体膜掩模的吸附物和纳米结构的吸附方法包括以下步骤:在探针显微镜尖端(T)的表面上蒸发薄的固体膜掩模(100); 摩擦化探针显微镜尖端的端部,其中薄的固体膜掩模被蒸发到固体表面; 去除仅在蒸发的薄固体膜掩模的探针显微镜尖端的端部蒸发的薄固体膜掩模; 将接头分子膜(30)蒸发到除去薄固体膜掩模的探针显微镜尖端的整个表面; 浸渍探针显微镜尖端,其中连接分子膜在纳米结构溶液中蒸发; 吸收纳米结构(N)到接头分子; 并且在探针显微镜尖端中除去薄的固体膜掩模。

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