Abstract:
본 발명은, 타겟 프로브에 금속 나노입자를 부착하여 표지물질로 사용하는 경우, 상기 타겟 프로브와 고정 프로브와의 바이오 반응에 따라 상기 금속 나노입자들이 적절히 밀집된 상태에서, 광픽업 헤드로부터 적절한 세기의 레이저 광이 상기 금속 나노입자에 조사되면, 상기 금속 나노입자에 의한 광증폭 효과에 의해 더 많은 광 에너지가 상변화층에 전달되어 비정질-결정의 상변화가 더 잘 유도되는 원리를 이용한다. 따라서, 본 발명에 따르면, 타겟 프로브와 고정 프로브와의 미세한 바이오 반응에 의해 금속 나노입자의 밀도가 다소 낮은 경우에도 상변화층에 상변화가 매우 크게 유도되어 바이오 반응에 따른 정밀한 바이오 정보를 바이오칩에 기록할 수 있으며, 이에 따라 간단한 구조를 가지면서 정밀한 검출이 가능한 바이오칩 스캐닝 장치를 제작할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 광픽업 헤드의 광 검출기만으로도 상변화층으로부터 반사되는 반사율을 측정하여 상변화층에 기록된 바이오 정보를 용이하게 검출할 수 있으므로, 별도의 고정밀도 광 검출기를 구비할 필요가 없어 저가 및 소형화가 가능하다. 금속 나노입자, 광증폭, 상변화, 바이오칩, 광픽업 헤드, 반사도
Abstract:
PURPOSE: A method and device for scanning bio chips using a beam enhanced by metal nano-particles are provided to detect bio reaction using an optical pick-up head. CONSTITUTION: Write laser of fixed intensity is irradiated to the upper part of a bio-chip. A near field light is selectively transmitted and light amplification is generated in a domain in which metal nano-particles stand close together according to irradiating of the laser beam. The phase change is made on a phase change layer(140) located on the lower part of the density zone by changing the amorphous-crystal. Phase change information to the connecting state of a target probe(180) and a fixing probe(170) is recorded on the phase change layer.
Abstract:
본 발명은 콘덴서형 음향 센서에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시 예에 따른 음향 센서는, 기판의 상부가 식각되어 형성된 음향 챔버; 상기 기판 상에 형성되며 상기 음향 챔버가 노출되도록 중앙 영역이 식각된 절연막; 상기 절연막 상에 형성된 진동판; 상기 절연막 상에서 상기 진동판을 지지하는 자가 유지 지지대; 및 상기 진동판 상에 형성된 고정 전극을 포함한다. 상술한 바와 같은 본 발명에 따르면 지지대 및 진동판의 좌우 운동으로 인한 비선형 성분을 제거하여 음압 응답 특성을 향상시킬 수 있고, 기판의 후면 공정을 생략할 수 있어 공정이 간단해지고 수율이 향상되는 이점이 있다. 음향 센서, 자가 유지 지지대
Abstract:
본 발명은 음원 발생장치와 음장변화 측정장치로부터 얻은 음향신호사이의 상관관계를 통하여 일정공간의 음장을 측정하고, 초기 설정된 음장과 변화된 음장의 차이를 이용해서 일정 공간에서의 침입 물체의 유무를 판단하는 보안 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 보안 시스템은 음원을 발생하는 음원 발생장치, 음원에 의해 형성된 음장을 측정하는 음장변화 측정장치를 포함하고, 초기 설정된 음장과 측정한 음장을 비교하여 침입발생여부를 감지한다. 음장, 보안, 감시
Abstract:
본 발명에 따른 강제 음향 쌍극자는, 제1, 2 음원에 각각 입력되는 입력 신호의 위상과 음압을 조절하여 음향 로브 방향을 자유롭게 조향할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따른 강제 음향 쌍극자를 다수개 배열하여 강제 음향 다중 극자 어레이를 구성하고, 각 강제 음향 쌍극자의 제1, 2 음원에 각각 입력되는 입력 신호의 위상과 음압을 조절하여 음향 로브 방향을 특정 방향으로 조향하면, 타인에게 청각적 방해를 주지 않으면서 원하는 범위에서만 음향을 들을 수 있다. 강제 음향 다중 극자, 강제 음향 쌍극자, Forced Acoustic Multipole, FAM
Abstract:
본 발명은 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical System) 마이크로폰 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판의 상부 공정만을 통해 멤스 마이크로폰을 제작함으로써, 기판의 상하부 공정을 모두 이용하던 종래에 비하여 제조 공정을 단순화할 수 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따르면 간단하고 용이한 제조 공정에 의해 제조 공정에서 발생되는 불량을 최소화하여 제조수율을 증대시킬 수 있으며, 멤스 마이크로폰의 내구성을 높여 외부환경에 대한 시스템의 안정성을 높일 수 있다. 멤스 마이크로폰, 후방음향챔버, 후방음향챔버 벤트홀, 하부전극
Abstract:
PURPOSE: An acoustic sensor and manufacturing method thereof are provided to remove a process of processing the rear surface of a substrate, thereby simplifying manufacturing processes. CONSTITUTION: An acoustic sensor comprises a substrate(200), an acoustic chamber(202), an insulation film(210), an acoustic chamber open pattern(212), a vibration plate(220), a self maintaining support stand(225), a fixing electrode(230), an etching window(234), and an etching hole(235). The insulation film is formed on the substrate. The vibration plate supported by the self maintaining support stand is formed on the insulation film. The self maintaining support stand suppresses the horizontal movement of the vibration plate and the self maintaining support stand. The vibration plate is integrated with the self maintaining support stand. A conductive layer included in the vibration plate forms a pair of upper/lower electrodes with the fixing electrode. The fixing electrode has a shape which surrounds the vibration plate.
Abstract:
PURPOSE: A polymer actuator with graphene and a manufacturing method thereof are provided to prevent backward movement of ions, thereby increasing the actuating power of the polymer actuator. CONSTITUTION: A polymer actuator comprises an ion conductive polymer film(10), a metal electrode(20), and graphene. A metal electrode is formed on both sides of the ion conductive polymer film. Graphene is dispersed in the ion conductive polymer film. The metal electrode includes platinum or gold and the thickness range of 5 to 10 micro meters. Graphene is dispersed within the ion conductive polymer film.