公开(公告)号：NL2011658A

公开(公告)日：2014-04-29

申请号：NL2011658

申请日：2013-10-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： PASCH ENGELBERTUS ,  JANSEN ALBERT ,  JEUNINK ANDRE ,  ADRIAENS JOHANNES ,  AUER FRANK ,  BROOMANS PETERJAN ,  COSIJNS SUZANNE ,  KOENEN WILLEM ,  SMIT SEBASTIAAN ,  VERMUNT JORIS WILHELMUS HENRICUS

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL2005717A

公开(公告)日：2011-06-21

申请号：NL2005717

申请日：2010-11-18

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： GOSEN JEROEN ,  JANSEN ALBERT ,  KATE NICOLAAS ,  STAVENGA MARCO ,  STEFFENS KOEN ,  BOKHOVEN LAURENTIUS ,  CASTELIJNS HENRICUS ,  CUYPERS KOEN

IPC: G03F7/20