公开(公告)号：NL2006714A

公开(公告)日：2011-12-08

申请号：NL2006714

申请日：2011-05-04

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： RIJDT HANS ,  OTTENS JOOST JEROEN ,  VERMEULEN MARCUS ,  MANDERS ERIK JOHANNES ANTONIUS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL2010477A

公开(公告)日：2013-11-25

申请号：NL2010477

申请日：2013-03-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LAURENT THIBAULT ,  JACOBS JOHANNES HENRICUS WILHELMUS ,  KOK HAICO ,  VIJVER YURI ,  WAL JOHANNES ,  KNARREN BASTIAAN ,  VOOGD ROBBERT JAN ,  WESTERLAKEN JAN STEVEN CHRISTIAAN ,  RIJDT HANS ,  KOOIKER EELCO ,  HURKENS-MERTENS WILHELMINA MARGARETA JOZEF ,  TEILLET YOHANN BRUNO YVON

IPC: G03F7/20