公开(公告)号：NL2010477A

公开(公告)日：2013-11-25

申请号：NL2010477

申请日：2013-03-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LAURENT THIBAULT ,  JACOBS JOHANNES HENRICUS WILHELMUS ,  KOK HAICO ,  VIJVER YURI ,  WAL JOHANNES ,  KNARREN BASTIAAN ,  VOOGD ROBBERT JAN ,  WESTERLAKEN JAN STEVEN CHRISTIAAN ,  RIJDT HANS ,  KOOIKER EELCO ,  HURKENS-MERTENS WILHELMINA MARGARETA JOZEF ,  TEILLET YOHANN BRUNO YVON

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2008250A

公开(公告)日：2012-09-11

申请号：NL2008250

申请日：2012-02-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： NIENHUYS HAN-KWANG ,  CUIJPERS MARTINUS ,  LEVASIER LEON ,  SCHOOT JAN ,  VIJVER YURI ,  VOZNYI OLEG ,  JANSSEN FRANCISCUS ,  PHILIPS DANNY ,  MIRANDA MARCIO ,  GALAKTIONOV OLEKSIY ,  BAL KURSAT ,  SCHMITZ ROGER ,  LEROUX ALAIN ,  RANJAN MANISH ,  RIJPMA ALBERT

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2003456A

公开(公告)日：2010-05-11

申请号：NL2003456

申请日：2009-09-08

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LABETSKI DZMITRY ,  VIJVER YURI

IPC: G01B13/12 ,  G03F7/20